挖掘测试仪

SPM900 系列少子寿命成像测试仪原理说明非平衡少数载流子少数载流子的寿命是半导体材料的一个重要参数，也是评价半导体质量的一个指标。例如在光伏电池中，少子寿命决定了少子扩散长度， 决定了光吸收层、内建电场区域的厚度设计等重要的器件参数；载流子寿命也可以反映器件中杂质或者缺陷的影响，抑或是存在污染， 进行失效分析，对工艺过程进行优化。载流子的复合在一定温度下，处于热平衡状态的半导体材料，电子- 空穴对的产生和复合保持一种动态平衡，载流子浓度是一定的。然而，外界的作用会破坏这种热平衡，使其处于与热平衡相偏离的状态，随之改变的是载流子的浓度， 多于平衡值的载流子就是非平衡载流子。非平衡少数载流子也称也称少子，通常对于半导体器件的性能起到决定性的作用。当外界作用撤掉后，处于非平衡态的载流子会通过复合而产生衰减，直到载流子浓度恢复到之前的热平衡状态。载流子的复合方式可以分为三类：SRH 复合、辐射复合及俄歇复合（直接和间接）。(a) SRH 复合； (b) 辐射复合； (c) 直接俄歇复合；（d）间接俄歇复合少子寿命测试少子寿命的测量通常包括非平衡载流子的注入和检测两个方面，*常用的注入方法是光注入和电注入。对于间接带隙的半导体，常使用电注入或者微波光电导衰减的方法进行少子寿命测试，间接带隙半导体一般寿命较长， 为毫秒量级。而对于GaAs 这类的直接间隙半导体，复合的能量几乎全部以发光的形式放出，发光效率高，寿命较短（典型的寿命在10-8-10-9s），通常使用时间分辨光致发光光谱（TRPL）的方法来进行测试。激光扫描少子寿命成像测量仪SPM900当外界作用停止以后，少子的浓度（ΔC）随时间t 增长呈指数衰减的规律。由以下方程可知，少子的寿命为当少子浓度衰减到初始浓度1/e 时候所经历的时间。在辐射复合中，发光的强度与少子的浓度相关，因此可以通过检测发光的寿命来获得少子的寿命信息。当在显微镜上加载少子寿命测试模块，就可以得到微区下半导体器件的少子寿命分布信息，这对于微小型器件的研究及质量控制十分重要。激光扫描少子寿命成像仪基于时间相关单光子计数进行设计，包含显微镜主体，激光光源，光子计数检测器，单色仪以及自动XY 样品台等部分。位于显微镜上的激光光源用于样品的激发，通过控制样品台的移动，可以进行微区单点少子寿命测量和少子寿命成像。少子寿命成像测试应用外延ZnS 薄膜半导体本征带- 浅杂质复合半导体中施主- 受主对复合深能级复合III-V 族载流子杂质俘获过程研究非辐射中心的电子弛豫及复合机制研究半导体外延片缺陷和杂质检测测试软件控制测试界面测试软件的界面遵循“All In One”的简洁设计思路，用户可在下图所示的控制界面中完成采集数据的所有步骤：包括控制样品平移台移动，通过显微镜的明场光学像定位到合适区域，框选扫描区域进行扫描，逐点获得荧光衰减曲线，实时生成荧光图像等。数据处理界面功能丰富的荧光寿命数据处理软件，充分挖掘用户数据中的宝贵信息。可自动对扫描获得的FLIM 数据，逐点进行多组分荧光寿命拟合（组分数小于等于4），对逐点拟合获得的荧光强度、荧光寿命等信息生成伪彩色图像显示。3D 显示功能少子寿命测试案例MicroLEDMicroLED 显示技术是指以自发光的微米量级的LED 为发光像素单元，将其组装到驱动面板上形成高密度LED 阵列的显示技术， 在发光亮度、分辨率、对比度、稳定性、能量损耗等方面有很大优势，可以应用在AR/VR，可穿戴光电器件，柔性显示屏等领域。由于MicroLED 的尺寸在微米级别，因此需要在显微镜下进行检测。下图为使用少子寿命成像系统对直径为80 微米的MicroLED 微盘进行测试。单组分拟合，可以看到红圈中的污损位置，虽然影响发光强度，但对发光寿命没有影响钙钛矿测试钙钛矿属于直接带隙半导体材料，具有高光学吸收，高增益系数、高缺陷容忍度、带隙可调，制备成本低等优点，可以广泛应用在光子学与光电信息功能器件等领域，例如钙钛矿太阳能电池，钙钛矿量子点，钙钛矿LED 等材料的研究。对于钙钛矿中的载流子辐射复合的研究对于提供器件的光电转换性能有很大的帮助。以下示例为钙钛矿样品的少子辐射复合发光成像和寿命成像。图中可见此钙钛矿样品有两个寿命组分，且不同寿命组分的相对含量也可以从相对振幅成像图中很直观的看到。晶圆级大尺寸的少子寿命成像测试仪4、6、8 英寸晶圆样品测试，可在此基础上增加小行程电动位移台实现数百纳米至微米尺度的精细扫描显微尺度的少子寿命成像测试仪参数指标 系统性能指标：光谱扫描范围200-900nm*小时间分辨率16ps寿命测量范围500ps-1ms（具体视激光器而定）小尺寸空间分辨率≤ 1μm@100X 物镜@405nm 皮秒脉冲激光器大尺寸扫描可适用4 英寸、6 英寸、8 英寸样品配置参数：脉冲激光器375nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：30ps，平均功率1.5mW@50MHz405nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：25ps，平均功率2.5mW@50MHz450nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：50ps，平均功率1.9mW@50MHz488nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：70ps，平均功率1.3mW@50MHz510nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：75ps，平均功率1.1mW@50MHz635nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：65ps，平均功率4.3mW@50MHz660nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：60ps，平均功率1.9mW@50MHz670nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：40ps，平均功率0.8mW@50MHz其他皮秒或纳秒脉冲激光器具体视材料及激发波长而定科研级正置显微镜落射明暗场卤素灯照明，12V，100W5 孔物镜转盘，标配明场用物镜：10×，50×，100×监视CCD：高清彩色CMOS 摄像头，像元尺寸：3.6μm*3.6μm，有效像素：1280H*1024V，扫描方式：逐行，快门方式：电子快门小尺寸扫描用电动位移台高精度电动XY 样品台，行程：75*50mm（120*80mm 可选），*小步进：50nm，重复定位精度＜ 1μm大尺寸扫描用电动位移台XY 轴行程200mm/250mm，单向定位精度≤ 30μm，水平负载：30Kg；光谱仪320mm焦距影像校正单色仪，双入口、狭缝出口、CCD出口，配置三块68×68mm大面积光栅， 波长准确度：±0.1nm，波长重复性：±0.01nm，扫描步距：0.0025nm，焦面尺寸：30mm(w)×14mm(h)，狭缝缝宽：0.01-3mm 连续电动可调探测器：制冷型紫外可见光电倍增管，光谱范围：185-900nm（标配，可扩展）光谱CCD( 可扩展PL mapping）低噪音科学级光谱CCD（LDC-DD），芯片格式：2000x256，像元尺寸：15μm*15μm,探测面：30mm*3.8mm，背照式深耗尽芯片，低暗电流，*低制冷温度-60℃ @25℃环境温度，风冷，*高量子效率值95%时间相关单光子计数器(TCSPC）时间分辨率：16/32/64/128/256/512/1024ps… … 33.55μs，死时间＜ 10ns，*高65535 个直方图时间窗口，瞬时饱和计数率：100Mcps，支持稳态光谱测试；OmniFlμo-FM 寿命成像专用软件控制功能：控制样品平移台移动，通过显微镜的明场光学像定位到合适区域，框选扫描区域进行扫描，逐点获得发光衰减曲线，实时生成发光图像等数据处理功能：自动对扫描获得的寿命成像数据，逐点进行多组分发光寿命拟合( 组分数小于等于4），对逐点拟合获得的发光强度、发光寿命等信息生成伪彩色图像显示图像处理功能：直方图、色表、等高线、截线分析、3D 显示等操作电脑品牌操作电脑，Windows 10 操作系统

用途： 空气挖掘已经成为许多工作的挖掘方法，从树木护理到公用事业工作，使相关挖掘工作更容易。 AirSpade 2000空气挖掘仪结合便携式空气压缩机产生高压空气（设备不含空气压缩机），用以安全和快速挖掘大多数类型的土壤。 AirSpade能产生一股超音速气流，以两倍于音速的速度移动，在几分之一秒内穿透并移除土壤，而不干扰植物根部、地埋管道、电缆和光纤线等非多孔物体。适用于移栽，土壤压实，植物通气，垂直覆盖，损伤分析等。AirSpade 2000空气挖掘仪具有符合人体工程学的手柄，带有热屏蔽和压力表，带有安全防护触发器，耐磨不锈钢喷嘴和电绝缘材质。产品特点：l 符合人体工程学的手柄，耐用橡胶手柄l 舒适，安全防护触发器l 气压计l 轻质的玻璃纤维材质与可调节的隔尘罩l 超硬不锈钢超音速喷嘴l 通用“芝加哥式”旋转联接器 技术参数：产品编号接口螺纹压缩机最小规格 (hp，马力)空气挖掘速度(立方英尺/分钟)噪音等级 (dB)流量 (cfm)尺寸，英寸(Lx W x H)重量 (lbs)HT1403/4英寸5.60.4 - 0.91082552.9 x 11 x 5.56.6HT1443/4英寸130.7 - 1.11166029.1 x 11 x 5.55.6HT1343/4英寸130.7 - 1.11166053.6 x 11 x 5.56.6HT1393/4英寸230.9 - 1.512010553.5 x 11 x 5.57HT1163/4英寸331.2 - 1.812215041.7 x 11 x 5.56.5HT1303/4英寸331.2 - 1.812215053.7 x 11 x 5.57HT1383/4英寸501.7 - 2.312422554.3 x 11 x 5.57.1

挖掘机安装的GPS监控系统，通过CAN总线与挖掘机主控制器连接，可对挖掘机进行有效监控，并可更好的为挖掘机提供技术服务。本文介绍挖掘机GPS监控系统的监控原理及各项功能。GPS监控系统原理1.监控原理GPS监控系统由监控中心平台、无线网络、GPS机载终端接收机3部分组成，如附图所示。GPS监控系统是集GPS卫星定位技术、GIS地理信息技术（电子地图）、互联网技术为一体的综合管理系统。GPS机载终端接收机接收定位卫星的定位数据，计算出挖掘机的经度、纬度、速度、方向，这些坐标数据由GPS机载终端接收机内的通信模块通过无线网络，传输到监控中心平台并存入服务器数据库，监控中心平台通过与GIS电子地图匹配，即可实现挖掘机位置的跟踪和显示，可以实时获取挖掘机地理位置信息。GPS机载终端接收机与挖掘机控制器采用CAN总线连接，通讯主服务器按设置时间间隔（可调）向GPS机载终端接收机发送信息。机载摄像头还可根据需要实时向GPS机载终端接收机传送施工现场情况发送信息。这些信号均通过无线网络传送至监控中心平台，将挖掘机所在位置、报警信息等数据发送至监控中心服务器并存入数据库。移动目标的信息经处理与监控终端上的GIS电子地图匹配，并在地图上清楚和直观显示挖掘机的实时位置，也可对挖掘机移动轨迹进行查询，从而达到对挖掘机位置的监控。另外，如果挖掘机没有在指定的区域工作，监控中心平台上就会出现报警信息，挖掘机显示器上也会出现同样的报警信息来警示用户。挖掘机2.监控功能（1）报警监控中心平台可通过无线网络将控制指令向下达给GPS机载终端接收机，当挖掘机遇到紧急情况时，可通过车载终端接收机，采用语音形式向挖掘机报警。另外，如果挖掘机没有在指定的区域，监控中心平台上就会出现报警信息挖掘机显示上也会出现同样的报警信息警示用户。（2）锁机挖掘机安装GPS终端模块后，利用定位功能可以通过监控中心平台对挖掘机进行控制管理，如果用户拖欠挖掘机货款，债权管理部门就可以通过监控中心平台向挖掘机下发相应锁机指令，进行锁机处理。锁机分为3个等级，根据实际情况进行分级锁机，一级锁机是限制发动机极限高转速，使发动机只能处于略低转速下运行，二级锁机是至允许发动机怠速运行。如果恶意欠款，将进行三级锁机处理后，此时挖掘机不允许启动，以此为债权人或公司提供债权安全保障。（3）防拆倘若用户故意拆除GPS终端模块或GPS天线，由于有防拆功能，系统会进行被动锁机。此时挖掘机虽然可以正常启动，但是只能在怠速下运行，所有锁机信息都会在车辆显示器上进行显示用以警示用户。若GPS监控系统被认为破坏，电控系统就会自动锁机，所有控制器的输出端口失效，挖掘机无法正常启动运行，同时发出报警信息，上传至监控中心。（4）状态监测PS监控系统可通过监控中心平台随时查找跟踪查找挖掘机运转信息，机器的运行总时间、当天工作小时数、主泵压力、发动机水温、机油压力、燃油消耗、液压油温度等参数和可随时查询。若网络信号不好，电控系统会根据GPS的黑匣子功能保存下来，等信号恢复后继续发送，以保证数据不会丢失。监控中心可以随时监测挖掘机的故障状况，随时通知服务人员进行维修保养，以延长挖掘机使用寿命，保证挖掘机的使用安全，减少停机时间，降低生产使用维修成本，为用户创造更大的经济效益。GPS监控系统实现了对挖掘机的实时远程监控管理，有利于管理、销售和服务，实现数据统一共享，使管理更加高效。