直线传感器

如果说振动控制仪是振动试验系统的大脑，那么加速度传感器就是人体的感官部分。本文主要介绍电荷型加速度传感器的原理和使用方法。※振动领域常用传感器加速度：压电型（电荷输出型或电压输出型IEPE）、动电型等。速度：激光测定器等。位移：LVDT（Linear Variable　Differential　Transformer）、Laser等。频率响应特性：加速度传感器 速度传感器 位移传感器（原因：相位关系），所以振动试验机系统多采用加速度传感器。※电荷输出型加速度传感器构造：原理：Q（电荷量） = C（电容） × V（电压）压力（F=mA）作用，压敏材料上产生电荷，对应电荷，输出电压变化。常见电荷型加速度传感器：※加速度传感器质量要求必须保证测定物质量的1/10以下。※加速度传感器频率使用范围避开传感器的共振点，使用直线形区域。在低频区域（1-5Hz）尤其要注意，由于频率响应特性的缘故，测得的加速度会有一定的偏差，对反馈控制有较大影响。也许这就是振动台厂家的设备产品目录中设备频率使用范围都是从5Hz开始标注的缘故吧。另外还要注意环境对传感器灵敏度的影响，比如，温度、湿度、电磁干扰等，别篇叙述。※加速度传感器的固定要求①用手测 ②磁铁（2点吸附） ③磁铁（平面吸附） ④垫片胶水粘贴 ⑤胶水粘贴 ⑥螺丝固定上图中，可以看出采用螺丝固定是最好的，但是由于实际情况，一般振动试验，能提供螺丝固定的螺孔基本上没有，所以通常采用胶水（502胶水等）粘贴或垫片（绝缘地线）胶水粘贴传感器。※加速度传感器的使用方法※加速度传感器的重要参数灵敏度、最大测定加速度、电容等。例：加速度传感器型号：2353B、灵敏度：0.209pC/（m/s²）传感器电容： 890pF，加速度500m/s²振动时，输出的电压是多少？（传感器低噪声电缆的电容已忽略。）Q=0.209×500=104.5[pC]V=Q/C=104.5/890=0.11742[V]= 11.742[mV]※前置功放（电荷放大器）将加速度传感器的电荷输出电压（mV级别）转换，通过增幅放大到±V级的电压信号，输出给振动控制仪。电压输出型（IEPE or ICP）加速度传感器也经常应用，稳定可靠，直接电压输出。内部含有微电子电路，受温度和湿度的影响比较大，一般使用上限在+125℃左右，建议在常温下采用。在三综合试验中，尤其需要特别注意试验条件的温度。备注：图片和部分文字等来源于网络，如有侵权，请联系作者本人。

氟利昂是一种化学物质，全称为氟氯碳化烃，化学式为CFC，也被称为Freon，它是一种无色、无味、无毒的气体。氟利昂具有稳定性高、不易燃、绝缘性好等特点，因此在制冷领域有着广泛的应用，主要是作为制冷剂。氟利昂制冷剂如发生泄漏，常温常压下均为气体，略有芳香味。但制冷机房相对环境密闭，而氟利昂特性，比空气质量重，会下沉到地面累积，氟利昂本身是无毒的，但当它与空气混合到一定浓度时，就会发生事故，造成窒息、死亡或严重伤害。人体吸入过多之后，会出现缺氧的状态，因此需要在制冷机房安装氟利昂传感器，检测氟利昂气体浓度。舒茨氟利昂传感器舒茨氟利昂传感器作为德国原装进口产品，以其卓越特点脱颖而出。具有准确度高、灵敏度高、可靠性高、易于使用等优点，它能够准确测量氟利昂浓度，适用于极低浓度的探测，且具有长时间的稳定运行能力。 主要特点 采用双波长技术的非色散红外(NDIR)气体传感器专为壁挂式检测器和室内空气监测设备的小浓度范围(2000 ppm范围)制冷泄漏检测而设计。其灵敏度和高精度也适用于食品储存设施、空调系统和科学研究领域。&bull 低漂移&bull 通过扩散进入气体&bull 3-6伏直流电源电压&bull LED状态指示&bull 可检测多种制冷剂应用场景舒茨氟利昂传感器可用于不同场景。制冷与空调系统监测：氟利昂传感器可以用于检测和监测制冷与空调设备中的氟利昂泄漏情况，确保系统的安全运行，减少对环境的损害。工业制造和化学工艺控制：一些工业及化学生产过程中需要使用氟利昂化合物。氟利昂传感器可以用于监测氟利昂的浓度，确保其在安全的范围内，并及时采取措施以防止泄漏。环境监测：氟利昂传感器可以应用于监测室内和室外环境中氟利昂的浓度，帮助评估环境污染程度和采取相应措施进行治理。温室气体排放控制：氟利昂是一种温室气体，对全球变暖有重要影响。氟利昂传感器可以应用于监测和测量氟利昂的排放量，帮助发现潜在的排放问题，并采取措施减少温室气体排放。 具体参数 测量原理非色散红外（NDIR），双波长测量范围0...1000 ppm全刻度响应时间约30秒数字分辨率1ppm重复性≤±20ppm线性误差（直线偏差)≤±30ppm长期稳定性（零）12个月内≤±50ppm长期稳定性（跨度）12个月内≤±60ppm工作温度－20...＋40℃舒茨氟利昂传感器为德国原装进口产品，采用非色散红外原理原理，实现对氟利昂气体浓度的检测。此外，配备特定的传感器芯片，如集成化芯片和微控制器等，以提供高灵敏度、高选择性、快速响应和低功耗等优点。这种结构优势使氟利昂传感器能够有效监测氟利昂气体，实现快速、准确的气体浓度测量，并适用于各种应用场景，为环境保护和可持续发展做出贡献。

“2024中国检测技术与半导体应用大会暨半导体分析检测仪器与设备发展论坛”于2024年7月11-13日在上海虹桥新华联索菲特大酒店隆重举行。大会以“大会报告+分会报告+产品展览+高校科技成果展示+学术墙报+晚宴交流”的形式召开，91个口头报告专家及15个提供墙报的学生，分别来自于半导体检测领域知名科研院校、半导体制造企业、半导体检测企业等。大会设立了包括集成电路晶圆级缺陷检测技术、半导体器件可靠性及失效分析、集成电路先进制造及封装技术、半导体检测设备及核心零部件等在内的15个分会场报告，多样的报告主题讨论极大促进了与会者之间的互动交流和融合创新。会场外也精心布置了国内多家知名企业展位，如安捷伦、珀金埃尔默、北方华创等，他们纷纷展示了各自在半导体量检测领域的新技术、新设备。会议期间，仪器信息网特别采访了上海玖钲机械设备有限公司副总经理朱新亮。在采访中，朱老师首先向我们介绍了上海玖钲的基本情况，结合具体的成功案例介绍了玖钲产品的优势，为设备厂商提供的独特定制化服务以及公司在智能化方面是规划等话题进行了深入的交流和分享。以下是现场采访视频：代理HIWIN品牌，提供直线传动产品仪器信息网：请您简单介绍下上海玖钲机械设备有限公司基本情况 朱老师：非常感谢仪器信息网能够给予这样的机会，让我向大家简单介绍一下玖钲这家企业，包括说玖钲的产品，还有企业的发展路径。上海玖钲是成立于2010年，距今已经十几年的时间了，我们是从2013年开始是拿到了全球最大的直线传动品牌HIWIN的代理资质。自此以后我们就开启了在大陆进行HIWIN品牌产品的销售，包括说一些服务的工作。13年到现在我们基本上来讲，在半导体领域也发展得非常不错。在这个期间，比如说在半导体领域，我们主要还是给一些半导体的设备厂商提供HIWIN品牌的直线传动产品，包括说晶圆手臂、直线连接平台等等一系列的传动类产品。现在的发展情况，也是随着2019年开始，国家在大力的推进半导体设备的国产化，我们半导体产品的销售额大概能够占到25%的市场份额。 为半导体量检测设备厂商提供定制化服务仪器信息网：贵公司的产品在半导体量检测或缺陷检测场景中发挥了怎样的作用？朱老师：在半导体量测设备当中，我们代理的产品，包括说我们也是基于HIWIN品牌的零部件，当然也会给客户做一些整合化的方案，譬如说一些定制化的服务。分成两部分产品来说，直线电机的部分，譬如说我们有一款直线电机的平台，在各个半导体量测设备当中，它起到了一个非常关键的作用，能够带着我们的wafer平稳的运行，在运行当中才能够抓取wafer的一些缺陷，很容易能够找到相关的一些缺陷，能够对wafer进行相关的一些检测，这个是直线电机平台的一个非常大的作用。另外一个产品也是半导体检测的前端的一个模块，这个产品它是集合了HIWIN品牌的晶圆手臂等零部件来组成的。现在来看的话，它已经形成了一个标准化的产品，所以的话基本上国内半导体量测设备，还有其他的一些半导体制程机，其实也都在向我们订购这个产品。 纳米级直线电机平台的智能化与先进技术优势仪器信息网：有哪些具体的成功案例？朱老师：在直线电机平台的部分主要是用于量测，这个品牌的产品在于它整个的精度，稳定度，包括说它的智能化方面能够给半导体量测设备提供很好的一个协助。举例来讲半导体的直线电机平台，我们讲HIWIN最近推出了一款叫N2的纳米级直线电机平台，这款平台它集合了HIWIN的很多技术，譬如说这个叫智能模块的一个引入，这个智能模块里面包含了几种这个重要的信息，譬如说它加装在直线电机运动平台的内部，它可以通过内部的一个芯片，比如说有震动的传感器，温控的传感器，还有润滑的部分。那也就是说所有的运动部分，它通过传感器之后集合了HIWIN品牌在通过他们的一个精密的算法，那就能够说对这个平台的运行情况能够起到一个很好的监测作用。譬如说震动的情况下，如果振动频率高的话，那就意味着你的平台的寿命，或者说你的精度就达不到量测设备相关的一些要求。比如说还有润滑的部分，因为直线电机平台它不是孤立存在的，它是需要直线传动的部分，通过润滑的部分油量的一个感知，它可以知道什么时候你可以对我的平台来进行保养，早期的方式实际来讲大家都是通过不定期的在上面加一些润滑油脂，现在其实来讲的话，你就不需要这样去做了。通过我的软件算法会告知你，你什么时候给我加注润滑油脂就可以了，在我不需要的时候您不用管它，它可以照常去运行。另外一个也就是说它通过所谓的温度，包括说震动的传感器，假设说有异常情况下的话会产生很高的一个温度，这样的话对于平台的运动精度来讲，实际是有非常大的影响的，现在里面的话集成的温度的模块，这样的话就可以起到一个监控的作用，它可以起到在相应的温度下去监测，这样的话整体这个集成模块集成在整个的一个 N2的纳米平台里面，这样的话可以很好的进行对平台本身的一个检测，这个在国内来讲是非常具有竞争力的一款产品。另外，除了智能模块的部分，我觉得它最重要的一点还采用了这个叫速度电波，它可以把速度电波能够降到0.1%的这样一个范围，其实在国内这个部分也是非常先进的这样一个技术，这个也是集合了HIWIN在驱动器这一块它的一个领先优势。 降低维护成本，预测产品寿命仪器信息网：贵公司产品给客户带来了哪些便利？朱老师：在这个部分来讲的话，其实它是为我们的终端用户提供了很好的一个应用场景，非常有益于我们的终端用户的。譬如说，以润滑的角度来讲，早期大家是不定期的，当你的Fab里面运行的过程当中，你要有一个定期的保养的时间，你都会去加注一些油脂，给到直线电机的平台，现在我是告知你什么时候可以加就可以了。而且它还有一个功能就是它可以预测寿命，在寿命范围之内，其实你都不用去管它，这个是它的一个非常核心的技术竞争力。这样的话同时也节约了维护的成本。另外还有一个所谓的油量的加注量，原来我不知道加多少，我都是定期去打一些油脂进去，现在我告知你加一点就可以了。你在这个时候告知你的情况下，你再去加注就可以了，这样的话可以把我们的维保人员的时间充分的调动起来。另外它还有一个叫预测寿命这样一个功能。也就是说在这个范围之内，你可以很好的预期说什么时候你再去定期更换我的产品。 业绩逐年拉升，助力国产替代降低成本 仪器信息网：贵公司最近一年取得了哪些成绩？今年下半年有哪些发展规划？朱老师：随着2019年半导体行业国产化替代的加速，包括从去年开始，其实我们在半导体行业内的订单情况其实是逐步在逐年拉升的，也是和国内的很多的包括说半导体检测的设备厂商，包括说还有其他的半导体其他的相关的一些制程设备商，其实也达成了很好的这样一个合作的关系。对于我们而言，我觉得不能说成就，只能说取得了一点小小的一个业绩。在这个过程当中，我们是希望通过我们自己在对产品充分的理解上，之后能够给半导体量测设备，还有半导体其他的制程机的设备厂商能够带来不一样的体验，通过我们独特的产品，包括说我们的售后服务，包括说我们的价格体系。因为它毕竟是台湾国产的，所以的话在这个部分也能够帮助我们国产的半导体设备厂商降低进一步的这样的一个成本的问题。 “快”、“稳”、“准”仪器信息网：芯片的集成度越来越高，贵公司产品在智能化应用方面有没有更多的应用探索，以应对检测设备行业未来的机遇和挑战？朱老师：上午的时候也听了半导体行业的专家在讲座上也介绍了三个以后的发展方向，也就是说总结了三个字，我觉得非常精辟，叫快、稳、准。针对这三块，我觉得我们的产品其实可以快速的一一对应。我们举例来讲，针对快，我们的直线电机平台产品，其实它最高的速度能够达到每秒6米，这是一个非常快的速度了。这个是体现快的部分。体现它稳的部分，前面咱们讲到我们HIWIN有一款叫N2的纳米级定位平台，它上面其实是有一个叫DD motor的，这是一款新的这个大中空的转台，它可以做到业界最薄，也就是30毫米以下的这样一个高度，是非常薄的，之后采用了所谓的大中空的设计，这一款它可以提供我们量测设备很多的想象力的空间，因为它具有很薄的这样一个特性。举个例子来讲，您就可以充分的去理解为什么做的越薄，它的所谓的稳定性就会越好，比如说我们开一辆大卡车，你的站坐姿非常高，大卡车在刹车的时候，它会有一个很大的惯性，譬如说我们讲超跑或者说赛车手，它的所有的重心它是非常低的，你越低越贴近地面，你的运行的平稳性就会越好。这个就诠释了说你能够做到很薄的话，在平稳性上就领先于其他的对手了，这是在稳定度的部分。还有一个所谓的准，其实HIWIN的定位平台的这一款产品，它可以能够达到两纳米，这是一个非常高的精度水准了，另外它的重复定位精度能够达到100纳米，实际来讲的话在业界还是具有领先的这样一个水平。所以的话HIWIN因为具有快、稳、准三个特性，基本上所有的特性都具备了，所以的话我们才能够说HIWIN品牌能够成为美国英才的核心的供应商这样一个原因。 一客一方案仪器信息网：未来贵公司在智能化方面有什么样的发展规划？朱老师：刚才也介绍了HIWIN的产品，截至目前我们也是通过HIWIN的零部件的产品，能够给更多的用户带来不一样的体验，所以的话我们现在也是充分利用我们代理HIWIN的品牌的各个零部件的产品，为半导体设备的厂商提供所谓的机电整合的方案化的一个合作方式，譬如说在半导体量测领域来讲，更多的可能偏向于定制化，我们可以为客户量身打造，也就是说可以做到一客一方案的这样一种方式来配合客户的实际的使用。因为近两年我们一直在向更多行业的客户推广我们的发展路径，也就是说我们通过我们代理的品牌的零部件的产品，给各种行业，比如说咱们刚才在谈的半导体行业，还有医疗产业，汽车自动化产业，其实我们都可以给这三类的行业提供一客一方案的机电整合的服务。服务多种行业仪器信息网：贵公司产品在仪器行业是否也有应用？朱老师：因为HIWIN品牌它已经行销大陆30多年的时间了，它实际在各个行业都有相应的产品去使用。刚才咱们前面讲到的都是一些仪器类的，包括说半导体、医疗，还有汽车自动化、3C、锂电，还有其他的譬如说包装机械等等，这也算是仪器。其实HIWIN在这些各个行业都有成功的案例，所以他已经服务了不同的行业已经很多年了。机械零部件发展受限，软件算法助力优化仪器信息网：在系统软件方面能否利用人工智能让贵公司产品的指标进一步优化？朱老师：现在随着机械零部件的发展，因为它整个的工艺已经趋向于成熟，现在它的稳定性其实已经非常好了，但是它毕竟是机械零部件，它有它自身的这样一个热胀冷缩、公差这样的一个受限，包括材料等等一系列的，所以的话机械能够做到的已经是比较极致的一个状态了，这种情况下我们可能更多的需要运用到一些所谓的算法。譬如说还有我们有一款叫驱动器的产品，它能够做到双轴同动，也就是这个部分，其实它更多的应用了软件算法的部分的能力。很多人了解我们品牌，包括了解我们公司，其实更多的是基于机械的产品，但是其实来讲还有品牌，包括我们在软件的算法的部分，其实也有很深的投入，包括说很多的应用，你只有在机械和电器的部分，包括软件的部分能够做到极致的话，才能够说能够提供给更多的客户，这种实质性的快稳准的这样的一个精准体验。