手动位移台行程微分头左侧驱动

压电位移台常用术语中英文对照表Absolute accuracy : Deviation between the actual position and the desired one. If a stage has to move 100µm but it moves only 99.99µm (measured through an ideal scale), then the inaccuracy is 10nm. The permanent positioning error along an axis is designated as accuracy. Absolute accuracy is aff¬ected by calibration errors, linearity errors, hysteresis, Abbe errors and positioning noise. 绝dui精度：实际位置与所需位置之间的偏差。 如果一个平台必须移动 100µm，但它仅移动 99.99µm（通过理想标尺测量），则误差为 10nm。 沿轴的泳久定位误差称为精度。 绝dui精度受校准误差、线性误差、滞后、阿贝误差和定位噪声的影响。Backlash : Backlash is a positioning error occurring upon change of direction. Backlash can be caused by insufficiently preloaded thrust or inaccurate meshing of drive components, for example gear teeth. Piezoconcept’s flexure motion translation mechanism and piezo actuator designs are inherently backlash free. 齿隙：齿隙是在运动方向改变时发生的定位误差。 齿隙可能是由于预载推力不足或驱动部件（例如齿轮齿）啮合不准确造成的。 Piezoconcept 的弯曲运动平移机构和压电致动器设计本质上是无间隙的。Bandwidth : The frequency range to which the amplitude of the stage' s motion is dropped by 3dB. It reflects how fast the stage can follow the driving signal. 带宽：载物台运动幅度下降的频率范围为3dB。 它反映了平台能够以多快的速度跟随驱动信号。Drift : A position change over time, which includes the e¬ffects of temperature change and other environmental e¬ffects. The drift may be introduced from both the mechanical system and electronics. 漂移：位置随时间的变化，包括温度变化和其他环境影响的影响。 漂移可能来自机械系统和电子设备。Friction : Friction is defined as resistance between contacting surfaces during movement. Friction may be constant or speed dependent. Because they use flexure, the nanopositioners from Piezoconcept are friction free. 摩擦力：摩擦力定义为运动过程中接触表面之间的阻力。 摩擦力可以是恒定的或取决于速度的。 因为使用柔性连接，Piezoconcept 的纳米定位器是无摩擦的。Hysteresis : The positioning error between forward scan and backward scan. A closed-loop control is an ideal solution for this problem and is done by using a network of High Resolution silicon sensor to provide feedback signals. 滞后：前向扫描和后向扫描之间的定位误差。 闭环控制是该问题的理想解决方案，它通过使用高分辨率硅传感器网络提供反馈信号来完成。Linearity error : The error between the actual position and the first-order best fit line (straight line). Our nanopositioning products are calibrated with laser interferometry and the non linearity errors are compensated down to 0.02% of the full travel.线性误差：实际位置与一阶蕞佳拟合线（直线）之间的误差。 我们的纳米定位产品使用激光干涉仪进行校准，非线性误差补偿低至全行程的 0.02%。Orthogonality error : The angular off¬set of two defined motion axes from being orthogonal to each other. It can be interpreted as a part of crosstalk. 正交性误差：两个定义的运动轴相互正交的角度偏移。 它可以解释为串扰的一部分。Position noise : The amplitude of the stage shaking when it is on a static command. It is usually measured and specified with Peak-To-Peak value. It is a combination of the sensor noise, driver electronics noise and command noise, etc. The position noise of our stages is very limited due to the very high Signal-To-Noise ratio of the Silicon HR sensors we use. 位置噪声：在静态命令下载物台晃动的幅度。 它通常用峰峰值来测量和指定。 它是传感器噪声、驱动器电子噪声和命令噪声等的组合。由于我们使用的 Silicon HR 传感器具有非常高的信噪比，我们平台的位置噪声非常有限。Range of motion : The maximum dISPlacement of the nanopositioners. 运动范围（行程）:纳米定位器的蕞大位移。Resolution : The minimum step size the stage can move. 分辨率:舞台可以移动的蕞小步长。Resonant frequency : Piezostage are oscillating mechanical systems characterized by a resonant frequency. The resonant frequency that we give is the lowest resonant frequency that can be seen on a nanopositioner. In general, the higher the resonant frequency of a system, the higher the stability and the wider working bandwidth the system will have. The resonant frequency of a piezostage is determined by the square root of the ratio of sti¬ness and mass. 谐振频率：压电级是以谐振频率为特征的振荡机械系统。 我们给出的共振频率是在纳米定位器上可以看到的蕞低共振频率。 一般来说，系统的谐振频率越高，系统的稳定性和工作带宽就越宽。 压电级的共振频率由刚度和质量之比的平方根决定。Silicon HR sensor : Piezoconcept use temperature compensated High-Resolution silicon sensors network for reaching highest long-term stability. This measuring device is capable of measuring position noise in the picometer range and its response is not dependent of the presence of pollutants, air pressure changes like other high-end sensors can be. Si-HR 传感器：Piezoconcept 使用温度补偿高分辨率硅传感器网络，以达到蕞高的长期稳定性。 该测量装置能够测量皮米范围内的位置噪声，并且其响应不依赖于污染物的存在，应对改变气压带来的影响与其他高端传感器一样。Step response time : The step response time is the time needed by the nanopositioner to do the travel from 10% of the commanded value to 90% of the commanded value. The step response time reflects the dynamic characteristics of the system and is relatively to the installation method and load of the stage.阶跃响应时间：阶跃响应时间是纳米定位器从指令值的 10% 到指令值的 90% 所需的时间。 阶跃响应时间反映了系统的动态特性，并且与位移台的安装方式和负载有关。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。相关技术文

在半导体、平板显示器 (FPD) 和有机发光二极管 (OLED) 制造业中，设计支持高通量检测（即，每次所需时间可处理的检测数量）的计量仪器是我们面临的一项共同挑战。作为 OEM 光学器件和组件的供应商，Evident为仪器设计师提供高质量的显微镜装置，而这些仪器设计师会为检测、生产和研究领域开发光学设备。对于制造业中的质量检测，由于这些装置设计合理周到，还有助于提高产量（即所有产品中无缺陷产品的百分比）。例如，集成到高通量检测设备中的显微镜装置通常需要直观的远程控制，以便所有技能水平的用户都可以轻松准确地执行检测。通过简单的控制，您可以调整焦距、样品观察位置、观察方法和放大倍率，以快速获得用于检测的图像。我们提供各种能够实现电动控制的装置，如电动Z轴驱动显微镜装置、电动照明器、电动分析仪、控制箱和手动开关。我们还推出了一款带有真空功能 (U-D5BDREMC-VA) 的电动物镜转盘，其可以改善清洁度，同时提高速度和耐用性。对于并不熟悉该装置的人，物镜转盘（也称作物镜转塔）可以容纳不同放大率的物镜。通过旋转转盘，用户可以根据需要在不同的放大倍数下查看样品。电动物镜转盘半导体、FPD 和 OLED 行业的污染控制清洁度是半导体、FPD 和 OLED 制造行业的检查人员很关心的问题，这一点关系到是否可以生产出功能正常的产品。因此，应将检测设备用于受控环境，如洁净室。不允许灰尘从物镜转盘落到样品上，如半导体晶圆。即使是微小的灰尘也会污染晶圆，破坏其功能，进而影响产品产量。我们带真空功能的电动物镜转盘 (U-D5BDREMC-VA) 使用负压吸力，可减少物镜转盘旋转时落下的细粒数量，并捕获润滑系统所用润滑脂产生的任何气体或灰尘。这种真空功能使我们的物镜转盘成为受控洁净室环境的理想选择。物镜转盘可用作半导体和FPD检测设备的内置显微镜模块。用于污染控制的带真空功能的物镜转盘用于半导体晶圆检测及其他用途的各种物镜转盘我们提供各种物镜转盘，这些物镜转盘可集成到检测、生产和研究领域的系统中。我们的选择包含手动和电动选项。手动物镜转盘：该产品系列可以支持诸如明场、暗场和微分干涉对比 (DIC) 等观测方法，可以容纳四至七个物镜，满足 ESD 规范等。带编码功能的物镜转盘：这种类型的手动物镜转盘可以检测转盘的物镜安装孔位置。您可以使用软件将物镜的放大倍率信息与其在转盘上的位置相匹配，使您能够更快地将放大倍率信息添加到捕获的图像中，同时降低手动数据输入错误的风险。电动物镜转盘：这种类型的物镜转盘可以通过电动方式移动五个或六个物镜。带有真空功能的电动物镜转盘同样已经推出。带对中功能的物镜转盘：这种类型的物镜转盘可让您通过手动或电动方式将物镜的光轴对中。这样可以改变物镜转盘的孔位置，以便针对每个物镜的细微移动进行调整。最终将所有安装的物镜对准。经过调整，您会发现更换物镜前后，中心位置是相同的。物镜支架转接器：这款转接器 (STM7-MMOBAD) 可让您只使用一个物镜。如果您的应用不需要多个物镜，那这是一种经济实惠的选择。请注意，这款转接器（适配器）仅配备 RMS 螺丝 W26，并且没有用于暗场照明的光路。您只需将一个物镜连接到支持多个物镜的系统，物镜适配器 (STM7-MMOBAD) 实现了灵活性。左侧：使用物镜适配器连接了一个物镜。中间：连接转盘前。右侧：使用物镜转盘连接了多个物镜。

珠海新能源产业新添“羽翼”乘风而起。5月15日，华南唯一实现动力电池及电驱动系统检测全覆盖的国家级检测平台——国家新能源汽车动力电池及电驱动系统质量检验检测中心（广东）（以下简称“中心”）在珠海金湾区揭牌成立。金湾区区长刘军称，中心的正式成立，是以精准质量服务为企业走向世界搭建桥梁纽带的生动实践，是以产业科技互促双强促进生产力不断向新的质态跃升的重要典范，将助力金湾、珠海加快抢占新能源产业高地，带动产业高端化智能化绿色化转型升级。赋能产业转型升级在珠海金湾区的创新版图上，中心无疑是一块重要“拼图”。据悉，中心配备了电驱动系统电波暗室等近百台套先进检测设备，总值高达1.85亿元。广东省珠海市质量计量监督检测所（国家新能源汽车动力电池及电驱动系统质量检验检测中心）党总支书记黄甦称，中心的成立，不仅将吸引产业集聚，更将成为服务产业、推动转型升级的强大引擎。他强调：“技术日新月异，我们也在不断进步。我们的检验团队将与企业并肩作战，不断优化技术，促进我国新能源汽车技术能力在全球领先。”中心的工作重点紧密围绕新能源产业的需求，涵盖动力电池、电驱动系统、充电桩（机）等核心部件的检验检测、研发中试、标准制修订及培训咨询。其检测能力之广泛，涵盖了可靠性、安全性、电磁兼容性及环境适应性，甚至延伸至整车电磁兼容等领域，形成了全方位的技术服务体系。作为一个推动新质生产力和现代化产业体系构建的关键技术平台，中心强调产、检、研合作，致力于共性技术的突破。它与高校、企业紧密合作，开展了13项科技项目研究，获得了15项授权专利，发表了50余篇论文，并参与了17项国家标准、团体标准的制修订工作。中心还主动对接企业，开放实验室，为企业提供近在家门口的检验检测服务，节约了大量的外送成本。此外，中心还与多家国际机构进行了国际比对，实现了国际互认，为企业产品出口欧美提供了强有力的技术支撑。珠海市市场监管局书记石学斌认为，中心的揭牌，是珠海市构建高水平质量基础设施的又一重要举措和重要成果，意味着珠海正在形成覆盖动力电池及电驱动系统各类项目的检验检测服务体系，为关键核心技术从研发创新到产业化应用提供重要助力和支撑。金湾逐梦绿色未来珠江之畔，东西两岸竞相辉映，而中心选择珠江西岸为栖，原因何在？黄甦道出了背后的考量：珠海新能源产业根基深，政府扶持力度大，从土地供应到设备购置，全方位保驾护航，使得中心能够在这片沃土上扎根成长，成为推动地区乃至国家新能源汽车产业飞跃的关键支点。当前，全球能源格局正发生深度调整和变革，发展绿色低碳的可再生能源正成为世界的共识。面对这道历史性考题，金湾区以远见卓识为笔，以实干精神为墨，精心勾画出充满活力的发展宏图：牢牢把握“全市工业发展主阵地、城市功能提升支撑点，经济能级量级迈向更高层次的重要动力源”全新目标要求，全力以赴抓产业拼经济促发展。一季度的经济数据见证了金湾的稳健步伐，地区生产总值190.48亿元，增速5.3%，规上工业总产值、规上工业增加值、全社会固定资产投资三项指标总量领跑全市，交出了稳中有进、进中提质的“开门红”答卷。新能源与新能源汽车产业在这里蓬勃兴起，新能源和新能源汽车产业规上工业企业达70家，实现总产值79.24亿元，同比增长7.1%，初步形成了“一个核心、四个重点”的产业链发展格局。金湾区区长刘军称，接下来，金湾将瞄准今年地区生产总值增长超8%的目标，积极推动新能源产业链向上下游延伸拓展，辐射带动新型储能、光伏、风电等领域加速发展，以科技创新引领产业创新，积极培育和发展新质生产力，为全力冲刺“千亿金湾”奠定坚实基础。