精密手动倾斜台水平角度调整台

美国国家标准与技术研究院 （NIST） 和半导体及相关行业检测和测量系统提供商 KLA Corporation 的研究人员提高了扫描电子显微镜 （SEM） 测量的准确性。SEM用于半导体制造中的过程控制应用，有助于确保高产量生产功能性高性能芯片。SEM使用聚焦电子束对小至1纳米的特征进行成像，使其成为表征半导体器件结构的重要仪器。在芯片制造过程中，高分辨率 SEM 用于许多检测和计量应用，包括检测非常小的缺陷、识别和分类光学检测员发现的缺陷、图案特征的关键尺寸测量、覆盖测量等。这些信息有助于芯片工程师表征和微调其制造工艺。当电子束通过SEM时，它会受到仔细控制。电子束与理想路径的轻微偏差或电子束撞击芯片表面的角度的微小错位都会使生成的 SEM 图像失真并歪曲器件的结构。NIST和KLA通过考虑电子束的这些角度错位，提高了SEM的精度。该联合研究项目测量光束倾斜的精度小于一毫弧度，即百分之五度，这需要在角分辨率和测量验证方面取得进步。为了测量光束倾斜，NIST和KLA创建了电子显微镜的原型标准，并以一种新的方式分析了所得的电子显微照片。原型标准由一系列锥形硅柱组成，称为锥形视锥体，形成对光束倾斜高度敏感的图像。倾斜表现为视锥体顶部边缘和底部边缘图像中心之间的偏移。利用他们在模拟电子-物质相互作用方面的专业知识，研究人员使用模拟来展示亚毫弧度精度的潜力，指导他们正在进行的标准工件的设计和制造。已知位置的锥形视锥体阵列有可能测量 SEM 扫描和成像的区域内光束倾斜的任何变化。这些测量可以进一步校准电子显微镜的放大倍率和畸变。此外，新标准还适用于芯片制造中使用的其他显微镜方法，包括原子力和超分辨率光学显微镜。比较不同显微镜方法结果的能力有助于在不同方法之间可靠且可重复地传输信息，并提高测量模型的准确性。锥形视锥体阵列的模型“电子束倾斜会改变器件特征的表观位置，降低SEM测量的准确性，”NIST研究员兼涵盖这项研究的行业论文的第一作者Andrew C. Madison说。“我们的新标准和分析方法可以检测电子束位移，因为它在整个成像场中变化。“有了这些数据，SEM制造商可以实施校准和校正，以提高图像质量和测量精度，”NIST研究员兼首席研究员Samuel M. Stavis说。“作为半导体检测和计量领域的专家，我们不断探索可以扩展当前测量极限的新技术，”KLA公司高级副总裁兼总经理Yalin Xiong说。“与研究机构的合作在发现有助于推进芯片行业过程控制的创新方面发挥着重要作用。我们与NIST的联合研究旨在提高用于表征芯片制造工艺的基本测量的准确性。

随着科技资源开放共享及市场化运营机制的不断完善，今年，首都科技条件平台将在继续扩大仪器设备开放规模的基础上，进一步向开放科技成果、科技人才倾斜。　　六大领域平台搭建完善开放体系　　在日前举办的中国第十四届软博会上，首都科技条件平台各个建设单位集中展示了各自领域平台的建设及资源开放情况。　　据介绍，2009年，首都科技条件平台所辖电子信息、生物医药、新材料、能源环保四大领域平台及12家研发实验服务基地，实现了264个国家、北京市重点实验室和工程中心、13112台套仪器设备、约76.3亿元的科技资源向社会开放。　　今年四五月间，北京市科委先后授权北京技术交易促进中心、北京生产力促进中心分别搭建技术转移、装备制造领域科技条件平台，标志着首都科技条件平台体系已扩展至六大领域，再加上研发实验服务基地由12家增加到14家，基本涵盖了北京市重大产业发展领域。　　随着条件平台在产业领域和研发实验服务基地建设上的拓展，首都科技资源开放量将继续增长，今年有望新增资源开放量25亿元，开放总量达100亿元。　　今年授牌的装备制造领域平台突出了服务的前瞻性和引领性。该平台除开展仪器测试方面的服务外，还依托数控装备联盟服务于高端制造业，依托生产力促进服务联盟服务于现代服务业。“装备制造领域依靠单个企业研发突破很难，只有借助平台联合企业共同研发，才能在共性关键技术上获得突破。”北京生产力促进中心部长陈立军告诉《科学时报》记者。　　对于装备制造领域平台和之前的平台是否存在资源竞争的关系，陈立军表示，竞争关系肯定存在，比如电子信息领域平台的成员单位北京自动测试技术研究所，也有针对装备制造领域的测试服务内容，但这部分资源并没有纳入装备制造领域平台。　　北京软件与信息服务业促进中心业务发展部孙启向《科学时报》记者介绍，北京自动测试技术研究所的资源目前已被纳入北京市科学研究院，该院是今年新成立的两个研发实验服务基地之一，这就相当于通过研发实验服务基地把资源整合起来，而不再计算入电子信息领域平台的开放范围。　　陈立军认为，目前虽然需要北京市科委在科技资源和指标划分上予以统筹协调，但六大领域平台形成一个整体团队、加强合作、共同作好服务的目标和意愿非常明确。　　成果转化成平台工作重点　　同样是今年授牌的技术转移领域科技条件平台，其开放的科技资源不仅包括仪器设备，更包括科技成果和人才。　　北京技术交易促进中心高级顾问钟之绚在接受《科学时报》记者采访时表示，从资源开放的角度看，技术转移平台丰富了首都科技条件平台开放资源的种类，并且更侧重于成果开放，即以成果转化、科技成果产业化为主要工作内容。　　据介绍，技术转移平台在成果转化的运行方式方面也区别于一般的成果转化方式。一般的成果转化通常是把成果汇集成册集中向企业推荐，技术转移平台则采取相反的方式，即以需求为导向，通过对市场需求的捕捉，然后把需求向其他领域平台“开放”，主要为了促成各领域平台之间的成果和需求对接。　　钟之绚说：“我们既收集仪器设备的测试需求，更注重对企业技术难题、技术需求的收集。目前已征集企业需求近100项，下一步需要就这些需求与相关研发实验服务基地和其他领域平台进行对接。”　　中科院北京国家技术转移中心事业二部部长张利军表示，中科院研发实验服务基地作为首都科技条件平台14家基地中规模最大、综合性最强的基地，近期工作重点为对一批科技成果进行开放，该基地目前已征集40多个具备产业化条件的优秀科研成果，并侧重这些科研成果的地方转化工作。　　张利军介绍，前不久包括激光显示、绿色印刷等一批重大科技项目集中落户中关村科技园区，北京国家技术转移中心即提供了全程式的跟踪服务。而未来在与地方科技局的合作中，该中心将进一步挖掘地方需求，通过需求导向，不断挖掘中心内部科技资源，以实现和地方的有效对接。　　孙启也表示，电子信息领域平台今年也将重点推动科技成果、落地的工作，“我们在探索，希望通过首都科技条件平台的资源优势，把手中拥有的许多科研成果推广下去，特别是找到一些企业进行科技成果的产业化”。

科众精密-光学接触角测量仪原理 接触角是液体在液固气三态 交接处平衡时所形成的角度，液滴的形状由的表面张力所决定，θ 是固体被液 体湿润的量化指标，但它同时也能用于表面 处理和表面洁净的质量管控，表面张力 液体中的分子受到各个方向 相等的吸引力，但在液体表面的分子受到液体分子的拉力会大于气体分子的拉力，所以 液体就会向内收缩，这种自发性的收缩称之为表面张力 γ。对于清洗性，湿润度，乳化作用和其它表面相关性质而言，γ 是一个相当敏感的指标 悬垂液滴量测法悬垂液滴测量能提供 一个非常简便的方法来量测液体的表面张力 (气液接口) 和两个液体之间的接口张力 (液液接口) ，在悬垂液滴量测法中，表面张力和界面张力值的计算是经由分析悬吊在滴管顶端 的液滴的形状而来，接触角分析可依据液滴的影像做 杨氏议程计算 表面张力和接口张力。这项技巧非常的准确，而且在不同的温度和压力下也可以量测。 前进角与后退角使用在固体基板上的固着液滴可以得到静态的接触角。另外有一种量测方式称之为动态接触角，如果液固气三态接触的边界是处于移动状态，所形成的角度称之为前进角与后退角，这个角度的求取是由液滴形状的来决定。另外，固体样品的表面张力无法被直接量测，要求取这个值，只要两种以上的已知液体, 就可求得固体表面的临界表。以下是通过接触角测量仪测量单位济南大学材料学院设备序号5设备名称接触角测定仪 数量1调研产品（品牌型号）科众KZS-20共性参数1. 接触角测量范围：0～180°，接触角测量分辨率：±0.01°，测量精度±0.1°。2. 表界面张力测量范围和精度：0.01～2000mN/m，分辨率：±0.01mN/m。3. 光学系统：变焦镜头（放大倍率≧4.5倍），前置长焦透镜，通光量可调节。4. 高清晰度高速CCD，拍摄速度可达1220张图像/S，像素最高可达2048 x 1088。5. 光源：软件可调连续光强且无滞后作用的光源。6. 注射体积、速度可以软件进行控制；注射单元精度≤0.1uL；注射液体既可通过软件，亦可通过手动按钮控制液体注射。7. 注射单元调节：注射单元可进行X-、Y-、Z-轴准确调节；8. 整个注射单元支架可以旋转90°调整。9. 滚动角测量：自动倾斜台（整机倾斜），可调节倾斜角度范围≥90°，可测量滚动角。10. 接触角拟合方法：宽高法、椭圆法、切线法、L-Y法11. 动态接触角计算：全自动的动态接触角测量，软件控制注射体积、速率、时间，自动计算前进角和后退角。12. 表面自由能计算：9种可选模型计算固体表面自由能及其分量，分析粘附功曲线、润湿曲线。13. 具有环境控温功能，进行变温测试(0-110 oC), 分辨率0.1K。14. 品牌计算机: i7 4790 /8GB内存/1TB（7200转）硬盘/2G独立显卡/19英寸液晶显示器/DVD刻录光驱。15. 必备易耗品（供应商根据投标产品功能提供）16. 另配附件，要求：进口微量注射器3个，备用不锈钢针6根，一次性针头100根、适合仪器功率的稳压电源（190-250V）1台、配置钢木结构实验台( C型钢架、钢厚≥1.5mm，长2m、宽0.75m，板材采用三聚氰胺板，铝合金拉手，铰链采用国际五金标准，抽屉三阶式静音滑轨、抽屉负重≥25KG，含专用线盒，可安装5孔或6孔插座，优质地脚)。17. 售后服务：自安装调试验收完毕后之日起24个月内免费保修；每年提供至少一次的免费巡检。