行星齿轮驱动数字型分配泵

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行星齿轮驱动数字型分配泵相关的厂商

  • 武汉电弛新能源有限公司 银牌1年
    400-860-5168转6092
    武汉电弛新能源有限公司是一家在锂电池、氢燃料电池领域专注于前沿检测技术与仪器开发，制造，以及销售服务的科技创新型企业。我们不断发掘客户的前沿需求，坚持自主创新，追求产品的智能化、数字化和人性化，并立志成为全球一流的测试技术提供商。领先的产品开发技术、多场景需求导向、配套的测试技术服务、高质量人才基础上的广泛合作是我公司的四大优势。公司设立了2个事业部，锂电池事业部与氢能事业部。锂电池事业部的产品覆盖了锂电池生产的全生命周期，为锂电池的研发、测试、验证等环节提供了系统、专业的解决方案和服务，能够满足电池新材料的开发、工艺优化以及电池安全评估等多场景的需求。我们致力于让我们的测试仪器能够实现从实验室研究到生产线检测的快速转换，提高测试效率，降低测试成本。氢能事业部的产品，则包括了催化剂研究，膜电极（MEA）研究，电解水制氢测试等。DSR 数字型旋转圆盘电极装置，可以评价氧还原（ORR）、二氧化碳还原（CO2RR）等催化剂。980系列PEM燃料电池膜电极测试装置，780系列电解水制氢测试装置都可以方便相关科研领域的研究。公司秉承“创新，匠心”的理念，依托国内211/985高校的技术支持和人才基础，与国内主流厂商建立深度应用孵化的合作关系，服务于中国新能源研究领域和制造业，提供卓越的测试设备、直接有效的解决方案以及高效周到的技术服务。专于电池，精于测试。武汉电弛新能源有限公司竭诚为您！
    主营产品： BMS   电化学工作站   其他测试系统   氢分析仪  
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  • 保定兰格恒流泵有限公司 银牌11年
    400-860-5168转3122
    保定兰格恒流泵有限公司，外资企业，成立于1997年。 专注于精密流体传输与处理设备的研制，自1998年国产第一款蠕动泵、2004年国产第一款实验室注射泵、2008年国产第一款工业注射泵，已获得专利15项、著作权9项。现已形成以蠕动泵为核心，包括：实验室注射泵、工业注射泵、微型齿轮泵、微型柱塞泵的5大类产品，并向成套设备、ODM方向快速发展，产品系列超过40个，产品型号超过300种。 通过严格贯彻ISO9001标准、不断提高产品质量，持续保有高新技术企业、著名商标、诚信企业等荣誉称号，多种产品通过CE认证并销往欧美日等发达国家。 经过17年的健康发展，我们将继续努力，保持国内技术水平最高、产品种类最全、产品质量最好、规模最大的优势，为广大用户提供最合适的产品服务。 公司理念 ： 因专业而精彩：不断发展精密泵 因创新而进步：不断研发新产品 因体系而强大：保持国际一流企业
    主营产品： 蠕动泵   注射泵   恒流泵   流式细胞仪  
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  • 保定市兰格恒流泵有限公司
    兰格公司位于保定市国家高新技术产业开发区创业中心，具有良好的工作环境和标准的生产车间，拥有高素质的研发队伍和可靠的技术手段。企业以更先进的技术、雄厚的资金和新的管理理念，为国内外用户提供更优质的技术服务和产品支持。 自1997年起，保定兰格恒流泵有限公司就致力于微量精密泵和磁力搅拌器的研发及生产。几年来，兰格公司以高质量的产品和优质高效的服务，赢得了用户的认可。目前，兰格产品已在生化、制药、精细化工、环保等领域得到广泛应用，并且已经达到了国内领先水平。 专业研发生产高品质 蠕动泵 （恒流泵 精密泵 软管泵） 齿轮泵 磁力搅拌器 注射泵 泵头 灌装系统 软管 （泵管） 及OEM 等 适用于食品，化工，啤酒，制药，生物医学，造纸，陶瓷，建筑，采矿，水处理等行业
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行星齿轮驱动数字型分配泵相关的仪器

  • 行星齿轮驱动数字型泵 400-860-5168转1082
    仪器简介：数字型泵可通过6-按钮键盘输入泵转速实现精确泵送，适用于持续泵送；模拟输入使您可遥控转速；TTL接点闭合可实现启/停，旋转方向，和自启动控制。通过模拟输出监控速度。 产品参数：78023-00 标准速度，行星齿轮驱动，数字型泵；4通道 流速：0.004至35.43毫升/分 转速：0至45转/分 最大压力：22磅/平方英寸 规格：6-7/8英寸x 5-1/8英寸 x 7-1/16英寸 电源：115/230伏交流，50/60赫兹（开关选择） 78023-10 标准速度，行星齿轮驱动，数字型泵；8通道 流速：0.004至35.43毫升/分 转速：0至45转/分 规格：6-7/8英寸x 5-1/8英寸 x 8-11/16英寸 电源：115/230伏交流，50/60赫兹（开关选择） 78023-20 标准速度，行星齿轮驱动，数字型泵；12通道 流速：0.004至35.43毫升/分 转速：0至45转/分 规格：6-7/8英寸 x 5-1/8英寸 x 10-1/4英寸 电源：115/230伏交流，50/60赫兹（开关选择） 78023-30 标准速度，行星齿轮驱动，数字型泵；16通道 流速：0.004至35.43毫升/分 流速：0至45转/分 规格：6-7/8英寸 x 5-1/8英寸 x 11-7/8英寸 电源：115/230伏交流，50/60赫兹（开关选择） 7802340 标准速度，行星齿轮驱动，数字型泵；24通道 流速：0.004至35.43毫升/分 转速：0至45转/分 规格：6-7/8英寸 x 5-1/8英寸 x 14-15/16英寸 115/230伏交流，50/60赫兹（开关选择） 技术参数：78023-00 标准速度，行星齿轮驱动，数字型泵；4通道 流速：0.004至35.43毫升/分 转速：0至45转/分 最大压力：22磅/平方英寸 规格：6-7/8英寸x 5-1/8英寸 x 7-1/16英寸 电源：115/230伏交流，50/60赫兹（开关选择）
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    厂商： 北京中科科尔仪器有限公司
    品牌： 未知
    型号： 78023-xx
    价格： 面议
  • coleparmer 行星齿轮驱动，数字型泵WX-78023 400-860-5168转1380
    ?数字型泵可通过6-按钮键盘输入泵转速实现精确泵送，—适用于持续泵送；模拟输入使您可遥控转速；TTL接点闭合可实现启/停，旋转方向，和自启动控制。通过模拟输出监控速度。技术参数：WX-78023-00产品类型Planetary Gear-Driven型号ISM940B负债循环continuous精度better than ±1%功率VAC115/230Hz50/60CE指令合规性Yes输入通过RS-232（接口类型DB9 male）可实现所有的操作功能；通过接点闭合（接口类型DB15 male ）输出0至5，0至10伏直流，0至20，4至20毫安信号实现速度，启/停，反转，和自启动控制；脚踏开关和手持分配器（3针DIN端口）。最高流速 (mL/min)35.43品牌Ismatec最大压力bar1.5psi22泵管两截辊轴8通道4深度 (毫米 )179.3875宽 (毫米 )174.625高度 (毫米 )130.175尺寸" W6.875" D7.0625" H5.125输入VDC5/10mA20马达速度 (转/分钟 )0 to 45 技术参数：WX-78023-10产品类型Planetary Gear-Driven型号12391负债循环continuous精度better than ±1%功率VAC115/230Hz50/60CE指令合规性Yes输入通过RS-232（接口类型DB9 male）可实现所有的操作功能；通过接点闭合（接口类型DB15 male ）输出0至5，0至10伏直流，0至20，4至20毫安信号实现速度，启/停，反转，和自启动控制；脚踏开关和手持分配器（3针DIN端口）。最高流速 (mL/min)35.43品牌Ismatec最大压力bar1.5psi22泵管两截辊轴8通道8深度 (毫米 )220.6625宽 (毫米 )174.625高度 (毫米 )130.175尺寸" W6.875" D8.6875" H5.125输入VDC5/10mA20马达速度 (转/分钟 )0 to 45技术参数：WX-78023-20产品类型Planetary Gear-Driven型号ISM942负债循环continuous精度better than ±1%功率VAC115/230Hz50/60CE指令合规性Yes输入通过RS-232（接口类型DB9 male）可实现所有的操作功能；通过接点闭合（接口类型DB15 male ）输出0至5，0至10伏直流，0至20，4至20毫安信号实现速度，启/停，反转，和自启动控制；脚踏开关和手持分配器（3针DIN端口）。最高流速 (mL/min)35.43品牌Ismatec最大压力bar1.5psi22泵管两截辊轴8通道12深度 (毫米 )260.35宽 (毫米 )174.625高度 (毫米 )130.175尺寸" W6.875" D10.25" H5.125输入VDC5/10mA20马达速度 (转/分钟 )0 to 45技术参数：WX-78023-30产品类型Planetary Gear-Driven型号3771负债循环continuous精度better than ±1%功率VAC115/230Hz50/60CE指令合规性Yes输入通过RS-232（接口类型DB9 male）可实现所有的操作功能；通过接点闭合（接口类型DB15 male ）输出0至5，0至10伏直流，0至20，4至20毫安信号实现速度，启/停，反转，和自启动控制；脚踏开关和手持分配器（3针DIN端口）。最高流速 (mL/min)35.43品牌Ismatec最大压力bar1.5psi22泵管两截辊轴8通道16深度 (毫米 )301.625宽 (毫米 )174.625高度 (毫米 )130.175尺寸" W6.875" D11.875" H5.125输入VDC5/10mA20马达速度 (转/分钟 )0 to 45技术参数：WX-78023-40产品类型Planetary Gear-Driven型号ISM944负债循环continuous精度better than ±1%功率VAC115/230Hz50/60CE指令合规性Yes输入通过RS-232（接口类型DB9 male）可实现所有的操作功能；通过接点闭合（接口类型DB15 male ）输出0至5，0至10伏直流，0至20，4至20毫安信号实现速度，启/停，反转，和自启动控制；脚踏开关和手持分配器（3针DIN端口）。最高流速 (mL/min)35.43品牌Ismatec最大压力bar1.5psi22泵管两截辊轴8通道24深度 (毫米 )379.4125宽 (毫米 )174.625高度 (毫米 )130.175尺寸" W6.875" D14.9375" H5.125输入VDC5/10mA20马达速度 (转/分钟 )0 to 45技术参数：WX-78023-02产品类型Planetary Gear-Driven型号12144负债循环continuous精度better than ±1%功率VAC115/230Hz50/60CE指令合规性Yes输入通过接点闭合（接口类型DB15 male ）输出0至5，0至10伏直流，0至20，4至20毫安信号实现速度，启/停，反转，和自启动控制；脚踏开关和手持分配器（3针DIN端口）。最高流速 (mL/min)8.8品牌Ismatec最大压力bar1.5psi22泵管两截辊轴8通道4深度 (毫米 )179.3875宽 (毫米 )174.625高度 (毫米 )130.175尺寸" W6.875" D7.0625" H5.125输入VDC5/10mA20马达速度 (转/分钟 )0 to 11技术参数：WX-78023-12产品类型Planetary Gear-Driven型号ISM946负债循环continuous精度better than ±1%功率VAC115/230Hz50/60CE指令合规性Yes输入通过接点闭合（接口类型DB15 male ）输出0至5，0至10伏直流，0至20，4至20毫安信号实现速度，启/停，反转，和自启动控制；脚踏开关和手持分配器（3针DIN端口）。最高流速 (mL/min)8.8品牌Ismatec最大压力bar1.5psi22泵管两截辊轴8通道8深度 (毫米 )220.6625宽 (毫米 )174.625高度 (毫米 )130.175尺寸" W6.875" D8.6875" H5.125输入VDC5/10mA20马达速度 (转/分钟 )0 to 11技术参数：WX-78023-22产品类型Planetary Gear-Driven型号3775负债循环continuous精度better than ±1%功率VAC115/230Hz50/60CE指令合规性Yes输入通过接点闭合（接口类型DB15 male ）输出0至5，0至10伏直流，0至20，4至20毫安信号实现速度，启/停，反转，和自启动控制；脚踏开关和手持分配器（3针DIN端口）。最高流速 (mL/min)8.8品牌Ismatec最大压力bar1.5psi22泵管两截辊轴8通道12深度 (毫米 )260.35宽 (毫米 )174.625高度 (毫米 )130.175尺寸" W6.875" D10.25" H5.125输入VDC5/10mA20马达速度 (转/分钟 )0 to 11技术参数：WX-78023-32产品类型Planetary Gear-Driven型号11971负债循环continuous精度better than ±1%功率VAC115/230Hz50/60CE指令合规性Yes输入通过接点闭合（接口类型DB15 male ）输出0至5，0至10伏直流，0至20，4至20毫安信号实现速度，启/停，反转，和自启动控制；脚踏开关和手持分配器（3针DIN端口）。最高流速 (mL/min)8.8品牌Ismatec最大压力bar1.5psi22泵管两截辊轴8通道16深度 (毫米 )301.625宽 (毫米 )174.625高度 (毫米 )130.175尺寸" W6.875" D11.875" H5.125输入VDC5/10mA20马达速度 (转/分钟 )0 to 11技术参数：WX-78023-42产品类型Planetary Gear-Driven型号ISM949负债循环continuous精度better than ±1%功率VAC115/240Hz50/60CE指令合规性Yes输入通过接点闭合（接口类型DB15 male ）输出0至5，0至10伏直流，0至20，4至20毫安信号实现速度，启/停，反转，和自启动控制；脚踏开关和手持分配器（3针DIN端口）。最高流速 (mL/min)8.8品牌Ismatec最大压力bar1.5psi22泵管两截辊轴8通道24深度 (毫米 )379.4125宽 (毫米 )174.625高度 (毫米 )130.175尺寸" W6.875" D14.9375" H5.125输入VDC5/10mA20马达速度 (转/分钟 )0 to 11
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    厂商： 上海纳锘实业有限公司
    品牌： 科尔帕默/Cole-Parmer
    型号： WX-78023
    价格： 面议
  • coleparmer 低转速，行星齿轮驱动，数字型分配泵WX-78001 400-860-5168转1380
    泵具有模拟和RS-232接口以及TTL接点，可遥控（有关细节请见下栏详细说明）；通过模拟输出监控速度；持续泵送或分配操作时可选用四种模式中的任一个；您可以选择电机步长（8步/转和1-9999步），时间（0.1-899.9秒），批量（在两次分配间设定间隔时间），或无滴漏操作（规划后续步骤以防止滴漏）控制模式之一来分配输送；该泵具有切换开关，可选择115伏交流/60赫兹和230伏交流/50赫兹两种操作；随机配备6英尺长带插头电源线，和一个滤筒和两个各通道专用的转换接头；订购额外的滤筒和转换接头作为常备件，在需要快速更换管道的时候备件就显得尤其重要。技术参数：WX-78001-00产品类型Planetary Gear-Driven型号ISM935负债循环continuous精度better than ±1%功率VAC115/230Hz50/60CE指令合规性Yes输入0 to 5, 0 to 10 VDC, 0 to 20, 4 to 20 mA for speed control, start/stop, reverse direction, and autostart via contact closure (DB15 male) footswitch and hand dispenser (3-pin DIN port)最高流速 (mL/min)8.8品牌Ismatec最大压力bar1.5psi22泵管两截辊轴8通道4深度 (毫米 )179.3875宽 (毫米 )149.225高度 (毫米 )130.175尺寸" W5.875" D7.0625" H5.125输入VDC5/10mA20马达速度 (转/分钟 )0 to 11技术参数：WX-78001-02产品类型Planetary Gear-Driven型号ISM930负债循环continuous精度better than ±1%功率VAC115/230Hz50/60CE指令合规性Yes输入0 to 5, 0 to 10 VDC, 0 to 20, 4 to 20 mA for speed control, start/stop, reverse direction, and autostart via contact closure (DB15 male) footswitch and hand dispenser (3-pin DIN port)最高流速 (mL/min)35.43品牌Ismatec最大压力bar1.5psi22泵管两截辊轴8通道4深度 (毫米 )179.3875宽 (毫米 )149.225高度 (毫米 )130.175尺寸" W5.875" D7.0625" H5.125输入VDC5/10mA20马达速度 (转/分钟 )0 to 45技术参数：WX-78001-12产品类型Planetary Gear-Driven型号ISM931负债循环continuous精度better than ±1%功率VAC115/230Hz50/60CE指令合规性Yes输入0 to 5, 0 to 10 VDC, 0 to 20, 4 to 20 mA for speed control, start/stop, reverse direction, and autostart via contact closure (DB15 male) footswitch and hand dispenser (3-pin DIN port)最高流速 (mL/min)35.43品牌Ismatec最大压力bar1.5psi22泵管两截辊轴8通道8深度 (毫米 )220.6625宽 (毫米 )149.225高度 (毫米 )130.175尺寸" W5.875" D8.6875" H5.125输入VDC5/10mA20马达速度 (转/分钟 )0 to 45技术参数：WX-78001-22产品类型Planetary Gear-Driven型号ISM932负债循环continuous精度better than ±1%功率VAC115/230Hz50/60CE指令合规性Yes输入0 to 5, 0 to 10 VDC, 0 to 20, 4 to 20 mA for speed control, start/stop, reverse direction, and autostart via contact closure (DB15 male) footswitch and hand dispenser (3-pin DIN port)最高流速 (mL/min)35.43品牌Ismatec最大压力bar1.5psi22泵管两截辊轴8通道12深度 (毫米 )260.35宽 (毫米 )149.225高度 (毫米 )130.175尺寸" W5.875" D10.25" H5.125输入VDC5/10mA20马达速度 (转/分钟 )0 to 45技术参数：WX-78001-32产品类型Planetary Gear-Driven型号ISM933负债循环continuous精度better than ±1%功率VAC115/230Hz50/60CE指令合规性Yes输入0 to 5, 0 to 10 VDC, 0 to 20, 4 to 20 mA for speed control, start/stop, reverse direction, and autostart via contact closure (DB15 male) footswitch and hand dispenser (3-pin DIN port)最高流速 (mL/min)35.43品牌Ismatec最大压力bar1.5psi22泵管两截辊轴8通道16深度 (毫米 )301.625宽 (毫米 )149.225高度 (毫米 )130.175尺寸" W5.875" D11.875" H5.125输入VDC5/10mA20马达速度 (转/分钟 )0 to 45技术参数：WX-78001-40产品类型Planetary Gear-Driven型号ISM939负债循环continuous精度better than ±1%功率VAC115/230Hz50/60CE指令合规性Yes输入0 to 5, 0 to 10 VDC, 0 to 20, 4 to 20 mA for speed control, start/stop, reverse direction, and autostart via contact closure (DB15 male) footswitch and hand dispenser (3-pin DIN port)最高流速 (mL/min)8.8品牌Ismatec最大压力bar1.5psi22泵管两截辊轴8通道24深度 (毫米 )379.4125宽 (毫米 )149.225高度 (毫米 )130.175尺寸" W5.875" D14.9375" H5.125输入VDC5/10mA20马达速度 (转/分钟 )0 to 11技术参数：WX-78001-42产品类型Planetary Gear-Driven型号ISM934负债循环continuous精度better than ±1%功率VAC115/230Hz50/60CE指令合规性Yes输入0 to 5, 0 to 10 VDC, 0 to 20, 4 to 20 mA for speed control, start/stop, reverse direction, and autostart via contact closure (DB15 male) footswitch and hand dispenser (3-pin DIN port)最高流速 (mL/min)35.43品牌Ismatec最大压力bar1.5psi22泵管两截辊轴8通道24深度 (毫米 )379.4125宽 (毫米 )149.225高度 (毫米 )130.175尺寸" W5.875" D14.9375" H5.125输入VDC5/10mA20马达速度 (转/分钟 )0 to 45
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    厂商： 上海纳锘实业有限公司
    品牌： 科尔帕默/Cole-Parmer
    型号： WX-78001
    价格： 面议
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  • 再添强势新成员！dLSP 501W数字型分体式注射泵正式上市
    兰格dLSP 501S/ dLSP 501L 数字型分体式注射泵自上市以来以其高效、可靠的技术助力生命科学行业的发展。 作为流体传输供应商，兰格公司一直与行业同行，创新从未止步。为了进一步满足不同领域科学研究，契合用户更严苛的实验需求，dLSP 501X家族日益壮大，新成员dLSP 501W强势加入，可适配60mL注射器，且控制器dLSP uC也升级了在线调节流量等新的功能。 01 高清液晶触摸屏 采用7寸高清彩色液晶触摸屏，可为4个执行单元设置独立运行参数，搭建4通道多功能系统 dLSP 501W 执行单元可适配 5uL-60mL注射器 02 在线调整流量 可根据实验情况实时调整流量，提高实验效率，降低实验成本 03 多种运行模式 多种运行模式:灌注,抽取,先注后抽取,先抽取后灌注,编程,满足多种应用需求 04 支持通道扩展和级联 支持通道扩展和级联，各执行单元可拥有独立参数。电脑通过专用PC控制软件，其他上位机通过RS485/ModbusRTU，控制各执行单元独立运行 05 参数保存为方案 可存储100组参数方案，支持导入和导出，简化参数设置流程，便于不同注射单元之间的参数共享 06 符合法规要求 锁屏功能、三级权限管理及密码保护、日志记录和电子签名,确保操作的安全性、正确性及合规性 07 典型应用 兰格提供多种实验室注射泵，dLSP 501X数字型分体式注射泵传承了上一代产品的优秀性能，助力您提升实验效率！
    时间： 2023-11-17
    作者： 保定兰格
  • 小巧智能 助力微液 | dLSP 501S/ dLSP 501L 兰格数字型分体式注射泵正式上市
    近年来，兰格公司力求在产品和技术上精益求精并且推陈出新，在众所期盼下，新dLSP 501S/ dLSP 501L 数字型分体式注射泵正式上市。 新注射泵显著提升设备硬件和软件性能，可获得更精良的整机运行精度，准确性精度≤±0.35%，重复性精度优于0.03%，更便捷的使用体验，有效提高工作效率。新dLSP 501S/ dLSP 501L 数字型分体式注射泵提供参数方案编程功能，可实现具有挑战性的4通道之间的时序控制，契合用户更严苛的实验需求。同时，也顺应仪器设备小型化趋势，体积小巧，结构紧凑，便于手持和固定，优化设备占用空间。 01高清液晶触摸屏 采⽤ 7⼨ (1024x600像素)⾼ 清液晶触摸屏，可为4个执⾏ 单元设置独⽴ 运⾏ 参数，搭建4通道多功能系统。 02多种运行模式 可灌注，抽取，先灌注后抽取，先抽取后灌注，编程，满⾜ 多种应⽤ 需求。 03支持通道扩展和级联 各执⾏ 单元可拥有独⽴ 参数，上位机通过RS485, Modbus RTU控制各执⾏ 单元独⽴ 运⾏ 。 04参数保存为方案 参数可保存为⽅ 案，且可直接导⼊ 导出，简化参数设置流程，便于不同注射单元之间的参数共享。 05符合法规要求 锁屏功能、三级权限管理及密码保护、⽇ 志记录和电⼦ 签名，确保操作的安全性、正确性及合规性。 技术规格 兰格提供多种实验室注射泵，dLSP 501S/ dLSP 501L 数字型分体式注射泵，传承了上一代产品的优秀性能，助力您提升实验效率！
    时间： 2023-06-12
    作者： 保定兰格
  • 基于折叠数字型超构透镜的片上光谱仪
    近日，哈尔滨工业大学（深圳）徐科教授、宋清海教授课题组，提出一种基于像素编码的片上数字型超构透镜，因其灵活的设计自由度而具备强大的光场调控能力。该工作以折叠级联的方式构建了高度紧凑的色散元件，结合重构算法实现了片上集成的高分辨率光谱仪。文章提出的数字型超构透镜可显著提升面内光束聚焦、准直和偏转能力。所设计的级联折叠型超构透镜组能够很好地解决传统色散光谱仪尺寸和分辨率互为矛盾的问题。结合重构算法，该器件以100 μm ×100 μm的紧凑尺寸在近红外波段超过35 nm的波长范围内实现了0.14 nm的分辨率，并且可以完成任意光谱的重构和解析。该光谱仪完全通过标准硅光工艺制造，在系统级集成和CMOS兼容性方面具有优势。所提出的超构透镜结构还可移植到氮化硅或其他光子集成平台，以轻松扩展到可见光或中红外波长等波段，为成像、光学计算等其他应用提供有力的光场调控方案。该研究成果以“Folded digital meta-lenses for on-chip spectrometer”为题于2023年4月11日在线发表在《Nano Letters》上。随着物联网、消费电子等应用领域的不断发展，对光谱仪的小型化提出了更高的要求。近40年里，光谱仪的微型化技术经历了从基于分立器件技术到集成光学技术的发展，逐渐趋于低成本和片上集成化。近年来，受到自由空间超构表面波前调控的启发，基于超构波导的一些平面内衍射光网络正在成为片上光波操纵的有力工具。目前已报道的片上超构系统都是基于各单元长度不等的传输阵列，结构规则简单但设计自由度受限，导致系统集成度和功能的局限性。如何突破设计自由度的限制，是提升片上超构表面光场调控能力以及拓展应用的关键。借助超构表面强大的光学操控能力，有望突破传统片上光谱仪分辨率和器件尺寸相互制约的矛盾。为了解决设计自由度受限的问题，文章提出了一种基于像素编码的数字型超构表面。基本思想为求解超构表面目标相位分布。为降低算力消耗，我们将目标区域划分为多个单元，通过逆向设计对每个单元图案分别进行编码，在平面任意区域实现任意相位响应。与数字型超构波导在局部区域内的原位控制不同，本文提出的数字型超构表面可以整体操纵面内波衍射及其在整个平板区域内的传播。这种特性使该结构能够设计连续大相位梯度的高色散数字型超构透镜，允许光束在紧凑的尺寸内实现聚焦、准直和大角度弯曲等类似几何光学透镜的功能。具体设计原理如图1所示。图1. 基于数字型超构表面的超构透镜逆向设计原理。(a)超构透镜在1550 nm处的光弯曲 (θ=45°)和聚焦(f = 19.5 μm)的射线光学演示。(b)透镜的理想相位轮廓曲线(φ)，可视为45°弯曲相位曲线 (φ1)和聚焦相位曲线(φ2)的叠加。I:计算的绝对相位，II:对应的菲涅耳相位。(c)每个单元的优化器件图案和对应的理想相位曲线(φ)。(d) 计算出的理想相位掩模（黑色实线）与所设计超构透镜的模拟相位响应（红色虚线）之间的比较。(e)所设计单个超构透镜的模拟光场分布。(f)模拟超构透镜的焦点AI不同波长下沿x'轴的偏移。插图为不同波长下焦点的横截面光场分布图。要实现更高的波长分辨率，需要累积色差和增加光程。为了验证设计效果，本文设计并制备了一种基于五层折叠超构透镜的光谱仪，器件尺寸仅为100 μm×100 μm。该器件的模拟光场和实测结果如图2所示。图2(a)中的五层超构透镜功能不同，透镜I用于准直扩束输入光同时转折光路，透镜II-IV则承担着累积色散和波长分束的作用。受到读出波导间距的限制，此时该器件直接读出的分辨率约为1 nm (图2(d))。为了进一步提高光谱仪性能以及器件的制备容差，在色散分光的基础上引入了光谱重构算法。图2. 基于五层折叠超构透镜的光谱仪。(a)五层折叠超构透镜光谱仪在1550 nm处的模拟光场分布。(b)器件尺寸为100 μm×100 μm的光谱仪显微镜图像。插图:超构透镜和输出波导阵列的局部电镜图像。(c)器件实测的输出强度与输入波长的映射图。(d)两个相邻输出通道11和12的透射光谱，通道间距约为1 nm。(e)谱相关函数C(δλ)的半高半宽δλ为0.108 nm，与光谱仪的估计分辨率相对应。为了体现光谱仪的性能，构造了几种不同类型的预编程光谱来测试光谱仪的性能。重构光谱见图3。结果表明，结合重构算法后，该光谱仪的光谱分辨率提升至0.14 nm(图3(a))，整体工作带宽覆盖1530 nm-1565 nm，且性能在边带依旧保持稳定(图3(c))。此外，对于同时具有宽高斯背景和窄带单峰特征的复杂频谱(图3(d))，本文提出的片上光谱仪依旧能与商用光谱仪保持良好的一致性。图3. 使用基于五个折叠超构透镜的片上光谱仪进行光谱重建（实线表示重建光谱，虚线表示商用光谱仪测试结果）。(a)两条相隔约0.14 nm的窄光谱线的重建光谱。(b)距离约20.61 nm的双峰重建光谱。(c)在工作带宽上分别重建7处不同波长的窄带光谱。(d)宽带光源入射的重建光谱。此文提出的基于数字型超构透镜的片上光谱仪在超过35 nm的波长范围内实现了0.14 nm的分辨率。整体尺寸仅为100 μm ×100 μm，最小特征尺寸为120 nm，可通过标准硅光工艺大规模制造。该设计方案具有可移植性，使用氮化硅或其他集成平台，基于超构透镜的光谱仪可以扩展到可见光或中红外波长。目前器件的数据读出依赖于片外功率计，可以通过集成片上光电探测器阵列来改善。此外，片上数字型超构透镜作为一种功能强大的片上光场调控器件，在成像、光计算等领域也有应用潜力。
    时间： 2023-04-24
    作者： 筱筱
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