扫描镜

MEMS扫描镜姓名：许工(Gary)电话：（微信同号）邮箱：光学扫描镜是矢量扫描设备，能使入射光束按照特定的方式与时间顺序发生反射，从而在像面上实现扫描成像.传统的光学扫描镜体积大、成本高，且多为散装，大大限制了其应用。相较于传统的扫描镜，MEMS扫描镜具有尺寸小、成本低、扫描频率高、响应速度快和功耗低等优点，以被广泛的应用在光通信、扫描成像、激光雷达、内窥镜、3D扫描成像等领域。按照扫描维度不同，MEMS扫描镜可以分为一维扫描镜和二维扫描镜，一维扫描镜是指在镜面在一个维度内偏转，二维扫描镜是指沿着两个方向同时对光束进行调节。实现二维扫描，可以选用两个一维的扫描镜，也可以选用两个一个二维的扫描镜。相比较而言二维扫描镜功能更强大，但是结构也更复杂，控制的难度也就越大。按照驱动方式的不同，MEMS扫描镜可以分为静电驱动、电磁驱动、压电驱动和电热驱动四种驱动方式。电热驱动是，利用电能转换为热能，再转换为机械能驱动，其优点是驱动力和驱动位移较大，但是响应速度较慢。压电驱动是利用压电材料的压电效应实现驱动，具有驱动力大、响应速度快等优点，但是压电材料存在迟滞现象。电磁驱动是利用电磁或者永磁体实现驱动，具有较大的驱动力力和驱动位移，但是响应速度偏慢，且容易受到电磁干扰。静电驱动是利用带电导体间的静电作用力实现驱动，具有功耗低、速度快、兼容性好等优点。是目前使用广泛的驱动方式。下图给出了各种驱动方式的性能对比驱动方式速度力幅度电压压电驱动快大小高电磁驱动慢大大低热驱动慢大大较低静电驱动快小较小高上海昊量光电推出的MEMS扫描镜全部由单晶硅制成，也就是说这种设计使运动部件不包括任何易出故障的部件，例如，金属、聚合物、压电材料等。使其拥有卓越的重复性和可靠性。采用无万向节设计，使大镜面尺寸和大角度偏转的MEMS微振镜拥有更高的速度。静电驱动的MEMS扫描微振镜两个轴的偏转角度可达到32°，在满振幅运转功耗仅为几毫瓦。目前静电驱动的微振镜可提供的一维和二维的MEMS扫描镜，可提供直径从0.8mm到5mm微型振镜。该款微振镜针对对点对点（受迫振动）光束扫描进行了特殊设计及优化。该MEMS扫描镜采用静电驱动且选用整个单晶硅制备而成，因此使得驱动电压和偏转角度之间存在良好的一一对应的关系，并且有着可重复性，而且随着使用时间的推移依然保持着极高的性能。对于开环的微振镜，致动器在每个轴上至少有14Bits（约16384个位置），因此当机械偏转角度为-5°到+5°是，角度的分辨率可达到10微弧度。在整片的单晶硅上采用无万向节设计和独特的多级悬梁制造工艺制作一个完整的微镜促动器。其中采用无万向节设计可以使微镜在成像或光束偏转时可以在两个轴上达到同样的高速度。一个普通的拥有0.8mm直径的微镜，当机械偏角为-6°到+6°时，非谐振偏转速度超过1000rad/s，谐振频率更是达到3.6KHz。与常规的MEMS扫描镜不同的是，该微型振镜可以在多个模式下工作，即点对点模式（受迫振动）、混合模式和谐振模式。如下图所示：a)这种模式可称为点对点模式，或者是静态模式。在这种情况下两个轴利用设备操作的宽带宽从直流到某个频率，并且不允许谐振。因此镜子可以保持在某一位置，或者以匀速运动或执行矢量图形等。b）第二种模式为混合模式，即其中一个轴处于准静态模式，另外一个轴处于谐振模式c）第三种模式为谐振模式，这时两个轴利用狭窄高增益共振来获得较大的偏角较低的电压以及较高的速度。设计用于点对点模式的设备，在接近共振或共振时倍驱动，很容易超过安全偏转角而损坏。因此需要使用非常小的正弦驱动电压驱动接近谐振工作模式，并且非常仔细的寻找所需要的工作点和角度，以便不超过给定的机械偏角限制。 可提供的产品如下：1）开发套件（Development Kits）开发套件是为了方便客户更快速而有效的了解设备的性能、用途及使用方法。它可以通过专门开发的软件及驱动器安全的使设备运转。产品图片产品描述标准开发套件：[可按需求删减其中配件]该套件包含以下部分1） 三个二维扫描镜；1.2mm 偏角±5°；2.0mm 偏角±5° 3.6mm偏角±5.52）USB控制器3）软件及C++ LabVIEW；Matlab SDK4）激光和光学面包板，包含635nm 5W激光器、光学面包板等半定制开发套件：该套件可自主选择套件中镜子的尺寸及偏角；其余配件与标准开发套件相同包含扫描模块的开发套件：1） 扫描模块：该套件扫描模块只包含一个1.2mm的镜子，该镜子与635nm激光器广角透镜预装到一个模块中，扫描角度可达±20°2） USB控制器3）软件及C++ LabVIEW；Matlab SDK激光雷达开发套件I：1） 三个镀金膜二维扫描镜；2个4.6mm，偏角±5°；1个5mm，偏角±5°2）USB控制器3）软件及C++ LabVIEW；Matlab SDK4）激光和光学面包板，包含635nm 5W激光器、光学面包板等激光雷达开发套件II1） 四个二维扫描镜；2个2mm，偏角±4.8°；2个2.4mm±5°2）USB控制器3）软件及C++ LabVIEW；Matlab SDK4）激光和光学面包板，包含635nm 5W激光器、光学面包板等2）演示套件（Demonstrator Kits）产品图片产品描述激光跟踪及MEM微镜演示套件；套件包含以下产品1）扫描模块；该模块将1.2mm的镜子与3-10mW绿光激光器广角透镜预装到一个模块中，扫描角度可达±20°2）光电传感器，包含滤光片、60°FOV和电缆3）USB控制器4）软件及C++ LabVIEW；Matlab SDK激光扫描和相机感知演示套件；套件包含以下产品1）扫描模块；该模块将1.2mm的镜子与3-10mW绿光激光器激光器广角透镜预装到一个模块中，扫描角度可达±20°2）USB 3.0 相机包含 6mm镜头 (~45°x 34.5° FoV) 720x540 像素；500 fps3）相机及扫描模块机械装配件4）USB控制器5）软件及C++ LabVIEW；Matlab SDK+相机感知API6）专为该套件开发的软件示例3D扫描演示套件；该套件包含以下产品1） 扫描模块；该模块将1.2mm的镜子与3-10mW红色激光器激光器广角透镜预装到一个模块中，扫描角度可达±20°2） USB3.0 相机包含8mm镜头（~34.5°x 26.2° FoV） 720x540 像素；500 fps3） 相机及扫描模块机械装配件4） USB控制器5） 软件及C++ LabVIEW；Matlab SDK+相机感知API6） 专为该套件开发的软件示例MEMS扫描镜3D激光雷达演示套件；1）3D激光雷达2）专用软件3）附件包含1个USB数据线用于数据传输和供电视频投影和成像演示套件；该套件包含1） 两个MEMS模块；MEMS1 – 0.9mm；MEMS2 – 3.2mm x 1.3mm 长镜2） 激光及镜子线缆3） 激光模块（单波长激光）绿光 ~520nm, ~20-40mW；调制能力100MHz；光斑直径1mm4） 控制器-基于FPGA的控制器及USB接口5） 软件-基于MATLAB的GUI应用程序用于扫描参数探究-基于Windows的演示应用程序3）MEMS扫描镜Integrate mirror促动器名称机械偏角[°]镜面直径[mm]数据单A3I8.2±60.8数据单1A7M8.1±4.750.8数据单2A7M10.2±4.751.0数据单3A3I12.2±51.2数据单4F1M16.1±51.6数据单5A7M20.2±4.82.0数据单6A5M24.2±52.4数据单7Bonded Mirror促动器名称机械偏角镜面直径（mm）2.02.43.03.64.24.65.06.47.5A7B1.1±7数据单8数据单9数据单 10数据单11NRNRNRNRNRA7B2.1±5.5NR数据单12数据单 13数据单14NRNRNRNRNRA8L2.2±5NRNR数据单 15数据单16数据单17数据单18数据单19NRNRA5L3.3(C2)±4.25数据单20数据单21数据单22数据单23数据单24数据单25数据单26NRNRA5L3.3(C1)±2.5数据单27数据单28数据单29数据单30数据单31数据单32数据单33数据单34NRA5L2.2±1数据单35数据单36数据单 37数据单38数据单39数据单40数据单41数据单42数据单434）微镜控制器产品图片产品描述USB控制器，该控制器装配了一个高速的集成芯片PIC32MZ MCU；它可以直接与电脑连接，并使用我们的软件运行MEMS扫描镜，此外控制器可以作为一些固定波形的存储区域，并以开环方式运行/输出这些波形，以驱动MEMS反射镜和外围设备。该控制器由USB供电，功耗1000mW。OEM模拟驱动板；4个单极模拟输出~0V-xxx (“B160”, “T180” and “X200” 驱动方式)；10个输入引脚连接用于X和Y模拟输入，MEMS驱动器使能，低通滤波器控制（FCLK），VDD和GND用户通过2个用于X和Y轴的模拟输入信号（-10V至+ 10V输入范围）来控制4个通道（X +，X-，Y-，Y +） 用户提供用于设置硬件滤波器截止频率的时钟（必填）OEM数字驱动板； 4个单极模拟输出?0V-200V（“ X200”驱动模式）10引脚输入，用于：SPI，MEMS驱动器使能，FCLK_X，FCLK_Y，VDD和GND用户通过SPI命令控制16位DAC的4个通道（X +，X-，Y-，Y +）四个通道每秒采样频率为250k用户提供用于设置硬件滤波器截止频率的时钟（必填）NOTE：对于初次使用，不购买套件的用户，不提供该驱动板，只提供模拟OEM板 MEMS扫描镜主要特点：l 大的镜面尺寸l 大的光学偏角可达32°l 重复精度可达到0.001°l 可实现静态扫描模式（受迫振动）MEMS扫描镜主要应用：l 投影显示装置l 扫描成像及激光雷达成像l 3D跟踪和位置测量l 激光打标、雕刻l 光束偏转、扫描更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。您可以通过我们昊量光电的官方网站了解更多的产品信息，或直接来电咨询。

显微镜物镜扫描仪高精度亚纳米物镜扫描台/定位台！上海昊量推出的物镜扫描台采用压电陶瓷直推，以柔性铰链为导向使物镜扫描台具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点，采用硅位移传感器，物镜扫描台相比于传统的电容式位移传感器，物镜扫描台硅传感器使平移台拥有更高的精度和线性度以及较低的底噪。物镜扫描台的精度可以达到亚纳米，底噪低至10pm。上海昊量光电设备有限公司推出的压电平移台旨在满足超精密定位应用的需求。该平移台采用压电陶瓷驱动，以柔性铰链为导向使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。采用硅高精度位移传感器，与电容位移传感器相比拥有更高的精度、线性度和低底噪。由于其具有较高的精度、线性度和较低的底噪等优点，被广泛的应用于超分辨率显微镜，光学捕获和原子力显微镜等领域。AU-FOCHS采用管状设计，专门用于显微镜物镜快速高精度定位。该物镜扫描台可提供行程可达到100μm，精度可达到0.1 nm，谐振频率可达到1175Hz。它由铝、钢和黄铜构成，配备硅传感器，可提供皮米级的稳定性。以上优点使其拥有广泛的应用，例如，激光加工、显微成像、体容积成像，等还可以与相机系统结合使用实现自动对焦。AU-FOC是一款专门用于显微镜物镜准确定位的设备。该物镜扫描台可提供100/200/300/500μm不同行程。该物镜扫描台由铝和黄铜构成，结合硅传感器可提供皮米量级的稳定性。以上两款物镜扫描台的黄铜安装环可以轻松更换，因此几乎所有的物镜都可以与这两款物镜扫描台结合使用。可用的物镜大小有RMS, M25, M26, M27 和 M32.显微镜物镜扫描台产品特点：l 高分辨率（0.01nm）l 高速度，谐振频率可达1175Hzl 采用硅传感技术l 超低底噪l 柔性铰链导向显微镜物镜扫描台主要应用：l 自动聚焦系统l 共焦显微镜l 3D成像l 超分辨显微镜l 半导体计量学 显微镜物镜扫描台产品参数：更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。您可以通过我们昊量光电的官方网站了解更多的产品信息，或直接来电咨询。

扫描电镜RISE — 拉曼成像与扫描电子联用显微镜（拉曼-SEM） 与TESCAN电镜联用的 RISE 显微镜世界首款完全集成的拉曼成像与扫描电子显微镜 RISE 显微镜是一款新型联用显微镜，它将 SEM 和共聚焦拉曼成像结合在一起。通过 RISE 显微镜，可以将超微结构表面特性与分子化合物信息关联起来。 RISE 显微镜将SEM 和alpha300共聚焦拉曼成像显微镜的所有功能都融于一台仪器中：在拉曼和 SEM 测量之间快速、简便切换自动将样品从一个测量位置移动另一个位置集成化软件界面，方便用户进行测量控制测量结果关联与图像叠加独立的SEM 和拉曼成像性能 与ZEISS电镜联用的 RISE 显微镜RISE 显微技术 利用 RISE 显微镜，在整个测量程序中，可以将样品在 SEM 真空室内从一个测量位置自动转移到另一个位置，从而简化了工作流程，大大提高了仪器的易用性。 扫描电镜RISE应用实例 仓鼠脑组织切片的拉曼-SEM叠加图像。彩色编码的拉曼图像：绿色：脑白质；红色：脑灰质；扫描范围:100 x 100 μm，300 x 300 像素 = 90,000 光谱，每光谱测量时间 50 ms。 砷化镓 (GaAs) 样品的拉曼-SEM叠加图像。彩色编码的拉曼图像：黄色：金基底；红色：GaAs；蓝色：生产残留物；扫描范围:50 x 50 μm，300 x 300 像素 = 90,000 光谱，每光谱测量时间 34 ms。 PMMA-PS 共混聚合物的拉曼-SEM叠加图像。 彩色编码的拉曼图像：绿色：聚苯乙烯；红色：聚甲基丙烯酸甲酯。 RISE 显微镜与地质样品的 EDX 同区域对应分析。左：叠加的 SEM-EDX 图像：可以区分三种不同元素组（橙色：Si、O；紫色：Si、Al、Fe、Ca；绿色：Na）。中间：同一样品区的拉曼-SEM叠加图像，呈现分子化合物的空间分布。右：相应的拉曼光谱。红色：绿帘石；绿色：石英；棕色：斜长石（钠长石）；额外其他分子化合物。 扫描电镜RISE主要特点l 扫描电镜可以对样品进行各种各样的分析，而RISE技术把拉曼与电镜结合起来，使在电镜内部直接分析样品的化学组分成为了可能l 共聚焦拉曼显微镜l WITec的RISE共聚焦拉曼成像拥有电镜拉曼联用市场上最高的成像速度，成像灵敏度及成像空间分辨率l 拉曼光谱成像：连续扫描的拉曼高光谱全谱成像，每个样品点都能获得完整的拉曼光谱l 平面2D和包含深度Z方向的3D成像模式l 532激发的拉曼mapping可获得400nm的水平方向空间分辨率l 532激发的拉曼mapping可获得900nm的竖直方向空间分辨率l 超高光通量的透镜式光谱仪可获得最高的光谱灵敏度及光谱分辨率性能l 超快拉曼成像选项可达到每张光谱0.76ms 的超快采谱速度l 非破坏性成像技术，无需对样品进行染色或者标记 RISE 显微技术是您的最佳选择对于入门操作者来说：简易的操作流程让您更容易上手对于有经验的操作者来说：在一台设备上同事实现原位的电镜拉曼联用图像，可以让用户获得更多的样品信息 扫描电镜RISE适用领域：材料科学，纳米技术，高分子科学，地质学，生命科学，制药业