大面积快速扫描轮廓仪

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  • 镇江超纳仪器有限公司 银牌4年
    400-860-5168转4574
    镇江超纳仪器有限公司是一家由美国硅谷资深博士专家团队创立的，集自主研发、制造、销售和技术服务为一体的中外合资国家高新技术企业。公司专注于光电精密检测领域的技术研发及产业化，着重发展以光机电软一体化为核心的电子光学检测设备。公司的技术和产品广泛应用于先进制造业中纳米、微米级结构表面微观特征的三维精密测量，包括表面粗糙度、表面轮廓、台阶高、表面缺陷、微观形貌、薄膜厚度等等。公司产品已形成五大系列，覆盖的行业包括了先进制造业的各个领域：集成电路制程工艺、封装工艺、微电子机械系统制造（MEMS)、PCB基板和多层板制造、太阳能光伏电池片工艺、高效LED芯片生产、高端通讯制造、航空、航天、汽车、光学零件领域中超精密机械加工、医药仪器和生物工程材料、新型材料表面工程、智能手机/平面电脑/柔性显示等新一代显示技术等领域的研发和大规模生产。 公司自主研发的3D光学干涉轮廓仪产品获得“江苏省首台（套）重大装备”认定，测量精度0.1nm(纳米)，测量技术指标达到了国际先进水平。
    主营产品：
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  • 铂悦仪器（上海）有限公司 金牌19年
    400-801-8356
    铂悦仪器自2004年成立以来，凭借与世界各大仪器知名品牌的战略合作关系，以及不断优化公司自身经营管理，提高服务质量，成为中国国内知名的仪器供应商。铂悦仪器所提供的产品均属于高科技行业，产品包括高精度的分析仪器、检测仪器和生产设备，以及配套的耗材和配件，这些产品广泛应用于工业、环境、食品、生物、地质、半导体、太阳能、医药、医疗器械、艺术考古、刑侦等各个领域并服务于各大院校、研究所、检测机构、及政府部门等。铂悦仪器不仅拥有高品质的产品，更培养了专业的销售、应用支持和售后服务团队。本着客户至上的原则，从客户的实际需求出发，铂悦仪器为客户提供仪器销售，安装培训，应用支持，代检测服务及仪器短期租赁服务等综合解决方案，并提供持续而良好的售后服务，由此也获得了广大客户的信任与认可。企业文化Corporate Culture： CREDIT C- Confidence: 自信R- Responsibility: 责任心E- Efficiency: 效率D- Diligence: 勤奋I- Intelligence: 机智T- Trust: 信任铂悦仪器持续为您提供：仪器销售，安装培训，应用支持，代检测服务及仪器短期租赁服务。行业涵盖：工业、环境、食品、生物、地质、半导体、太阳能、医药、医疗器械、艺术考古、刑侦 应用范围：材料成份分析（定性/定量）大面积材料元素分布材料表面/形貌分析3D扫描--快速3D成像CT--3D内部结构分析太阳能IV检测产品：-- 直读光谱仪 -- 手持式XRF分析仪 S1 TITAN-- 科研级手持式XRF分析仪TRACER-- 便携式荧光光谱仪 ELIO--便携台式XRF分析仪 CTX--微区X射线荧光光谱仪-元素扫描M4 TORNADO--岩芯分析仪--台阶仪、光学轮廓仪、原子力显微镜AFM--台式X射线荧光测厚仪-- X射线透射系统/3D断层扫描系统 （CT ）-- 3D扫描仪 --便携式IV曲线检测仪 铂悦客服1---电话（同微信号）：15921886097铂悦客服2---电话（同微信号）：15921889771 铂悦客服3---电话（同微信号）：17780587719
    主营产品： 能散型XRF   台阶仪   光电直读光谱   光学仪器组件  
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  • 上海纳嘉仪器有限公司
    上海纳嘉仪器有限公司专业代理表面与薄膜测量仪器与设备，提供各种表面与薄膜测量的技术方案。主要代理多款高端微纳米级别表面测量仪器：原子力显微镜&扫描探针显微镜，探针式轮廓仪（台阶仪），三维光学轮廓仪，色散共焦轮廓仪，光谱式椭偏仪，反射干涉仪以及各种仪器耗材等。 上海纳嘉仪器有限公司专业致力于销售各种高端科研测试类仪器与技术服务，主要代理世界一流公司的微纳米级表面测量产品，着力为各高校，研究所以及高科技公司等单位提供集产品、应用和服务于一体的整体解决方案！
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  • 超纳3D光学干涉轮廓设备NanoX-8000 400-860-5168转4574
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    厂商： 镇江超纳仪器有限公司
    品牌： 超纳仪器/SUB-NANO
    型号： NanoX-8000
    价格： 100万元
  • 探针式表面轮廓仪DektakXT 400-895-0897
    布鲁克 DektakXT 台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供更高的重复性和分辨率，测量重复性可以达到5Å 。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak技术创新的顶峰，更加巩固了其行业领先地位。不论应用于研发还是产品测量，通过在研究工作中的广泛使用，DektakXT一定能够做到功能更强大，操作更简易，检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术突破，使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。DektakXT 完美设计 探针系统的评价体系受三个因素影响：能否重复测量，数据采集和分析速度快慢，操作的难易程度。这些因素直接影响了数据的质量和操作效率。DektakXT利用全新结构和和最佳软件来实现可重复、时间短、易操作这三个必要因素，达到最佳的仪器使用效果。 强化操作的可重复性 Delivering Repeatable Measurements DektakXT在设计上的几个提高，使其在测量台阶高度重复性方面具有优异的表现，台阶高度重复性可以到达5Å .使用single-arch结构比原先的悬臂梁设计更坚硬持久不易弯曲损坏，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。同时，Bruker还对仪器的智能化电子器件进行完善，提高其稳定性，降低温度变化对它的影响，并采用先进的数据处理器。在控制器电路中使用这些灵敏的电子元器件,会把可能引起误差的噪音降到最低，DektakXT的系统因此可以更稳定可靠的实现对高度小于10nm的台阶的扫描。Single-arch结构和智能器件的联用，大大降低了扫描台的噪音，增强了稳定性，使其成为一个极具竞争力的台阶仪（表面轮廓仪）。 提高数据采集和分析速度 SpeedingUp Collectionand Analysis 利用独特的直接扫描平台，DektakXT通过减少从得到原始数据到扣除背底噪音所需要的时间，来提高扫描效率。这一改进，大大提高了大范围扫描3D形貌或者对于表面应力长程扫描的扫描速度。在保证质量和重复性的前提下，可以将数据采集处理的速度提高40%。另外，DektakXT采用Bruker 64-Bit数据采集分析同步操作系统Vision64，它可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描时的数据分析处理效率。Vision64还具有最有效直观的用户界面，简化了实验操作设置，可以自动完成多扫描模式，使很多枯燥繁复的实验操作变得更快速简洁。 完善的操作和分析系统 PerfectingOperationand Analysis与DektakXT的创新性设计相得益彰的配置是Bruker的Vision64操作分析软件。Vision64提供了操作上最实用简洁的用户界面，具备智能结构，可视化的使用流程，以及各种参数的自助设定以满足用户的各种使用要求，快速简便的实现各种类型数据的采集和分析。DektakXT 技术参数&mdash 台阶高度重复性5Å &mdash Single-arch设计大大提高了扫描稳定性&mdash 前置敏化器件，降低了噪音对测量的干扰&mdash 新的硬件配置使数据采集能力提高了40%&mdash 64-bit，这一Vision64同步数据处理软件，使数据分析速度提高了十倍。功能卓越，操作简易&mdash 直观的Vision64用户界面操作流程简便易行&mdash 针尖自动校准系统让用户更换针尖不再是难事台阶仪（表面轮廓仪）领域无可撼动的世界领先地位&mdash 布鲁克的台阶仪，体积轻巧，功能强大。&mdash 单传感器设计提供了单一平面上低作用力和宽扫描范围
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    厂商： 布鲁克纳米表面仪器部(Bruker Nano Surfaces)
    品牌： 布鲁克/Bruker
    型号： DektakXT
    价格： 面议
  • Profilm 3D光学轮廓仪 400-860-5168转1679
    Profilm 3D是一款兼具垂直扫描干涉 (VSI)和高精确度相移干涉 (PSI) 技术的经济型光学轮廓仪，其可以用于多种用途的高精度表面测量。Profilm 3D光学轮廓仪具有以下优点：&Yuml 价格优势：市场上具性价比的白光干涉轮廓仪，具有价格优势的高精度轮廓仪。&Yuml 快速测量大面积区域：测量范围为毫米级别，配置XY样品台达100mm*100mm，可实现大面积样品的轻松测量；&Yuml 简单易用：只需将样品放置于样品台上，即可直接进行测量；&Yuml 可以测量非接触式非平坦样品：由于光学轮廓测量法是一种非接触式技术，可以轻松测量弯曲和其他非平面表面。还轻松地测量曲面的表面光洁度，纹理和粗糙度。除此之外，作为一种非接触式方法光学轮廓仪不会像探针式轮廓仪那样损坏柔软的薄膜。&Yuml 无需更换耗材：只需要一个LED光源，无需其他配件更换；&Yuml 可视化3D功能：Profilm 3D轮廓仪具有强大的处理软件，软件除包括表面粗糙度，形状和台阶高度的测量外，还可以任意角度移动样品量测三维图形，多角度分析样品图像。适用于各类样品：Profilm 3D轮廓仪适用于各类金属、非晶硅和多晶硅、陶瓷材料、电介质、硬质涂层、高分子聚合物、光刻胶等的表面轮廓及粗糙度等测量。 &Yuml ProfilmOnline 在线免费网络分析 可在线分析 ProfilmOnline 可存储、共享、查看与分析来自您的光学轮廓仪或3D显微镜之3D影像。任何台式电脑，平板电脑或智能手机上都能查看和操作。享受全面的图像分析功能，包括表面轮廓（粗糙度）和阶高分析。 Profilm 3D光学轮廓仪功能：&Yuml 用于测量粗糙度使用Profilm 3D轮廓仪可以以秒为单位测量表面纹理，光洁度和粗糙度，只需单击鼠标即可完成。Profilm3D采用白光干涉测量（WLI）和相移干涉测量（PSI）等行业标准技术，可快速测量大面积2D区域的粗糙度和纹理，无需接触样品。&Yuml 测量曲面样品由于Profilm 3D是一种非接触式技术，因此可以轻松测量弯曲和其他非平面表面。另外在测量方法中添加形状去除（也称为形状去除）和过滤，即可轻松实现表面光洁度，纹理和粗糙度的测量！&Yuml 任何粗糙度参数标准Profilm 3D拥有47个ASME / EUR / ISO粗糙度参数标准。可以在结果中显示其中的任何一个或全部，从而使自定义报告变得轻而易举。符合ISO 9000和ASME B46.1标准，ISO现在完全支持测量表面粗糙度的光学方法。特别是，ISO 25178第604部分描述了Profilm3D的WLI方法（其中也称为相干扫描干涉测量法）。二、主要功能 主要应用台阶高度表面粗糙度线宽及轮廓 技术能力厚度范围，VSI 50nm-100mm厚度范围，PSI 0-3 µ m样品反射率范围 0.05%-100%Piezo范围 500 µ mXY平台范围100mm x 100mm三、应用台阶高度、表面形貌、表面粗糙度、大面积拼接等
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    厂商： 上海纳腾仪器有限公司
    品牌： KLA
    型号： Profilm 3D
    价格： 30万 - 50万元
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  • 441万！广东工业大学透射电子显微镜与扫描电镜大面积SDD能谱仪等设备采购
    项目编号：1371-2241GDGH1149项目名称：透射电子显微镜与扫描电镜大面积SDD能谱仪等设备采购采购方式：公开招标预算金额：4,410,000.00元采购需求：合同包1(透射电子显微镜与扫描电镜大面积SDD能谱仪等设备采购):合同包预算金额：4,410,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1其他专用仪器仪表扫描电镜大面积SDD能谱仪1(套)详见采购文件890,000.00-1-2其他专用仪器仪表120KV透射电子显微镜1(套)详见采购文件3,520,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：进口免税产品：扫描电镜大面积SDD能谱仪的合同签订后120天内交付使用；120kv透射电子显微镜的合同签订后300天内交付使用。
    时间： 2022-07-02
    作者： dahua1981
  • 飞秒激光烧蚀制备大面积均匀纳米结构进展
    最近，在中国科学院院士徐至展领导下，中山大学光电材料与技术国家重点实验室与中国科学院上海光机所强场激光物理国家重点实验室展开合作研究，在飞秒激光烧蚀制备大面积均匀纳米结构方面取得重要进展，相关成果发表在《光学快报》(Optics Express) (2008, 16, 19354-19365))。纳米科技领域国际著名期刊Small (2008, 4, No. 12, 2099)在News from the micro-nano world栏目以“大面积均匀纳米结构”(Large-area Uniform Nanostructures)为题专门报道了这项研究成果，并将它与美国科学家近期实现的“大面积组装单壁碳纳米管三维结构”并列为微纳结构合成制备新方法 另外，自然中国网站于2008年12月10日在Research Highlights栏目中也专栏推荐并重点介绍了该成果。　　飞秒激光烧蚀具有低的破坏阈值及小的热扩散区的特点，可实现对材料的“非热”微加工，从而大大减小传统长脉冲激光加工中热效应带来的负面影响，显著提高加工精度，在光电器件微加工领域具有广阔的应用前景。但是由于传统激光直写方法的效率较低，目前飞秒激光烧蚀制备微纳结构在实际应用中尚不具备高的经济性。因此，探索如何直接用飞秒激光烧蚀高效地制备大面积均匀纳米结构是当前飞秒激光微加工领域的一个研究热点。　　博士生黄敏及其导师徐至展等采用飞秒激光辐照自诱导亚波长纳米结构的途径，通过调控飞秒激光脉冲的波长、能量、偏振等条件并采用新颖的快速非相干调制技术，成功地在氧化锌、硒化锌等宽带隙材料及石墨表面实现了纳米光栅、纳米颗粒及纳米方块结构的大面积制备。这种利用飞秒激光烧蚀直接制备纳米结构的方法具有均匀性好，效率高，热效应小，通用性高，环保等优点，并克服了以往飞秒激光烧蚀制备纳米结构过程中的二度污染问题。更为重要的是，经过这种方法处理后，材料表面的光电特性发生了显著的改变，并可随纳米结构的改变而呈现不同的光谱特征。这种方法在新型光电器件等方面具有重要的潜在应用价值，有望提高LED照明器件的发光效率和增加太阳能电池的吸收效率。(来源：中科院上海分院)　　(《光学快报》(Optics Express )，Vol. 16, Issue 23, pp. 19354-19365，Min Huang，Zhizhan Xu)
    时间： 2009-02-20
    作者： xdliu
  • 历史回眸 | 纵览KLA光学轮廓仪的创新发展史
    KLA Instruments拥有如今的光学轮廓仪组合，是早先各品牌合力创新的结果：1.ADE 发布了 MicroXAM 白光干涉仪。2.Zeta&trade Instruments 开发了 ZDot&trade 和多模式光学轮廓仪。3.KLA旗下Filmetrics推出了新型、通用的白光干涉仪。KLA Instruments 品牌下多样化的光学轮廓仪产品都拥有各自悠久的创新历史。1999ADE Phase Shift 推出了 MicroXAM 光学轮廓仪，具有埃米级灵敏度，可用于超光滑表面的相移干涉测量，以及更大台阶高度样品的垂直扫描干涉测量。2006KLA 收购了 ADE 公司，为 KLA 的桌面式量测组合增加了 MicroXAM-100 光学轮廓仪，并推出了面向半导体市场的衬底几何形貌和缺陷检测解决方案。2010Zeta-20 是 Zeta Instruments 推出的第一款产品。Zeta-20 是使用 ZDot&trade 专利技术的光学轮廓仪，它结合了结构照明、共聚焦光学以生成高分辨率的3D表面形貌数据和表面真彩图像。该技术使用户能够轻松地聚焦在任何透明或不透明的表面上，从而实现对台阶高度和粗糙度的快速测量。多模组光学系统将 ZDot 技术与白光干涉仪、剪切干涉仪、透明薄膜反射光谱仪和自动缺陷检测功能相结合，扩展了非接触式3D 光学轮廓仪的应用场景。同年，Zeta-200 发布，带有自动化载台，并推出了发光二极管 (LED) 应用的解决方案。Zeta-200 光学轮廓仪利用高透射光学设计、背光源照明技术和专有算法来测量图形化的蓝宝石衬底 (PSS)。 该系统可以适应各种形状的 PSS 凸起，测量视场中所有 PSS 凸起的高度和间距，从而避免仅测量一小部分区域而产生错误的凸起信号或导致的结果偏差。通过多模式光学系统，还可以测量在 PSS 制造过程中薄膜厚度的变化以及样品的翘曲度。最后，通过自动缺陷检测功能，Zeta-200 可以识别不同缺陷的种类，如剥落的凸块、划痕和颗粒。2011Zeta-280 在 Zeta-200 平台的基础上增加了一个适配单个晶圆盒的桌面式机械手臂。Zeta-300 光学轮廓仪支持测量最大8寸的器件。该系统采用一体化主动或被动隔振平台，并搭配隔声罩隔离环境中的噪声。2012Zeta-20 采用 ZDot技术，为封装微流体器件等透明多表面应用场景提供了一种创新的测量解决方案。微流体器件的封装工艺通常会改变通道的尺寸和外形，从而影响器件的性能。因此，封装后的测量对客户的产品控制至关重要。Zeta-20高透射率的光学设计使得ZDot 信号在经过多膜层透射后仍能保持足够强度，从而可以实现对微流体器件玻璃盖板封装前后关键尺寸参数的测量，例如盖板的厚度、微流体通道的深度和尺寸。同年，将 Zeta-280的桌面式机械手臂与 Zeta-300 平台相结合，推出了Zeta-380自动化测量设备。2014MicroXAM-800 集成了Ambios 和 ADE 相移干涉测量技术的最佳硬件和算法，并搭配创新且易用的软件，用于台阶高度和粗糙度的自动测量。2015基于Zeta-20推出太阳能行业创新解决方案，用于绒面和丝网印刷的工艺控制。太阳能光伏的成本控制和提升转化率，推动着晶硅光伏的技术迭代。金字塔绒面的规格和表面栅线印刷的质量，对晶硅光伏的转化效率产生重要影响，因此成为产品控制的关键环节。绒面工艺控制对于控制绒面金字塔结构的高度、外形和尺寸分布至关重要，因为这会影响太阳能电池的光捕获效率。Zeta-20提供了专为绒面金字塔测量的解决方案，可实现金字塔结构的自动探测和统计。金属栅线采用丝网印刷工艺，该工艺会带来金属栅线的宽度、高度、体积、电学特性等方面的变化，从而增加器件的制造成本。Zeta-20的高动态范围测量模式（HDR）为金属栅线工艺提供了测量解决方案，可实现对反射率差异较大的材料测量。在太阳能电池制造工艺过程中，HDR模式被用于测量镀有减反膜涂层绒面表面的金属栅线3D形貌。同年，推出了Zeta-360 和第一代 Zeta-388 产品，提供了基于Zeta平台的晶圆自动化处理解决方案。 2016Profilm3D 是一款基于白光干涉原理的光学轮廓仪，可以适用于多种应用场景，包括薄膜厚度、表面粗糙度、台阶高度等表面形貌测量，是一种高性价比的三维表面形貌测量解决方案。2017Zeta Instruments 加入KLA Instruments 集团，为KLA光学轮廓仪引入 ZDot 技术和多模式测量技术，扩充KLA光学轮廓仪的产品线。Zeta系列用于3D表面形貌测量，支持研发、生产和全自动化环境。2018KLA旗下Filmetrics 推出了世界上首个专门用于3D形貌数据处理的网络应用程序ProfilmOnline ，利用网络浏览器和强大的智能手机功能，使用户无需电脑即可分析、存储和共享3D数据，包括光学轮廓仪、扫描探针显微镜（如原子力显微镜）和其他三维成像显微镜等获取的三维形貌数据。用户可以便捷地从 Filmetrics Profilm3D 光学轮廓仪上传数据，对其进行分析，并与同事共享测量结果。ProfilmOnline允许用户通过跨平台的任意设备，随时随地访问数据。Profilm3D 增加了 TotalFocus&trade 功能，提供其样品表面的3D自然彩色图像。新一代Zeta-388光学轮廓仪是非接触式三维表面形貌测量系统。该系统在Zeta-300的基础上，更新了用于全自动测量的机械手臂操作系统。Zeta-388支持OCR和SECS/GEM，从而可用于全自动产线的生产制造。该系统提供了具有生产价值的工艺控制测量，如PSS上的凸块高度、粗糙度和台阶高度。Zeta-388凭借在图形化蓝宝石衬底 (PSS)工艺中的应用荣获2018年化合物半导体行业量测奖。2019Filmetrics 正式加入 KLA Instruments 集团。在薄膜厚度、材料光学特性（n、k 值）的测量方面，Filmetrics 系列薄膜测量仪扩充 KLA 桌面式量测产品线。Filmetrics Profilm3D 光学轮廓仪扩充 KLA光学轮廓仪产品线，为客户提供高性价比的表面形貌测量解决方案。2020Profilm3D-200 具有一个行程为 200mm的自动样品台，可放置200mm直径的晶圆样品。2023KLA Instruments 推出Zeta-20HR高分辨率光学轮廓仪，专为满足新型太阳能电池的结构表征和下一代生产工艺的量测需求而设计。Zeta-20HR提高了光学轮廓仪的分辨率，将对太阳能电池结构的表征能力拓展至1µ m以下。这款新型的Zeta光学轮廓仪，基于具有ZDot技术的Zeta-20设计，可配置230mm x 230mm尺寸的样品载台，并具备所有标准化且易用的多模组测量能力。Zeta光学轮廓仪是太阳能电池工艺研发和制程控制的理想量测工具。如需申请测样或产品咨询,可通过仪器信息网和我们取得联系！
    时间： 2024-04-26
    作者： KLA
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  • 光学3D表面轮廓仪的测量原理

    光学3D表面轮廓仪的测量原理

    SuperView W11200[b][color=#3366ff]光学3D表面轮廓仪[/color][/b]是一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。[align=center][img=,690,604]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707201529_01_3712_3.jpg[/img][/align]　　SuperView W11200光学3D表面轮廓仪只需操作者装好被测器件，在软件测量界面上设置好视场参数，调整镜头到接近器件表面，选择自动聚焦，仪器会对器件表面进行自动对焦并找到干涉条纹，调节好干涉条纹宽度后即可开始进行扫描测量；扫描结束后，软件分析界面自动生成器件3D图像，操作者可通过软件对生成的3D形貌进行数据处理与分析，获取表征器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。　　SuperViewW1 1200 光学3D表面轮廓仪采用光学非接触式测量方法，它具有测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点，其独特的光源模式，保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。　　系统软件为简体中文操作系统，操作方便。应用范例：[align=center][img=,690,352]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707201530_01_3712_3.jpg[/img][/align][align=center][img=,690,543]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707201530_02_3712_3.jpg[/img][/align] 性能特点：1、 高精度、高重复性、高稳定性1） 采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块组成测量系统，保证测量精度高；2） 精密的Z向扫描模块和独特的测量模式，保证测量重复性高；3） 高性能的内部抗震设计，为测量高稳定性保驾护航。2、 自动化操作的测量分析软件1）测量初始的自动聚焦，帮助操作者省却繁琐的调节过程；2）独特测量模式，帮助操作者快速测量不同形貌的待检样品；3）可视化窗口，便于操作者实时观察扫描过程；4）直观的软件分析界面，便于操作者第一时间获悉样品参数信息；5）强大的数据处理与分析功能，帮助操作者深入了解被测样品情况；6）一键分析，便于操作者快速实现大批量测量；7）同步分析，实现对样品分析操作的所见即所得；8）可视化的报表导出（可选择导出的图像与数据结果到word、pdf等文档）。3、 测量参数齐全根据四大国内外标准(ISO/ASME/EUR/GBT)的多达300余种2D、3D参数，让操作者对被测样品的认识更加全面具体。4、 精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

  • 光学3D表面轮廓仪测量磨损定量的原理

    “摩擦，摩擦，在这光滑的地上摩擦…..”还记得庞麦郎的一首《我的滑板鞋》风靡大街小巷，广场上卷起了一股溜滑板鞋的浪潮。尔今浪潮已退，但摩擦声却未消失，作为一柄对社会发展起着双刃剑作用的武器，各大高校和科研机构一直都在对摩擦学进行着持续的研究，而中图仪器[b]SuperView W1光学3D表面轮廓仪[/b]，就是该领域最时尚的滑板鞋，载着研究人员疾驰，手持武器，所向披靡。　　摩擦学是一门研究物体相对运动时其表面摩擦、润滑、磨损三者间相互关系的交叉学科，摩擦学实验研究的重点和难点之一在于对磨损量的定量分析。磨损量涵盖了磨损区的轮廓尺寸、粗糙度、体积这线、面、体三个维度方面的参数，量级从纳米到毫米不等，又由于不可破坏性测量，传统的低精度接触式轮廓仪和影像仪无法适用，而以白光干涉为原理、具备高精度、非接触式测量能力的光学3D表面轮廓仪登上了摩擦学研究的舞台。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238760989.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808231572145.jpg[/img][/align][align=center]图1 工作中的CSM摩擦磨损测试仪[/align]　　上图展示的是一款工作中的CSM摩擦磨损测试仪，经过十数小时的摩擦，铜板表面出现了一圈圈摩擦痕迹，即为磨损区域，对磨损区域进行尺寸上的定量分析，是研究的重要组成部分，下面我们使用中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪对一块经过摩擦试验处理的铜板进行线、面、体三个维度的定量分析。一、一维：线_轮廓尺寸　　取一块摩擦处理过的铜板，使用SuperView W1光学3D表面轮廓仪对其中未摩擦过的光滑区域和摩擦过的磨损区域进行扫描，获取其3D图像。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808239913954.jpg[/img][/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808234541029.jpg[/img][/align][align=center]图5 磨损区的剖面轮廓曲线[/align]　　从图中可以看到，相对光滑区细致较浅的划痕，磨损区充满了坑坑洼洼的槽，在磨损区3D图像上提取一条剖面轮廓曲线，可以获取槽深和槽宽的轮廓尺寸数据。二、二维：面_粗糙度　　分别在光滑区和磨损区选取若干点，测量分析显示经过摩擦磨损试验过的区域线粗糙度和面粗糙度均增大了至少十几倍。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808235791766.jpg[/img][/align][align=center]图6 光滑区域粗糙度[/align][align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808237197020.jpg[/img][/align][align=center]图7 磨损区域粗糙度[/align]三、三维：体_体积[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/8/201808238604911.jpg[/img][/align][align=center]图8 磨损区3D图像&孔洞体积测量[/align]　　如右上图，利用分析工作“孔洞体积”对磨损区进行区域体积分析。在选择的分析区域中，位于基准面（蓝色方框）上面的顶点区域显示为红色，位于基准面下方显示为绿色，利用“孔洞体积”分析工具可直接获取该区域内上下两部分的面积、体积、深度数据。　　一线二面三体，中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪能让研究人员掌握三个维度精确的数据信息，从而对摩擦磨损区进行全面的分析判断，如同穿上了酷炫的滑板鞋，在摩擦学研究这个舞台秀出华丽的舞步。

  • 光学3D表面轮廓仪在半导体行业中的应用

    [quote]引言：半导体产业是一个点石成金的行业，将从普通的石英砂中提取的硅原料制成拥有现代工业系统“心脏”之称的IC芯片，中间须历经数十上百道工序，从硅晶圆的制备到晶圆IC的制造，每一步都对工艺流程的质量有着严格的管控要求，由各式各样的检测仪器共同组成了产品质量监控的守门员，而在这之中，作为产品表面质量检测仪器的光学3D表面轮廓仪，以其超高的检测精度和重复性，发挥着重要的作用。[/quote]　　中图仪器SuperView W1[b][color=#3333ff]光学3D表面轮廓仪[/color][/b]，是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器，其分辨率可达0.1nm。半导体产业作为超精密加工领域一颗璀璨的明珠，在其硅晶圆的制备和晶圆IC的制造过程中，光学3D表面轮廓仪都以其强大的表面质量检测功能给这颗明珠增添一份靓丽的色彩。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257216238.png[/img][/align][color=#ffffff]硅晶圆的粗糙度检测[/color]在半导体产业中，硅晶圆的制备质量直接关系着晶圆IC芯片的制造质量，而硅晶圆的制备，要经过十数道工序，才能将一根硅棒制成一片片光滑如镜面的抛光硅晶圆，如下图所示，提取表面一区域进行扫描成像。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804250029083.png[/img][/align]通过上图我们看到，制备好的抛光硅晶圆表面轮廓起伏已在数纳米以内，其表面粗糙度在0.5nm左右，由于其粗糙度精度已到亚纳米量级，而在此量级上，接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足检测要求，只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的光学3D表面轮廓仪才适用。[color=#ffffff]晶圆IC的轮廓检测[/color]晶圆IC的制造过程可简单看作是将光罩上的电路图通过UV蚀刻到镀膜和感光层后的硅晶圆上这一过程，其中由于光罩中电路结构尺寸极小，任何微小的粘附异物和瑕疵均会导致制造的晶圆IC表面存在缺陷，因此必须对光罩和晶圆IC的表面轮廓进行检测。下图是一块蚀刻后的晶圆IC，使用光学3D表面轮廓仪对其中一个微结构扫描还原3D图像，并测量其轮廓尺寸。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804252060141.png[/img][/align][color=#ffffff]晶圆IC减薄后的粗糙度检测[/color]在硅晶圆的蚀刻完成后，根据不同的应用需求，需要对制备好的晶圆IC的背面进行不同程度的减薄处理，在这个过程中，需要对减薄后的晶圆IC背面的表面粗糙度进行监控以满足后续的应用要求。在减薄工序中，晶圆IC的背面要经过粗磨和细磨两道磨削工序，下图是粗磨后的晶圆IC背面，选取其中区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804253935356.png[/img][/align]从上图可以看出，粗磨后的表面存在明显的磨削纹路，而3D图像显示在左下部分存在一处凹坑瑕疵，沿垂直纹理方向提取剖面轮廓并经过该瑕疵，在剖面轮廓曲线里可看到该处瑕疵最大起伏在2.4um左右，而磨削纹理起伏最大在1um范围内波动，并获取该区域的面粗糙度Sa为216nm，剖面线的粗糙度Ra为241nm。而在经过细磨后，晶圆IC背面的磨削纹理已基本看不出，选取表面区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257060316.png[/img][/align]从上图可知，在经过细磨之后，晶圆IC背面的磨削纹理轮廓起伏已经降到36nm附近，其表面粗糙度也已经从200多nm直降到6nm左右。以上是SuperView W1光学3D表面轮廓仪在半导体产业中的几种典型应用案例。目前我国正在大力推进半导体产业跨越式大发展，中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪必将为此贡献更多力量。

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  • 三维表面轮廓仪配件
    三维表面轮廓仪配件是德国进口的高精度多功能表面轮廓测量仪器，也是一款光学轮廓仪,非常适合对表面几何形状和表面纹理分析。三维表面轮廓仪配件根据国际标准计算2D和3D参数，使用最新的ISO 25178 标准表面纹理分析，依靠最新的 ISO 16610 滤除技术进行计算，从而保证了国际公信力，以标准方案或定制性方案对2D轮廓或三维轮廓表面形貌和表面纹理，微米和纳米形状，圆盘，圆度，球度，台阶高度，距离，面积，角度和体积进行多范围测量，创造性地采用接触式和非接触式测量合并技术，一套表面轮廓仪可同时具有接触式和非接触式测量的选择。三维轮廓仪配件参数：定位台行程范围：X: 200 mm Y: 200 mm Z: 200 mm (电动)接触式测量范围： 范围0.1mm, 分辨率2nm, 速度 3mm/s 范围：2.5mm 分辨率40nm, 速度3mm/s非接触式测量范围： 范围：300um, 分辨率2nm, 速度30mm/s 范围：480um, 分辨率2nm, 速度30mm/s 范围：1mm, 分辨率5nm, 速度30mm/s 范围：3.9mm , 分辨率15nm, 速度30mm/s表面轮廓仪配件应用：测量轮廓，台阶高度，表面形貌，距离，面积，体积分析形态，粗糙度，波纹度，平整度，颗粒度摩擦学研究，光谱分析磨料磨具，航天，汽车，化妆品，能源，医疗，微机电系统，冶金，造纸和塑料等领域。
    供应商： 孚光精仪（中国）有限公司
    品牌： 孚光精仪
    价格： 面议
  • 大面积车间除湿机
    大面积车间除湿机 除湿机企业新闻资讯报道：因潮湿所造成的种种问题和危害，每年都会给工厂企业的车间生产，仓库储存等造成不小的麻烦和经济损失!工业生产车间如何预防潮湿？是很多工厂企业急需解决的问题；只有对车间的湿度进行科学合理的控制，才能有效的避免出现湿度过大或空气过于潮湿的问题；一般的工厂企业在生产中将车间空气湿度控制在50-60%RH之间是较为适宜的；那么，该如何对一些大面积车间生产环境的湿度进行有效控制呢？工业除湿机无疑是不二之选！现如今，全国各地已经有不少的工厂企业都在其车间或仓库内配置了相应的正岛ZD-8168C大面积车间除湿机及ZD系列空气除湿机，实现了对车间生产环境湿度的精确控制，也就不用再担心会出现潮湿的问题了！ 正岛ZD-8168C大面积车间除湿机适用面积130-180平方米左右,除湿量为168公斤/天(7公斤/小时),广泛的适用于精密电子、光学仪器、生物工程、医药、包装、食品、氯化锂电池、印刷业、地下工程及国防等所有场所。正岛ZD-8168C大面积车间除湿机及ZD系列空气除湿机采用先进高效能压缩机、高效亲水铝箔换热器、大风量低噪音外转子风机，使除湿能力更能满足产品和环境低湿要求。点击此处查看大面积车间除湿机全部新闻图片备注：该系列产品可与环境试验设备以及环境监测仪器等温湿度相关仪器设备配套使用，也可作为其中的一个核心配件！欢迎您来电咨询大面积车间除湿机的详细信息！大面积车间除湿机型号和种类有很多,不同品牌和型号的大面积车间除湿机价格及应用范围也会有细微的差别,而我们将会为您提供优质的产品和全方位的售后服务。正岛ZD-8168C大面积车间除湿机技术参数：型 号ZD-8168C控制方式湿度智能设定除 湿 量168升/天排水方式塑胶软管 连续排水适用面积130 ～ 180智能保护三分钟延时 压缩机启动电 源380V~50Hz活性碳滤网标 配运转噪音52dB自动检测有无故障 一目了然输入功率2800w适用温度5～38℃体积(宽深高)605X410X1650mm设备重量126kg查看更多大面积车间除湿机的详细信息尽在：正岛电器正岛ZD-8168C大面积车间除湿机及ZD系列空气除湿机产品六大核心配置优势：优势一：【整机内结构精巧】优势二：【高效节能压缩机】优势三：【配套内螺纹铜管】优势四：【大风量高效风机】优势五：【微电脑自动控制】优势六：【配多重安全保护】工业除湿机厂家记者核心提示：您还在为车间生产环境潮湿问题而烦扰吗？对如何控制车间湿度的问题而束手无策吗？只要配置相应的正岛ZD-8168C大面积车间除湿机及ZD系列空气除湿机都可为你解决！正岛电器承诺所有产品完全按照行业生产规范和标准进行生产制造，绝不弄虚作假，品质和除湿性能都有保障，也因此深受用户的信赖，欢迎来电咨询；以上关于大面积车间除湿机的最新相关新闻资讯是正岛电器为大家提供的！您可以在这里更详细地了解大面积车间除湿机的最新相关信息：除湿机已经是我们日常生活，工作以及工业生产环境防潮除湿最为普遍的一款电器设备。除湿机良好的除湿功能使室内很容易达到干燥的目的。除湿机的使用，大多数的人已经有了初步的认识，但是，说到除湿机的保养问题，还是一个盲点。今天我们就着重谈谈除湿机的保养。除湿机在使用的时候，特别忌讳的就是剧烈震动，也不能够放倒或者是倾斜。就是在移动的时候，也不能使倾斜角度超过四十五度角。这是因为。除湿机内的压缩机还有制冷剂在剧烈晃动的过程中，特别容易形成漏氟的现象。一旦制冷剂泄漏以后，除湿机的除湿效果就会大打折扣。除湿机在使用的过程中，要保持空气过滤网能够让空气顺畅流通，因此，要对空气过滤网进行定期的清洗。还有冷凝器也是需要防尘的，也要时时保持清洁。除湿机在使用的时候，应该是一个相对封闭的环境中。房间的窗户首先要关严，门最好减少人员的出入情况。这样可以让除湿机的除湿效果保持在一个最理想的水平。机体在放置的时候，首先要看看地面是不是平坦，不能有坑洼或者是斜坡。如果向移动除湿机，就要首先断电，把里面的水槽拿出，把水倒干净。然后在移动除湿机。如果过了雨季，短时间内不使用除湿机的时候，一定要把里面蓄水槽的水倒干净，然后在自然干燥以后，才可以存放，并且避开阳光的直射。清理除湿机的时候，不要使用硬物刮擦，要用干净的软布轻轻拭干即可。
    供应商： 杭州正岛电器设备有限公司
    品牌： 正岛
    价格： ￥7200
  • 大面积地下室专用除湿机
    大面积地下室专用除湿机 除湿机企业新闻资讯报道：不管是什么地方的地下室都是比较潮湿的，平时的相对湿度就很高；而一旦到了雨季，很多地下室内的湿度往往会高达80%RH以上。因此，潮湿是地下室是普遍存在的一个问题，也是比较难以解决的一个问题。现在很多商务大楼、住宅小区以及别墅的地下室只要一到梅雨天，地面上或墙壁上都是湿漉漉的，严重影响了地下室的正常使用！潮湿的地下室空间不仅不能给我们带来便利，反而还会给我们造成许多不必要的麻烦和损失。那么，地下室潮湿该怎么办呢？如何控制配电室内的空气湿度呢？现在最简捷有效的防潮除湿，以及湿度控制方法就是在地下室内配置相应的工业除湿机；正岛ZD-8480C大面积地下室专用除湿机及ZD系列工业除湿机能有效的控制地下室内的空气湿度，使其保持一个相对干燥的环境，从而彻底解决地下室潮湿的难题。正岛ZD-8480C大面积地下室专用除湿机适用面积360-480平方米左右,除湿量为480公斤/天(20公斤/小时),广泛应用于电力、电子、电池、烟草、食品、水产品，木制品、印刷、制药、特种玻璃制造及化工、地铁、机房、档案室等场所。正岛电器生产的ZD-8480C大面积地下室专用除湿机采用全封闭涡旋式双压缩机结构,使其除湿性能更加稳定迅速,除湿效果更加明显,既可用于降低环境空气湿度,去除潮湿空气.又可用于吸湿性材料和需及时干燥处理的产品进行干燥处理。 ★点击图片查看大面积地下室专用除湿机厂家的详细信息正岛ZD-8480C大面积地下室专用除湿机及ZD系列工业除湿机可与环境试验箱，试验机以及环境监测仪器等温湿度相关仪器配套使用！欢迎您来电咨询大面积除湿机，大面积地下室专用除湿机，工业除湿机厂家的详细信息！工业用除湿机的种类有很多,不同品牌的工业用除湿机价格及应用范围也会有细微的差别,而我们将会为您提供优质的产品和全方位的售后服务。正岛ZD-8480C大面积地下室专用除湿机技术参数： 型 号ZD-8480C控制方式湿度智能设定除 湿 量480升/天排水方式塑胶软管 连续排水适用面积360～480智能保护三分钟延时 压缩机启动电 源380V~50Hz活性碳滤网标 配运转噪音55dB自动检测有无故障 一目了然输入功率9900w适用温度5～38℃体积(宽深高)1240X460X1750mm设备重量300kg查看更多大面积除湿机，大面积地下室专用除湿机，工业除湿机厂家的详细信息尽在：正岛电器正岛ZD-8480C大面积地下室专用除湿机及ZD系列工业除湿机产品六大核心配置优势：优势一：【整机内结构精巧】优势二：【高效节能压缩机】优势三：【配套内螺纹铜管】优势四：【大风量高效风机】优势五：【微电脑自动控制】优势六：【配多重安全保护】工业除湿机厂家记者核心提示：有的人因为不知道有更好的防潮办法，在地下室内使用排风机，殊不知潮气是从外面进来的，如果是在睛天还能起到一定的效果；如果是在下雨天你采用排风机的办法只能是越排越湿。况且还浪费电，这种防潮措施并不适合地下室的防潮除湿；而在地下室，地下车库以及地下仓库中使用正岛ZD-8480C大面积地下室专用除湿机及ZD系列工业除湿机，却能够取得很好的防潮除湿效果，消除地下室潮湿的后顾之忧，可以有效的为用户减少许多麻烦和损失；而且安装和操作非常简便，还无需人工职守，性价比超高，何乐而不为呢？以上关于大面积除湿机，大面积地下室专用除湿机，工业除湿机厂家的最新相关新闻资讯是正岛电器为大家提供的！您可以在这里更详细地了解大面积地下室专用除湿机的最新相关信息：现如今，很多城市的房价是涨得很快的，不少人计划合理利用地下室，可是地下室的湿度却是一个令人头痛的问题，如果解决了环境湿度，短暂居住还是可以的。地下室除湿机，让你的地下室空气变得适合居住。地下室除湿机是目前地下室，地下车库，配电房，水泵房以及仓库等最为普遍使用的一种防潮除湿方法，随着城市的规划和开发，开发商越来越重视地底下土地资源的使用，如：小区必备的地下停车场和地下商场以及地铁甚至是大型地下仓库等等，小面积的负一层负二层地下室有住人的打算。每逢黄梅天和阴雨天气连绵不断气候状态下，就是晴朗干燥的天气中，地下室普遍存在通风性能差，返潮现象明显，各处湿漉漉的，存放的物体发霉腐烂以及金属物腐蚀生锈的现象随处可见，业主们呼吸着带霉的气息感觉不爽，困扰之极的潮湿带给人们的危害远远不止这些。其实，要解决地下室的潮湿的危害，在科技高速发达的今日，并非难事，地下室除湿机，是针对地下室通风性能差而精心研发的一款新品，该款产品祛除潮湿能力强，最终确保地下爽性，物不受潮湿侵蚀，让你的感觉清爽愉悦。当你的衣服被褥受潮、油漆剥落已经书籍霉变等问题，就需要除湿机，它可以帮助将室内的潮气赶走。
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