大面积快速扫描轮廓仪

布鲁克 DektakXT 台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供更高的重复性和分辨率，测量重复性可以达到5Å 。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak技术创新的顶峰，更加巩固了其行业领先地位。不论应用于研发还是产品测量，通过在研究工作中的广泛使用，DektakXT一定能够做到功能更强大，操作更简易，检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术突破，使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。DektakXT 完美设计 探针系统的评价体系受三个因素影响：能否重复测量，数据采集和分析速度快慢，操作的难易程度。这些因素直接影响了数据的质量和操作效率。DektakXT利用全新结构和和最佳软件来实现可重复、时间短、易操作这三个必要因素，达到最佳的仪器使用效果。 强化操作的可重复性 Delivering Repeatable Measurements DektakXT在设计上的几个提高，使其在测量台阶高度重复性方面具有优异的表现，台阶高度重复性可以到达5Å .使用single-arch结构比原先的悬臂梁设计更坚硬持久不易弯曲损坏，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。同时，Bruker还对仪器的智能化电子器件进行完善，提高其稳定性，降低温度变化对它的影响，并采用先进的数据处理器。在控制器电路中使用这些灵敏的电子元器件,会把可能引起误差的噪音降到最低，DektakXT的系统因此可以更稳定可靠的实现对高度小于10nm的台阶的扫描。Single-arch结构和智能器件的联用，大大降低了扫描台的噪音，增强了稳定性，使其成为一个极具竞争力的台阶仪（表面轮廓仪）。 提高数据采集和分析速度 SpeedingUp Collectionand Analysis 利用独特的直接扫描平台，DektakXT通过减少从得到原始数据到扣除背底噪音所需要的时间，来提高扫描效率。这一改进，大大提高了大范围扫描3D形貌或者对于表面应力长程扫描的扫描速度。在保证质量和重复性的前提下，可以将数据采集处理的速度提高40%。另外，DektakXT采用Bruker 64-Bit数据采集分析同步操作系统Vision64，它可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描时的数据分析处理效率。Vision64还具有最有效直观的用户界面，简化了实验操作设置，可以自动完成多扫描模式，使很多枯燥繁复的实验操作变得更快速简洁。 完善的操作和分析系统 PerfectingOperationand Analysis与DektakXT的创新性设计相得益彰的配置是Bruker的Vision64操作分析软件。Vision64提供了操作上最实用简洁的用户界面，具备智能结构，可视化的使用流程，以及各种参数的自助设定以满足用户的各种使用要求，快速简便的实现各种类型数据的采集和分析。DektakXT 技术参数&mdash 台阶高度重复性5Å &mdash Single-arch设计大大提高了扫描稳定性&mdash 前置敏化器件，降低了噪音对测量的干扰&mdash 新的硬件配置使数据采集能力提高了40%&mdash 64-bit，这一Vision64同步数据处理软件，使数据分析速度提高了十倍。功能卓越，操作简易&mdash 直观的Vision64用户界面操作流程简便易行&mdash 针尖自动校准系统让用户更换针尖不再是难事台阶仪（表面轮廓仪）领域无可撼动的世界领先地位&mdash 布鲁克的台阶仪，体积轻巧，功能强大。&mdash 单传感器设计提供了单一平面上低作用力和宽扫描范围

Profilm 3D是一款兼具垂直扫描干涉 (VSI)和高精确度相移干涉 (PSI) 技术的经济型光学轮廓仪，其可以用于多种用途的高精度表面测量。Profilm 3D光学轮廓仪具有以下优点：&Yuml 价格优势：市场上具性价比的白光干涉轮廓仪，具有价格优势的高精度轮廓仪。&Yuml 快速测量大面积区域：测量范围为毫米级别，配置XY样品台达100mm*100mm，可实现大面积样品的轻松测量；&Yuml 简单易用：只需将样品放置于样品台上，即可直接进行测量；&Yuml 可以测量非接触式非平坦样品：由于光学轮廓测量法是一种非接触式技术，可以轻松测量弯曲和其他非平面表面。还轻松地测量曲面的表面光洁度，纹理和粗糙度。除此之外，作为一种非接触式方法光学轮廓仪不会像探针式轮廓仪那样损坏柔软的薄膜。&Yuml 无需更换耗材：只需要一个LED光源，无需其他配件更换；&Yuml 可视化3D功能：Profilm 3D轮廓仪具有强大的处理软件，软件除包括表面粗糙度，形状和台阶高度的测量外，还可以任意角度移动样品量测三维图形，多角度分析样品图像。适用于各类样品：Profilm 3D轮廓仪适用于各类金属、非晶硅和多晶硅、陶瓷材料、电介质、硬质涂层、高分子聚合物、光刻胶等的表面轮廓及粗糙度等测量。 &Yuml ProfilmOnline 在线免费网络分析 可在线分析 ProfilmOnline 可存储、共享、查看与分析来自您的光学轮廓仪或3D显微镜之3D影像。任何台式电脑，平板电脑或智能手机上都能查看和操作。享受全面的图像分析功能，包括表面轮廓（粗糙度）和阶高分析。 Profilm 3D光学轮廓仪功能：&Yuml 用于测量粗糙度使用Profilm 3D轮廓仪可以以秒为单位测量表面纹理，光洁度和粗糙度，只需单击鼠标即可完成。Profilm3D采用白光干涉测量（WLI）和相移干涉测量（PSI）等行业标准技术，可快速测量大面积2D区域的粗糙度和纹理，无需接触样品。&Yuml 测量曲面样品由于Profilm 3D是一种非接触式技术，因此可以轻松测量弯曲和其他非平面表面。另外在测量方法中添加形状去除（也称为形状去除）和过滤，即可轻松实现表面光洁度，纹理和粗糙度的测量！&Yuml 任何粗糙度参数标准Profilm 3D拥有47个ASME / EUR / ISO粗糙度参数标准。可以在结果中显示其中的任何一个或全部，从而使自定义报告变得轻而易举。符合ISO 9000和ASME B46.1标准，ISO现在完全支持测量表面粗糙度的光学方法。特别是，ISO 25178第604部分描述了Profilm3D的WLI方法（其中也称为相干扫描干涉测量法）。二、主要功能 主要应用台阶高度表面粗糙度线宽及轮廓 技术能力厚度范围，VSI 50nm-100mm厚度范围，PSI 0-3 µ m样品反射率范围 0.05%-100%Piezo范围 500 µ mXY平台范围100mm x 100mm三、应用台阶高度、表面形貌、表面粗糙度、大面积拼接等

NS3500H 大面积高速三维成像扫描系统NS-3500H 是一种准确、可靠的三维(3D)测量高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构，如半导体晶片，FPD产品，MEMS设备，玻璃基板，材料表面等方面拥有无可比拟的解决方案。Features & Benefits（性能及优势）：高分辨无损伤光学3D测量 自动倾斜补偿实时共焦成像 简单的数据分析模式多种光学变焦 双Z扫描大范围拼接 半透明基材的特征检测实时CCD明场和共聚焦成像 无样品准备自动聚焦Application field（应用领域）：NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。可测量微米和亚微米结构的高度，宽度，角度，面积和体积，例如-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺- FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度- MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析Dimension(尺寸）:Specification(规格）：ModelMicroscope NS-3500备注Controller NS-3500E物镜倍率10x20x50x100x150x观察/ 测量范围 水平 (H): μm140070028014093垂直 (V): μm105052521010570工作范围: mm16.53.10.540.30.2数值孔径(N.A.)0.300.460.800.950.95光学变焦x1 to x6总放大倍率178x to 26700x观察/测量光学系统 针孔共聚焦光学系统高度测量测量扫描长扫描 : 10 mm 显示分辨率0.001 μm重复率 σ0.010 μm注 1宽度测量显示分辨率0.001 μm重复率 3σ0.02 μm注 2帧记忆像素1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96单色图像12 bit彩色图像8-bit for RGB each高度测量16 bit帧速率表面扫描20 Hz to 160 Hz线扫描~8 kHz自动功能自动增益激光共焦测量光源波长 405nm输出~2mW激光等级Class 3b激光接收元件PMT (光电倍增管)光学观察光源灯10W LED光学观察照相机成像元件1/2” 彩色图像 CCD 传感器记录分辨率640x480自动调整增益, 快门速度, White balance数据处理单元 PC电源电源电压100 to 240 VAC, 50/60 Hz电流消耗500 VA max.重量显微镜Approx. ~200 kg(Measuring head unit : ~12 kg)控制器~8 kg注1 :以100×/ 0.95物镜对标准样品（步长1μm）进行100次测量 注 2 :以100×/ 0.95物镜对标准样品（5μm间距）进行100次测量。

NS3500L 大面积高速3D激光扫描仪 NS-3500L 是一种准确、可靠的三维(3D)测量高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构，如半导体晶片，FPD产品，MEMS设备，玻璃基板，材料表面等方面拥有无可比拟的解决方案。Features & Benefits（性能及优势）：高分辨无损伤光学3D测量 自动倾斜补偿实时共焦成像 简单的数据分析模式多种光学变焦 双Z扫描大范围拼接 半透明基材的特征检测实时CCD明场和共聚焦成像 无样品准备自动聚焦Application field（应用领域）：NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。可测量微米和亚微米结构的高度，宽度，角度，面积和体积，例如-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺- FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度- MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析Specification(规格）：ModelMicroscope NS-3500备注Controller NS-3500E物镜倍率10x20x50x100x150x观察/ 测量范围 水平 (H): μm140070028014093垂直 (V): μm105052521010570工作范围: mm16.53.10.540.30.2数值孔径(N.A.)0.300.460.800.950.95光学变焦x1 to x6总放大倍率178x to 26700x观察/测量光学系统 针孔共聚焦光学系统高度测量测量扫描范围精细扫描 : 400 μm (and/or) 长扫描 : 10 mm [NS-3500-S]长扫描 : 10mm [NS-3500-T]显示分辨率0.001 μm重复率 σ0.010 μm注 1宽度测量显示分辨率0.001 μm重复率 3σ0.02 μm注 2帧记忆像素1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96单色图像12 bit彩色图像8-bit for RGB each高度测量16 bit帧速率表面扫描20 Hz to 160 Hz线扫描~8 kHz自动功能自动增益激光共焦测量光源波长 405nm输出~2mW激光等级Class 3b激光接收元件PMT (光电倍增管)光学观察光源灯10W LED光学观察照相机成像元件1/2” 彩色图像 CCD 传感器记录分辨率640x480自动调整增益, 快门速度, White balance数据处理单元 PC电源电源电压100 to 240 VAC, 50/60 Hz电流消耗500 VA max.重量显微镜Approx. ~50 kg(Measuring head unit : ~12 kg)控制器~8 kg注 1 :以100×/ 0.95物镜对标准样品（步长1μm）进行100次测量 注 2 :以100×/ 0.95物镜对标准样品（5μm间距）进行100次测量。

西班牙Sensofar大视野3D光学轮廓仪SwideSwide是专用系统，适用于快速测量大样品区域，测量面积最高可达300x300mm。它具有集成了数字显微镜的高分辨率测量仪器的所有优点。一键式采集功能，易于使用。（一）、应用领域：大面积3D光学测量系统?先进制造业?考古学与古生物学?消费类电子产品?医疗设备?模塑?光学?钟表业(二)、产品优势1.亚微米高度可重复性，可扩展整个区域内2.无需Z轴扫描即可测量最高40mm的单次测量高度3.具有极低场失真的双侧远心镜头，提供精确的测量4.可追溯性：采用ISO标准每一款Swide产品都是为提供准确且可追溯的测量结果而制造的。系统根据ISO25178和VDI2634-2使用可追溯标准进行校准。5.与3DCAD模型的形状偏差：提供几何差异和公差测量6.表面纹理测量仪器的校准我们的所有系统精心制造，提供准确、可追溯的测量。系统按照符合ISO25178第7部分关于下列参数的指南的可追溯标准进行校准：Z放大系数、XY横向尺寸、平面度误差以及偏心度。

Zygo三维光学轮廓仪NewView™ 9000NewView™ 9000三维光学表面轮廓仪在非接触式光学表面轮廓测量方面提供了强大的多功能性。该系统可以方便快捷地测量各种表面类型，包括光滑、粗糙、平坦、倾斜和台阶式表面。所有的测量都是无损、快速的，并且不需要准备样品。该系统的核心是ZYGO的相干扫描干涉测量技术（CSI），它在所有放大倍率下都能提供亚纳米级的精度，并且能够比其他商用技术更快、更精确地测量更多的表面类型，可优化您的投资回报率。高性能、高性价比和多功能性灵活性是ZYGO的NewView产品的特点。NewView9000轮廓仪提供了非凡的价值，应用范围包括平整度、粗糙度和波纹、薄膜、台阶高度等的测量所有NewView9000轮廓仪都配有一个三倍变焦转台，可以使用为系统量身定做的离散变焦光学器件。样品台配置包括从全手动到带有编码行程的全自动等配置。无论您的配置如何，所有NewView9000系统都能提供高精度、快速的测量，并且使用方便，价格极具吸引力，这些都使它成为理想的多功能、高性价比三维光学轮廓仪。一些独特的功能旨在使用户获得更好、更快、更可靠的计量结果：大面积1.9MP高灵敏度传感器，可让您在一次测量中看到更多的细节高速测量仅需数秒，提高了生产效率和过程控制能力自动化的零件对焦和设置最大限度地减少了操作员的影响和培训时间，同时减少了数据采集的时间为最苛刻的生产应用提供了具有卓越精度和可重复性的计量。采用SureScan技术和内置隔振系统的抗振计量，即使在振动频繁的环境中也能实现高质量的计量SmartPSI™ 技术，用于超光滑表面的超快速分析二维和三维相关性为您的测量结果的可靠性提供了另一层保障，结果符合ISO25178和ISO4287标准。Mx™ 软件用于仪器控制、分析和测量自动化灵活的配置NewView9000轮廓仪的特点是工作区域开阔，视野清晰，测量设置和转换既简单又快捷。系统可以配备各种样品工作台，包括全手动的X/Y和倾斜工作台、150mm行程和4度倾斜的全自动工作台等。由于集成的隔振系统和紧凑的尺寸，它非常适合台式安装；通过使用可选的支架和工作站，可以将它打造成一个理想的生产型系统。

NANOMAP D光学探针双模式轮廓仪/三维形貌仪美国AEP Technology公司主要从事半导体检测设备, MEMS检测设备, 光学检测设备的生产制造，是表面测量解决方案行业的领先供应者,专门致力于材料表面形貌测量与检测。NANOMAP D光学双模式轮廓仪/三维形貌仪集白光干涉非接触测量法和大面积SPM扫描探针接触式高精度扫描成像于一个测量平台。是目前功能最全面，技术最先进的表面三维轮廓测量显微镜。既有高精密度和准确度的局部（Local）SPM扫描，又具备大尺度和高测量速度；既可用来获得样品表面垂直分辨率高达0.05nm的三维形态和形貌，又可以定量地测量表面粗糙度及关键尺寸，诸如晶粒、膜厚、孔洞深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等，并计算关键部位的面积和体积等参数。样件无须专门处理，在高速扫描状态下测量轮廓范围可以从1nm 到10mm。由于采用独特的缝合技术，无论怎样的表面形态、粗糙程度以及样品尺寸，一组m× n图像可以被缝合放大任何倍率，在高分辨率下创造一个大的视场，并获得所有的被测参数。该仪器的应用领域覆盖了薄膜/涂层、光学，工业轧钢和铝、纸、聚合物、生物材料、陶瓷、磁介质和半导体等几乎所有的材料领域。随着微细加工技术的不断进步,微电路、微光学元件、微机械以及其它各种微结构不断出现，对微结构表面形貌测量系统的需求越发迫切, NanoMap-D所具备的双模式组合，结合了白光干涉非接触测量及SPM扫描探针高精度扫描成像于一体，克服了光学测量及扫描探针接触式的局限性，并具有操作方便等优点成功地保证了其在半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域的领先地位。NANOMAP D光学双模式轮廓仪/三维形貌仪经过广泛严格的检测，确保其作为测量仪器的标准性和权威性，并保证设备的各种功能完好，各个部件发挥出色。用NIST标准可以方便快捷地校验系统的精度，所校准用的标样为获得美国国家标准局( NIST) 的计量单位的认可。NanoMap-D配备的软件提供了二维分析、三维分析、表面纹理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、体积、角度计算、曲率计算、模拟一维分析、数据输出、数据自动动态存储、自定义数据显示格式等。综合绘图软件可以采集、分析、处理和可视化数据。表面统计的计算包括峰值和谷值分析。基于傅立叶变换的空间过滤工具使得高通、低通、通频带和带阻能滤波器变的容易。多项式配置、数据配置、扫描、屏蔽和插值。交互缩放。X-Y和线段剖面。三维线路、混合和固定绘图。用于阶越高度测量的地区差异绘图。NANOMAP D光学双模式轮廓仪/三维形貌仪主要功能及应用:多种测量功能精确定量的面积（空隙率，缺陷密度，磨损轮廓截面积等）、体积（孔深，点蚀，图案化表面，材料表面磨损体积以及球状和环状工件表面磨损体积等）、台阶高度、线与面粗糙度,透明膜厚、薄膜曲率半径以及其它几何参数等测量数据。薄/厚膜材料薄/厚膜沉积后测量其表面粗糙度和台阶高度,表面结构形貌, 例如太阳能电池产品的银导电胶线蚀刻沟槽深度, 光刻胶/软膜亚微米针尖半径选件和埃级别高度灵敏度结合，可测量沟槽深度形貌。材料表面粗糙度、波纹度和台阶高度特性分析软件可轻易计算40多种的表面参数，包括表面粗糙度和波纹度。计算涵盖二维或三维扫描模式。表面光滑度和曲率可从测量结果中计算曲率或区域曲率薄膜二维应力测量薄膜应力，能帮助优化工艺，防止破裂和黏附问题表面结构和尺寸分析无论是二维面积中的坡度和光滑度，波纹度和粗糙度，还是三维体积中的峰值数分布和承载比，本仪器都提供相应的多功能的计算分析方法。缺陷分析和评价先进的功能性检测表面特征，表面特征可由用户自定义。一旦检测到甚至细微特征，能在扫描的中心被定位和居中，从而优化缺陷评价和分析。其他仪器选择请点击亿诚恒达官方网站：

Zygo三维光学轮廓仪ZeGage™ Pro可直接用于生产的三维光学轮廓仪系统ZeGage™ Pro和ZeGage™ ProHR三维光学轮廓仪可对多种类型表面的微米和纳米级特征进行非接触式测量和表征，实现制造环境中的质量控制和过程监控。我们行业领先的ZeGagePro系列由于其卓越的性能、易用性、灵活性和精度为台式工业非接触表面轮廓仪设立了行业标准。ZeGagePro在ZYGO专有CSI技术的基础上，采用一系列创新的技术，可实现精确、可靠、简单和省心的表面测量。独有的功能包括SureScan™ 抗振计量技术、零件查找和智能设置，可简化零件设置并优化测量。快速、轻松地测量各种表面和部件从未像现在这样简单。强大的性能专有的非接触式测量技术通过SureScan™ 技术得到了增强，对振动不敏感，可放置在工厂内的任何地方。具有纳米级精度的定量表面计量技术提供了卓越的计量能力。190万像素的高分辨率图像传感器可在数秒内快速测量表面区域，提供出色的表面细节，实现可视化。全自动的测量序列和现场拼接可以实现高分辨率的大面积检测。（需要选配电动平台。）多功能性可测量各种表面材料和参数，包括表面纹理、形貌、台阶高度等的二维和三维分析。附带的Mx软件为表面数据可视化、分析和报告提供了全面的工具。可使用配件扩大测量范围，这些配件包括物镜转台、手动和电动样品台，可选配的薄膜分析软件，以及使用CognexVisionPro® 进行二维图像分析分析的可选软件模块。生产力和性价比智能设置技术通过自动寻找零件表面干涉条纹、设置光强和配置扫描长度，减少了培训时间，并缩短了零件更换时间。智能设置通常能够实现在样品被置于物镜下后的1分钟内生成第一张数据图。与其他系统（包括机械接触式触针轮廓仪）相比，性价比很高。非接触方式意味着不用担心耗材更换成本。紧凑、抗振的SureScan™ 技术，可以轻松地集成到工厂内的任何地方。

光学轮廓仪Profilm3DProfilm3D型光学轮廓仪Profilm3D光学轮廓仪的测量技术包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI)；Profilm3D都已标配自动化X/Y平台；Profilm3D的直观软件包括表面粗糙度，形状和台阶高度的测量。在数秒内，您可以获得平面和曲面表面上测量所有常见的粗糙度参数。也可以选择拼接功能软件升级来组合多个影像以提供大面积测量； Profilm3D 标配10倍物镜就可以提供2mmX1.品牌：Filmetrics@A KLA Company型号：Profilm3DProfilm3D都已标配100mm自动化X/Y平台；Profilm3D光学轮廓仪的测量技术包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI)；Profilm3D的直观软件包括表面粗糙度，形状和台阶高度的测量。在数秒内，您可以获得平面和曲面表面上测量所有常见的粗糙度参数。也可以选择拼接功能软件升级来组合多个影像以提供大面积测量；Profilm3D 标配10倍物镜就可以提供2mmX1.7mm的视场大小，配合数字变焦功能有助于缓解不同应用时切换多个物镜的需要，进一步减少总体成本。另外，物镜转盘可以配置四个不同倍数物镜，满足需要不同倍率物镜切换使用的测量应用。

光学轮廓仪Profilm3D-200Profilm3D型光学轮廓仪Profilm3D光学轮廓仪的测量技术包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI)；Profilm3D都已标配自动化X/Y平台；Profilm3D的直观软件包括表面粗糙度，形状和台阶高度的测量。在数秒内，您可以获得平面和曲面表面上测量所有常见的粗糙度参数。也可以选择拼接功能软件升级来组合多个影像以提供大面积测量； Profilm3D 标配10倍物镜就可以提供2mmX1.品牌：Filmetrics@A KLA Company型号：Profilm3D-200Profilm3D-200光学轮廓仪的测量技术包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI)；Profilm3D-200都已标配200mm自动化X/Y平台；Profilm3D-200 标配10倍物镜就可以提供2mmX1.7mm的视场大小，配合数字变焦功能有助于缓解不同应用时切换多个物镜的需要，进一步减少总体成本。另外，物镜转盘可以配置四个不同倍数物镜，满足需要不同倍率物镜切换使用的测量应用。Profilm3D的直观软件包括表面粗糙度，形状和台阶高度的测量。在数秒内，您可以获得平面和曲面表面上测量所有常见的粗糙度参数。也可以选择拼接功能软件升级来组合多个影像以提供大面积测量；

Zygo三维光学轮廓仪Nexview™ NX2Nexview™ NX2三维光学轮廓仪专为最苛刻的应用而设计，集卓越的精度、先进的算法、应用灵活性和自动化于一身，是ZYGO最先进的相干扫描干涉测量（CSI）轮廓仪。这种完全非接触式技术可在所有放大倍率下提供亚纳米级的精度，并且能够比其他商用同类技术更快、更精确地测量更多的表面类型，优化了投资回报率。NexviewNX2应用范围广泛，可以测量几乎任何表面和材料的平整度、粗糙度和波纹、薄膜、台阶高度等，是一款名副其实的轮廓仪。请求报价作为最新一代的旗舰产品，Nexview™ NX2提供了大量独特的功能，旨在使用户获得更好、更快、更可靠的计量结果：大面积1.9MP高灵敏度传感器，可让您在一次测量中看到更多的细节高速测量仅需数秒，提高了生产效率和过程控制能力自动化的零件对焦和设置最大限度地减少了操作员的影响和培训时间，同时减少了数据采集的时间为最苛刻的生产应用提供了具有卓越精度和可重复性的计量。采用SureScan技术和内置隔振系统的抗振计量，即使在振动频繁的环境中也能实现高质量的计量SmartPSI™ 技术，用于超光滑表面的超快速分析二维和三维相关性为您的测量结果的可靠性提供了另一层保障，结果符合ISO25178和ISO4287标准。Mx™ 软件用于仪器控制、分析和测量自动化真彩色成像，增强了视觉效果可变图像放大，标配三个zoom镜头，让用户可以优化视野，最大限度地提高了仪器的灵活性您需要的轮廓仪您无需再根据您要测量的表面类型选择轮廓仪。Nexview™ Nx2轮廓仪几乎可以测量任何表面的形貌，从亚埃表面粗糙度的超抛光光学表面，到高达85度的高斜率加工表面不等。它测量的是物体的三维，无需接触，具有其他轮廓测量技术（触针式、共焦式、焦点扫描式）的优势，但没有它们的缺点。附加应用模块，如在透明薄膜存在的情况下进行测量以及二维视觉图像分析，可供有特定需求的客户使用。自动化操作Nexview™ NX2轮廓仪是一种无需手动控制的电传操纵工具，因此它可以通过编程序列完全自动化地测量一个表面的多个区域、托盘中的多个部件或通过将多次测量拼接成一次测量来测量更大的表面。精简设计NexviewNX2轮廓仪的特点是工作区域大，视野清晰，测量设置和转换既简单又快捷。其200mm的自动化集成测量台体现了简洁高效的工业设计理念。它配有一个嵌入式±4度的高负载倾斜平台与偏心校正，这使得即使是测量无特征的样品，它也能轻松对准测量表面。

中图仪器SJ5700S国内表面粗糙度轮廓仪只需切换不同模块，可对产品进行轮廓形状测量和微观粗糙度测量。仪器采用进口高精度光栅测量系统建立工件表面轮廓的二维坐标，计算机通过修正算法对光栅数据进行修正，最终还原出工件轮廓信息并以曲线图显示出来，通过软件提供的分析工具可对轮廓/粗糙度进行各种参数分析。SJ5700S国内表面粗糙度轮廓仪采用高精度光栅测量系统、高精度研磨导轨、高性能非接触直线电机、音圈电机测力系统、高性能计算机控制系统技术，实现对各种工件表面轮廓进行测量和分析。产品优势操作灵活、智能、简单1.PR型号共用主体，只需切换不同模块，可对产品进行轮廓形状测量和微观粗糙度测量。2.轮廓测针种类共有50种，可广泛应用于多种行业工件测量。3.粗糙度测针种类共有9种，不同规格传感器和针长适用于多种应用场景.4.组合调节控制手柄可快速完成载物台平移，X轴和Z轴定位，测杆上下摆动及速度分级调节功能。5.各个运动轴都有进行硬件及软件保护，降低人员因操作失误带来的测针及仪器损伤。6.轮廓模块带舵机结构，可防止扫描陡坡时的快速下坠。7.粗糙度根据GB/T、ISO、JIS等标准，自动评价粗糙度。8.软件操作界面简洁直观，任何人都能轻松设定和测量。大量程、高稳定、高精密1.轮廓模块具有X轴200mm的大量程轮廓测量范围，分辨率高达0.1nm，系统残差小于5nm。2.自主研发高精度研磨导轨系统，导轨材料耐磨性好、保证系统稳定可靠工作。3.轮廓模块采用音圈电机测力系统，测力可实现从10～150mN档位可调，测力分辨力可达0.2mN；避免了因周围环境振动带来的测力误差，降低了测力变化引起的测量误差。4.粗糙度模块高精度电感测量系统，粗糙度测量精度高。5.粗糙度模块测力固定1mN，微测力对工件表面损伤小，利于粗糙度精准测量。6.高性能直线电机驱动系统，保证测量稳定性高、重复性好。7.专用标定器能对仪器的参数和测针针尖磨损进行修正补偿，使其满足高精度轮廓/粗糙度测量。自动、批量、快速测量1.轮廓测量时：对于简单的工件只需要设置测量起点、终点即可一键测量；对于复杂的工件，工件的任意位置进行分段测量，并做成模板便于轮廓批量测量。2.粗糙度测量时：工件只需要设置测量长度即可一键测量，重复测量记录到一条数据便于统计。3.轮廓测量在CNC固定坐标系模式下，可快速精确地进行轮廓批量测量。4.自动保存测量结果，测量完成后可输出测量报告，形式多样。轮廓测量功能1.创建坐标：点线、两点 X、两线等工件坐标系。2.量测工具：矩形框选提取最高点、矩形框选提取矩形框选提取中心点、自动矩形取多点提取线、自动点捕捉取多点提取线、自动矩形提取螺纹中径线、扇形框选提取弧/圆等。3.构建特征：交点、中心点、角平分线、切线、两线内切圆、二次取样、垂线、平行线、特征偏移、两圆弧内切圆、直线旋转等。4.可测几何量：点、线、圆（圆心坐标、半径、直径）、圆弧、中心、角度、垂线、线到线的距离、线到圆的距离、X/Z坐标夹角、坐标差、两点之间总过程距离、面积等。5.形位公差：直线度、圆度、平行度、垂直度、同轴度、位置度、轮廓度等形位公差评定。6.快速工具：坐标标注、两线交点、两线夹角、螺牙框选取交点标注、台阶高、滚珠丝杆、框选Pt、沟槽宽度、偏移点与轮廓相交直线、偏移直线与轮廓相交点、基边/基点标准等特殊工具快速测量。7.具备自动找拐点功能，能按照程序设置进行X轴自动找拐点。8.支持公差批量设置、合格判定。9.支持cnc .xml .dxf 共3种格式的轮廓对比，如标准轮廓中有标注，可自动计算出对应标注结果。10.支持轮廓扫描数据的修改，包括删除异常点来进行分析。11.支持多条记录按照统一基准进行拼接分析功能。12.支持轮廓特征、标注特征、形位公差的颜色自定义管理。13.将所有测量记录进行集中式管理。14.按工件型号、工件名称、检测日期等进行检测信息查询。15.可设置报表模板、批量导出Word、PDF、Excel报表和打印报告，批量统计。16.可输出Word、PDF、Excel报表并预览，可输出扫描点文本文件txt、prf、dxf 文件。17.支持CNC批量实时输出至excel 模版，可定制模版。18.输出SPC分析报告，可输出统计值（如CA、PPK、CPK、PP等）及控制图（如均值与极差图、均值与标准差图、中位数与极差图、单值与移动极差图）。19.可以输出客户定义格式的Q-DAS文件。粗糙度测量功能1.SJ5700S国内表面粗糙度轮廓仪可依据不同标准JJF /ISO/GB/T等，推荐取样长度、评定长度，进行自动评价粗糙度。2.表面粗糙度评定： R参数、P参数、W参数、核心粗糙度Rcore、Motif等微观粗糙度参数。 3.将所有测量记录进行集中式管理。4.按工件型号、工件名称、检测日期等进行检测信息查询。5.可设置报表模板、批量导出Word、PDF、Excel报表和打印报告，批量统计。6.可输出Word、PDF、Excel报表并预览，可输出扫描点文本文件txt、prf 文件。7.可对一条记录中的重复性测试进行统计，包含最大值、最小值、平均值。8.输出SPC分析报告，可输出统计值（如CA、PPK、CPK、PP等）及控制图（如均值与极差图、均值与标准差图、中位数与极差图、单值与移动极差图）。

NewView™ 90003D光学轮廓仪提供了强大、多功能的非接触式光学表面分析。它可以简单和快速地测量各种表面类型，包括光滑、粗糙、平坦、倾斜和阶梯式的表面。所有的测量都是无损、快速、无需样品制备的。ZYGO相干扫描干涉技术(CSI)是系统的核心技术，在所有放大倍数下实现亚纳米的精度，并且能够快速准确的测试各种样品表面，为客户提供高投资回报率的体验。性能，价值和多样性灵活性是ZYGONewView产品的标志。NewView9000光学轮廓仪提供多样化的应用，包括平面度，粗糙度和波纹度，薄膜，台阶高度和更多应用。所有NewView9000轮廓仪都配备一个3位变焦塔台，可以为系统自动切换不同倍率的分立变焦。样品台可选配手动型或全自动编码型。所有NewView9000轮廓仪系统都提供高精度测量，易于使用和快速测量，价格吸引人，在通用性和应用价值方面使其成为3D光学轮廓仪的理想选择。以下差异化特性实现用户计量更好、更快和更可靠:• 大面积1.9MP传感器：高灵敏度，在单次测量中获取更多的信息• 高速测量：只需几秒时间，优化的测试能力和程序控制• 自动零件聚焦和定位：减少操作员测试差异，提高培训和测试效率• 重复性特征：优异的测量精度和可重复性，为高要求的生产应用提供服务• 抗震测量：SureScan™ 抗震技术和集成式抗震平台使系统在震动环境下也可实现高精度计量• SmartPSI™ 技术：对超光滑表面进行快速分析测量• 2D和3D的相关性：测量结果遵循ISO25178和ISO4287标准。• Mx™ 软件：实现仪器控制、分析和测量自动化先进的分析&控制软件NewView9000轮廓仪使用ZYGOMx™ 软件，支持完整系统控制和数据分析，包括丰富的交互式3D绘图，量化的形貌信息，直观的测量导航以及内置的SPC统计，质量控制图，通过/失败限制设置。• 交互式3D绘图–缩放，平移，旋转，并实时更新结果。• 灵活分析–广泛的定量分析结果，包括数据视图和过滤器。• 直观的用户界面–易于学习和使用的流程界面设计。• 内置SPC分析工具–跟踪结果，监控合格/不合格的标准，跟踪处理数据。还有满足特殊应用需求的应用程序模块，如透明薄膜的样品测量，2D图像分析等。灵活的配置NewView9000轮廓仪的工作区域功能开放，界面条理清晰，使测量设置和转换简单&快速。系统可以配备多种样品平台，从手动型到全自动型，150毫米XY平移和4度俯仰倾斜。可选集成式的抗震平台，紧凑的尺寸，使它非常适合于台式安装，结合可选的工作台使其成为理想的生产型测试系统。开放的工作区域使视野更清晰操作更便捷

探针式表面轮廓仪布鲁克探针式表面轮廓仪（又称“台阶仪”）历今四十载，积累大量专有技术。从传统的二维表面粗糙度和台阶高度测量，到更高级的三维表面成像和薄膜应力测试，Dektak台阶仪适用面极广，为用户提供准确性高，重复性佳的测量结果。 在教育、科研领域和半导体制程控制，Dektak广泛用于膜厚、应力、表面粗糙度和面形的测量。近几年，Dektak系统已经成为发展的太阳能电池市场最优越的测试工具，也被许多主要的光伏太阳能电池制造商所认可。DektakXT 桌面型探针式表面轮廓仪布鲁克DektakXT台阶仪设计创新，实现了更高的重复性和分辨率，垂直高度重复性高达4埃。这项测量性能的提高，达到了过去四十年Dektak体系技术创新的顶峰，更加稳固了其行业中的领先地位。不论应用于研发还是产品测量，在研究工作中的广泛使用是的DektakXT地功能更强大，操作更简便易行，检测过程和数据采集也更加完善。技术的突破也实现了纳米尺度的表面轮廓测量，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。 探针式轮廓仪的黄金标准DektakXT探针式轮廓仪 性的突破设计创新，实现了垂直高度重复性高达4埃，数据采集能力提高了40%。这一里程碑的创新和突破，使得DektakXT实现了纳米尺度的表面轮廓测量，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。技术创新四十余载，不断突破用攀高峰 Dektak品牌是首台基于微处理器控制的轮廓仪，首台实现微米测量的台阶仪，首台可以达到3D测量的仪器，首台个人电脑控制的轮廓仪，首台全自动300mm台阶仪。现在，全新的DektakXT延续了这种开创性的风格，成为世界第一台采用具有具有单拱龙门式设计，配备全彩HD摄像机，并且利用64位同步数据处理模式完成最佳测量和操作效率的台阶仪。 提高测量和数据分析速度首次采用独特高速的直接驱动扫描样品台，DektakXT在不牺牲分辨率和基底噪音水平的前提下，大大缩短了每次扫描的间隔时间，将数据采集处理的速度提高40%。另外，DektakXT采用布鲁克具有64位数据采集同步分析的Vision64，可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快数据滤波和多次扫描数据库分析的速度。提高操作的可重复性使用单拱龙门结构设计更坚硬持久不易弯曲损坏，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。DektakXT会把系统和环境噪音引起的测量误差降到最低，能够更稳定可靠的扫描高度小于10nm的台阶，获得其形貌特征。 完善的数据采集和分析系统 与DektakXT的创新性设计相得益彰的配置是布鲁克Vision64操作分析软件。Vision64提供了操作上最实用简洁的用户界面，具备智能板块，可视化的使用流程，以及各种参数的自助设定以满足用户的各种使用要求，快速简便的实现各种类型数据的采集和分析。 简便易行的实验操作系统 DektakXT新颖的探针的部件自动对准装置，可以尽量避免用户在装针的过程中出现针尖损伤等意外。为尽可能满足所有应用的需求，布鲁克提供各种尺寸的标准探针和特制探针。 高效率的保证DektakXT卓越的测量重复性为工程师们提供准确的薄膜厚度和应力测量，使其可以精确调节刻蚀和镀膜工艺来提高产品的优良率。 技术细节 Close up photograph of Dektak stylus tip measuring features on a silicon wafer. Photograph of tip exchange on DektakXT. Tip exchange assembly makes changing tip sizes easy.DektakXT仪器特性无与伦比的性能和优于4埃（4 ?）的测量重复性 单拱龙门式设计实现了突破性的扫描稳定性 先进的”智能化电子器件”实现了低噪声的新标杆高效率且易于使用 直观化的Vision64TM软件简化了用户界面的操作过程 独特的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和较大的力测量 自对准的探针设计使用户可以轻而易举地更换探针探针式轮廓仪的全球领导者 性能卓越，物超所值 完备的零配件为您优化或延伸机台的多种应用提供保障过去四十多年间，布鲁克的台阶仪研制和生产一直在理论和实践上不断实现创新性成果——首台基于微处理器控制的轮廓仪，首台实现微米测量的台阶仪，首台可以达到3D测量的仪器，首台个人电脑控制的轮廓仪，首台全自动300mm台阶仪——DektakXT延续了这种开创性的风格，全新的DektakXT成为世界上第一台采用具有单拱龙门式设计，配备全彩HD摄像机，并且利用64位同步数据处理模式完成最佳测量和操作效率的台阶仪。应用： 薄膜检验—确保高产量 DektakXT_Hybrid_Circuit.png 在半导体制造中，严密监控沉积和蚀刻速率的均匀性以及薄膜应力可以节省宝贵的时间和金钱。薄膜层的不均匀或应力过大，会导致良率下降和最终产品性能下降。 Dektak XT提供了快速，轻松地设置和运行自动多站点测量程序的能力，以验证整个晶圆表面的薄膜精确厚度，直至纳米级。 Dektak XT的无与伦比的可重复性为工程师提供了准确的膜厚和应力测量值，以精确调整蚀刻和沉积过程以提高产量。 太阳痕量分析-降低制造成本 在太阳能市场上，Dektak已成为测量银迹线（街道）的临界尺寸的首选解决方案，银迹线（街道）是单晶和多晶太阳能板上的导线。银迹线的高度，宽度和连续性与太阳能电池的导电能力有关。理想的生产状态是施加足够的银浆以获得最佳的导电性，同时又不浪费昂贵的银。 Dektak XT采用痕量分析程序，可报告街道的关键尺寸，以验证是否存在足够的导电材料。 Vision64中的数据分析器配方和自动化功能在自动化此验证过程中具有影响力。 DektakXT_Solar_Trace.png 微流体技术—验证设计和性能 DektakXT_Microfluidics.png Dektak是唯一的测针轮廓仪，可测量具有埃级重复性的敏感材料（高达1mm高）的大型垂直特征。 MEMS和微流体行业的研究人员可以依靠Dektak XT进行关键测量，以验证其零件是否符合规格。低力测量功能NLite +对敏感材料轻触即可准确测量垂直台阶和粗糙度，而不会损坏样品表面。 表面粗糙度验证-确保性能 Dektak XT非常适合常规验证精密加工零件的表面粗糙度，适用于各种行业，包括汽车，航空航天和医疗设备。例如，整形外科植入物背面的羟基磷灰石涂层的粗糙度会影响其一旦植入后的粘合性能和功效。使用Dektak XT对粗糙表面进行快速分析，可以确认是否已达到所需的晶体生长以及植入物是否可以通过生产要求。使用具有通过/失败标准的Vision64数据库，质量保证人员可以轻松地识别要返工的植入物或验证植入物的质量。Dektak XTL 严格的质量保证与控制下获得300mm最优性能检测布鲁克公司的新型Dektak XTL探针式轮廓仪系统可容纳多大350mm*350mm的样品，将Dektak有意的可重复性和再现性应用于大尺寸晶片及面板制造业。Dektak XTL集成气体隔振装置和方便的交互锁装置使仪器在全封闭工作环境下运行，是当今要求苛刻的生产环境的理想之选。它的双摄像头设置使空间感增强，其高水平自动化可最大限度提高生产量。 Bruker布鲁克Dektak XTL 测针轮廓仪系统大尺寸晶片和面板测量 全新的Dektak XTL™ 探针式轮廓仪优异的精确度、可重复性和再现性广泛应用于大尺寸晶片及面板制造业。该系统可容纳多达350mm x 350mm的样品，使得传奇性的Dektak系统可以实现从200mm到300mm的晶片制造。DektakXTL运算符v1 Dektak XTL具有占地面积小和带联锁门的集成隔离功能，非常适合当今苛刻的生产车间环境。其双摄像头架构可增强空间意识，其高度自动化可提高制造吞吐量。布鲁克的独家Vision64高级生产界面带有可选的模式识别功能，使数据收集变得直观，可重复，并最大程度地减少了操作员之间的差异。 新的软件功能使Dektak XTL成为功能最强大，最易于使用的手写笔探查器。该系统使用与布鲁克光学轮廓仪系列完全兼容的Vision64软件。 Vision64软件可使用数百种内置分析工具来实现无限制的测量站点，3D映射和高度定制的表征。 还可以使用Vision Microform软件来测量形状，例如曲率半径。使用模式识别可最大程度地减少操作员错误并提高测量位置精度。数据收集以及2D和3D分析在一个软件包中，具有直观的流程。每个系统都带有Vision软件许可证，可以将其安装在装有Windows 7 OS的单独PC上，以便可以在您的办公桌上创建数据分析和报告。 DektakXTL Vision64屏幕截图Dektak XTL已经针对持续生产工作时间和最大生产量在工艺开发和质量保证与质量控制应用方面进行了全面优化，将本产品设计为业界最易使用的探针式轮廓仪。 技术细节：无与伦比的性能和优于5埃（ 单拱龙门式设计实现了突破性的扫描稳定性 先进的”智能化电子器件”实现了低噪声的新标杆高效率且易于使用 直观化的Vision64TM软件简化了用户界面的操作过程 独特的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和较大的力测量 自对准的探针设计使用户可以轻而易举地更换探针探针式轮廓仪的全球领导者 性能卓越，物超所值 完备的零配件为您优化或延伸机台的多种应用提供保障

中图仪器SJ5800广东表面粗糙度轮廓仪是一款能实现对轴承及工件表面粗糙度和轮廓的高精度测量和分析的检测仪器。它采用超高精度纳米衍射光学测量系统、超高直线度研磨级摩擦导轨、高性能直流伺服驱动系统、高性能计算机控制系统技术，可广泛应用于精密机械加工、汽车、轴承、机床、模具、精密五金等行业, 该仪器可以对零件表面，尤其是大范围曲面，如圆弧面和球面、异型曲面等进行检测，是大曲面测量（轴承、人工关节、精密模具、齿轮、叶片、轴承滚子）领域精细粗糙度测量的利器。测量功能1.创建坐标：点线、两点 X、两线等工件坐标系。2.量测工具：矩形框选提取最高点、矩形框选提取矩形框选提取中心点、自动矩形取多点提取线、自动点捕捉取多点提取线、自动矩形提取螺纹中径线、扇形框选提取弧/圆等。3.构建特征：交点、中心点、角平分线、切线、两线内切圆、二次取样、垂线、平行线、特征偏移、两圆弧内切圆、直线旋转等。4.可测几何量：点、线、圆（圆心坐标、半径、直径）、圆弧、中心、角度、垂线、线到线的距离、线到圆的距离、X/Z坐标夹角、坐标差、两点之间总过程距离、面积等。5.形位公差：直线度、圆度、平行度、垂直度、同轴度、位置度、轮廓度等形位公差评定。6.快速工具：坐标标注、两线交点、两线夹角、螺牙框选取交点标注、台阶高、滚珠丝杆、框选Pt、沟槽宽度、偏移点与轮廓相交直线、偏移直线与轮廓相交点、基边/基点标准等特殊工具快速测量。7.具备自动找拐点功能，能按照程序设置进行X轴自动找拐点。8.表面粗糙度评定： R参数、P参数、W参数、核心粗糙度Rcore、Motif等微观粗糙度参数。9.支持公差设置、合格判定。10.支持点cnc .xml .dxf 共3种格式的轮廓对比，如标准轮廓中有标注，可自动计算出对应标注结果。11.支持轮廓扫描数据的修改，包括删除异常点来进行分析。12.支持多条记录按照统一基准进行拼接分析功能。13.支持轮廓特征、标注特征、形位公差的颜色自定义管理。SJ5800广东表面粗糙度轮廓仪可以对零件表面的轮廓度、波纹度、粗糙度实现一次扫描测量，尤其是大范围曲面、斜面进行粗糙度及轮廓尺寸一次性检测，如圆弧面和球面、异型曲面进行多种粗糙度参数（如Ra、Rz等）、微观轮廓度Pt、波纹度参数的测量。如分别对发动机关键零部件节温器内筒、气门摇臂及凸轮轴进行高精度轮廓参数检测。1)节温器内筒轮廓粗糙度检测2)气门摇臂内孔粗糙度检测3)发动机凸轮轴轮廓尺寸及粗糙度检测产品优势专业轴承测量、高稳定、高精密1.SJ5800广东表面粗糙度轮廓仪具有12mm~24mm的大量程粗糙度测量范围，专业测试轴承内外侧。可选专业轴承夹具和滚子分析，方便测试。2.分辨率高达到0.1nm，系统残差小于3nm。3.超高直线度研磨级摩擦导轨、特殊红宝石转轴系统提供转动的超高灵敏度及测量精度。4.高稳定的驱动设计，确保了驱动运行过程中不产生任何的振动及干扰，保障了系统扫描运动精度。5.精度标定台能对仪器的参数和测针针尖磨损进行修正补偿，使其满足高精度轮廓测量。操作灵活、智能、简单1.轮廓和粗糙度一体测量，无需切换模块。2.测针一键拔插，特殊设计的高刚性拔插结构，无需锁螺钉，方便快捷、稳定可靠。3.各个运动轴都有进行硬件及软件保护，降低人员因操作失误带来的测针及仪器损伤。4.带舵机结构，可防止扫描陡坡时的快速下坠。5.智能恒测力系统，0.5-3mN 测力档位可调，降低了测力变化引起的测量误差，适合测量各类软、硬性工件。6.组合调节控制手柄可快速完成载物台平移，X轴和Z轴定位，测杆上下摆动及速度分级调节功能。7.根据GB/T、ISO、JIS等标准，自动评价粗糙度。8.软件操作界面简洁直观，任何人都能轻松设定和测量。自动、批量、快速测量1.对于简单的工件只需要设置测量长度即可一键测量；对于复杂的工件，对工件任意位置进行分段测量，并做成模板便于轮廓批量测量。2、CNC固定坐标系模式下，可快速精确地进行轮廓批量测量。3.自动保存测量结果，测量完成后可输出测量报告，形式多样。典型应用部分技术参数型号SJ5800-100轮廓参数测量范围X轴0~100mm立柱轴0~300mmZ轴±6mm（标准测杆）（±12mm：两倍标准测杆）粗糙度参数粗糙度测量参数R粗糙度：Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku,RSm,Rdq,Rdc,Rmr,Rmax,Rpm,tp,Htp,Pc,Rda,Ry,Sm,S,RzJ；Ra,Rq,Rz,Rmax,RPc,Rz-JIS,Rt,Rp,Rv,RSm,Sm,S,Rsk,Rku,Rdq,Rdc,Rmr；核心粗糙度Rcore: Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo；P轮廓参数：Pa,Pq,Pt,Pz,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Pdc,Pc,PPc,Pmr,Rad,PzJ,Pmax；W波纹度轮廓参数：Wa,Wq,Wt,Wz,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdq,Wdc,Wmr,Wpc,Wc；Motif参数：R,AR,W,AW,Rx,Wx,Wte；符合标准：GB/T3505-2009,ISO4287:1997,ISO 13565-2:1996,ASME B46.1-2002,DIN/EN/ISO 4287:2010,JIS B 0601:2013,JIS B 0601-1994JIS B 0601-1982,ISO 1302:2002；仪器尺寸（长×宽×高）600×350×850mm仪器总重量约95Kg恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

可直接用于生产的三维光学轮廓仪系统。ZeGage™ Pro和ZeGage™ ProHR三维光学轮廓仪可对多种类型表面的微米和纳米级特征进行非接触式测量和表征，实现制造环境中的质量控制和过程监控。我们行业lingxian的ZeGagePro系列由于其卓越的性能、易用性、灵活性和精度为台式工业非接触表面轮廓仪设立了行业标准。ZeGagePro在ZYGO专有CSI技术的基础上，采用一系列创新的技术，可实现精确、可靠、简单和省心的表面测量。独有的功能包括SureScan™ 抗振计量技术、零件查找和智能设置，可简化零件设置并优化测量。快速、轻松地测量各种表面和部件从未像现在这样简单。ZeGage™ Pro---Zygo高性价比表面轮廓用于3D形貌定量测试，和精密机械表面粗糙度检测的理想非接触式检测工具。它工业化的设计提供快速，准确的测量方案，并且外形紧凑、性价比高，能够放在生产车间工作，而不需要振动隔离和特殊的隔离装置。同时交互式的控制软件Mx提供了简单而精细的图形图像来帮助你的加工处理。关键特点• 抗震性能，适合于生产车间的计量检测和过程控制。• 所有参数遵照ISO25178*标准，保证计量结果的可性度。• 非接触式计量技术不会引起任何待测件的损伤。• 计算机控制的4位物镜转台。• 基于区域的测量，对待测件如何放置不敏感。• 测量无需任何耗材。卓越的性能结合抗震的非接触式的光学测量技术，无需振动隔离平台或者隔离装置。纳米级的表面定量计量精度提供了出色的计量能力。关联的2D和3D标准，符合ISO25178面形粗糙度参数标准。百万像素的高分辨率图形传感器可以在几秒时间内进行快速面测量，并给出表面细节成像。集成的自动聚焦和聚焦辅助功能使操作非常简单并且减少了由于操作误差。可选配机动样品台，使高精度检测的自动测量和大面积拼接成为可能。多功能性测量各种材料的面形，提供个中参数，包括表面结构，面形和台阶高度等等的2D和3D图形。可选择放大倍率和视场为系统提供更多选择。Mx软件提供全面的用于表面数据图像处理、分析和报告的工具。配备的T型槽样品台使测量操作简单、可以重复的定位。生产力和价值与同类产品相比较（包括探针式接触式轮廓仪）具有高性价比，及高测量性能。紧凑的机型，及具有抗震技术SureScan()技术，使Zegage可以整合在工厂里的任何地方。非接触式的测量系统，没有耗材，不用担心使用成本。操作简便，只需简单培训即可上手，也降低了维护成本。大功率、长寿命的LED光源使设备可以长期无障碍的运行。

中图仪器SJ5800系列轴承表面大量程粗糙度轮廓仪采用超高精度纳米衍射光学测量系统、超高直线度研磨级摩擦导轨、高性能直流伺服驱动系统、高性能计算机控制系统技术，可以对零件表面，尤其是大范围曲面，如圆弧面和球面、异型曲面等进行检测，实现对轴承及工件表面粗糙度和轮廓的高精度测量和分析。SJ5800系列轴承表面大量程粗糙度轮廓仪具有12mm~24mm的大量程粗糙度测量范围，专业测试轴承内外侧。分辨率高达到0.1nm，系统残差小于3nm，高稳定、高精密测量轴承。产品特点1.纳米级光学传感器，可大量程(24mm)测量轴承圆弧沟槽表面粗糙度；2.拔插式测杆、0.5mN超低测力保护工件测量面；3.多方向运动轴保护措施，确保测针、保护仪器关键部位；4.具备轴承沟道测量功能：桃形沟尺寸、圆弧沟道、油沟形状、角度及对称度、套圈越程槽、成品轴承外圈凹槽距离、轴承滚道与挡边角度测量、倒角Ｒ及倒角尺寸，对称、非对称、对数曲线滚子凸度及滚子球基面测量功能；5.具备轴承沟道，内孔及端面表面粗糙度测量功能；6.分离式操作控制台，控制X、Z轴移动，使得测针顺利进入工件测量位置7.可将数据扫描点输出到CAD、ASCII格式文件，方便细节观察工件表面缺陷。测量功能1.创建坐标：点线、两点 X、两线等工件坐标系。2.量测工具：矩形框选提取最高点、矩形框选提取矩形框选提取中心点、自动矩形取多点提取线、自动点捕捉取多点提取线、自动矩形提取螺纹中径线、扇形框选提取弧/圆等。3.构建特征：交点、中心点、角平分线、切线、两线内切圆、二次取样、垂线、平行线、特征偏移、两圆弧内切圆、直线旋转等。4.可测几何量：点、线、圆（圆心坐标、半径、直径）、圆弧、中心、角度、垂线、线到线的距离、线到圆的距离、X/Z坐标夹角、坐标差、两点之间总过程距离、面积等。5.形位公差：直线度、圆度、平行度、垂直度、同轴度、位置度、轮廓度等形位公差评定。6.快速工具：坐标标注、两线交点、两线夹角、螺牙框选取交点标注、台阶高、滚珠丝杆、框选Pt、沟槽宽度、偏移点与轮廓相交直线、偏移直线与轮廓相交点、基边/基点标准等特殊工具快速测量。7.具备自动找拐点功能，能按照程序设置进行X轴自动找拐点。8.表面粗糙度评定： R参数、P参数、W参数、核心粗糙度Rcore、Motif等微观粗糙度参数。9.支持公差设置、合格判定。10.支持点cnc .xml .dxf 共3种格式的轮廓对比，如标准轮廓中有标注，可自动计算出对应标注结果。11.支持轮廓扫描数据的修改，包括删除异常点来进行分析。12.支持多条记录按照统一基准进行拼接分析功能。13.支持轮廓特征、标注特征、形位公差的颜色自定义管理。产品优势轴承测量、高稳定、高精密1.SJ5800系列轴承表面大量程粗糙度轮廓仪具有12mm~24mm的大量程粗糙度测量范围，专业测试轴承内外侧。可选专业轴承夹具和滚子分析，方便测试。2.分辨率高达到0.1nm，系统残差小于3nm。3.超高直线度研磨级摩擦导轨、特殊红宝石转轴系统提供转动的超高灵敏度及测量精度。4.高稳定的驱动设计，确保了驱动运行过程中不产生任何的振动及干扰，保障了系统扫描运动精度。5.精度标定台能对仪器的参数和测针针尖磨损进行修正补偿，使其满足高精度轮廓测量。操作灵活、智能、简单1.轮廓和粗糙度一体测量，无需切换模块。2.测针一键拔插，特殊设计的高刚性拔插结构，无需锁螺钉，方便快捷、稳定可靠。3.各个运动轴都有进行硬件及软件保护，降低人员因操作失误带来的测针及仪器损伤。4.带舵机结构，可防止扫描陡坡时的快速下坠。5.智能恒测力系统，0.5-3mN 测力档位可调，降低了测力变化引起的测量误差，适合测量各类软、硬性工件。6.组合调节控制手柄可快速完成载物台平移，X轴和Z轴定位，测杆上下摆动及速度分级调节功能。7.根据GB/T、ISO、JIS等标准，自动评价粗糙度。8.软件操作界面简洁直观，任何人都能轻松设定和测量。自动、批量、快速测量1.对于简单的工件只需要设置测量长度即可一键测量；对于复杂的工件，对工件任意位置进行分段测量，并做成模板便于轮廓批量测量。2.、CNC固定坐标系模式下，可快速精确地进行轮廓批量测量。3.自动保存测量结果，测量完成后可输出测量报告，形式多样。

中图仪器SuperViewW3D轮廓仪粗糙度表面形貌仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。SuperViewW3D轮廓仪粗糙度表面形貌仪是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：SuperViewW光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。SuperViewW3D轮廓仪粗糙度表面形貌仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。其特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

德国布鲁克DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）可以提供更高的重复性和分辨率，测量重复性可以到5Å。台阶仪这项性能的到了过去四十年Dektak技术，更加巩固了其行业。不论应用于研发还是产品测量，通过在研究工作中的广泛使用，DektakXT能够做到功能更强大，操作更简易，检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术，使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二管的研发以及材料科学领域。 台阶仪DektakXT能实现： 1、 使用温度条件：10-30℃； 2、无可匹敌的性能，台阶高度重现性低于4埃 3、Single-arch设计提供扫描稳定性 4、的“智能电子器件”设立了新低噪音基准 5、新硬件配置使数据采集时间缩短 6、64-bit，Vision64同步数据处理软件，使数据分析速度高了10倍 7、频率，操作简易 8、直观的Vision64用户界面，操作简易 9、针尖自动校准系统 10、布鲁克（Bruker）以实惠的配置实现高的性能 11、单传感器设计，提供单一平面上低作用和宽扫描范围 建立在40多年的探针轮廓技术的知识和经验薄膜测试仪，在基于微处理器的轮廓仪，和300mm自动轮廓仪DektakXT继承了以往的。新的DektakXT是single-arch设计的探针轮廓仪，内置真彩高清光学摄像机，及安装64-bit并行处理架构已获得测量及操作效率的探针轮廓仪 当需要台阶高度、表面粗糙度、测量时，人们就会借助Dektak。引进DektakXT，Bruker能让您进一步获得表面测量数据采集和分析速度 直接驱动扫描平台，Dektak XT减少了扫描间的时间，而没有影响分辨率和背景噪声。这一改进大范围扫描3D形貌或者对于表面应力长程扫描（就探针轮廓仪而言，通常是耗时的）的扫描速度。在行业的质量和重现性前提下，DektakXT可以将数据采集处理的速度。另外，DektakXT采用Bruker64-bit数据采集分析同步操作软件Vision64，它可以大范围3D形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描是的数据分析。Vision64还具有行业内的直观用户界面，简化了实验操作设置，自动完成多扫描模式，让重复和常规的实验操作变得更快速简洁。

德国BMT Surfiler 滚轴表面轮廓仪德国BMT Surfiler 滚轴表面轮廓仪用于对金属表面结构和粗糙度进行光学测量评估和记录。产品特点：● 滚筒和平整表面的粗糙度和微结构测量；●可简单安放到滚筒上；●可用于各种表面，如昏暗、光亮和彩色表面；●简单非接触测量，节省时间，横向和径向分辨率高；●表面结构的轻松记录；●符合人体工学的扫描操作设计；●通过拼接实现大范围测量；●使用普通PC获取数据，多种格式数据输出。技术参数：●测量面积 [μm] 250 x 250 (或定制)●垂直分辨率[nm] 1●横向分辨率[μm] 1●测量时间 [s] 3-50●测量范围 [μm] 150●图片尺寸 [Pixel] 1300 x 1100●外观尺寸 [mm] 400 x 120 x 160●重量 [kg] 5●位移: X 轴 [mm] 30 Y 轴 [mm] 10

中图仪器SJ5800表面粗糙度轮廓仪是一款集成表面粗糙度和轮廓测量的高精度测量仪器，该仪器具有12mm-24mm的粗糙度轮廓一体式测量范围，分辨率达SJ5800表面粗糙度轮廓仪到0.1nm，因此非常适合测量大曲面高精密零部件的轮廓参数测量，同时具备球面、弧面、非球面轮廓参数评价功能，能够满足各种高精密轮廓粗糙度加工行业的测量需求。技术参数型号SJ5800-100轮廓参数测量范围X轴0~100mm立柱轴0~300mmZ轴±6mm（标准测杆）（±12mm：两倍标准测杆）分辨率X轴：10nm，Z轴：1nm、0.1nm移动速度X轴0~20mm/s立柱轴0~20mm/s扫描速度（扫描轴）0.05～5mm/s直线度（扫描轴）≤（0.05+1.5L/1000）μm*备注：≤0.2μm/100mm测量力0.5mN、0.75mN、1mN、2mN、3mN（电子档位可调）粗糙度参数适用Ra测量范围Ra0.012μm~Ra12.5μm（可选更大范围）示值误差Ra： ≤±(3nm+2.0%A)（A：测量Ra标称值）重复性(1δ)1δ≤1nm*备注：0.1-0.2μm方波粗糙度样块、标准台阶块测试残值噪声Rq≤2nm*备注：1纳米级粗糙度样块、平晶测试粗糙度测量参数R粗糙度：Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku,RSm,Rdq,Rdc,Rmr,Rmax,Rpm,tp,Htp,Pc,Rda,Ry,Sm,S,RzJ；Ra,Rq,Rz,Rmax,RPc,Rz-JIS,Rt,Rp,Rv,RSm,Sm,S,Rsk,Rku,Rdq,Rdc,Rmr；核心粗糙度Rcore: Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo；P轮廓参数：Pa,Pq,Pt,Pz,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Pdc,Pc,PPc,Pmr,Rad,PzJ,Pmax；W波纹度轮廓参数：Wa,Wq,Wt,Wz,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdq,Wdc,Wmr,Wpc,Wc；Motif参数：R,AR,W,AW,Rx,Wx,Wte；符合标准：GB/T3505-2009,ISO4287:1997,ISO 13565-2:1996,ASME B46.1-2002,DIN/EN/ISO 4287:2010,JIS B 0601:2013,JIS B 0601-1994JIS B 0601-1982,ISO 1302:2002；滤波器高斯滤波器、2RC滤波器，相位修正滤波器滤波长度0.08、0.25、0.8、2.5、8.0、25mm可选滤波长度λc×3、4、5、6、7、8可选仪器尺寸（长×宽×高）600×350×850（mm）仪器总重量约95Kg产品功能1.SJ5800表面粗糙度轮廓仪一次测量可同时评定粗糙度及轮廓参数，分析评定R参数、P参数、W参数等微观粗糙度参数及倒角、R角、直线度、位置尺寸、角度的宏观轮廓参数；2.表面粗糙度评定： R参数、P参数、W参数、核心粗糙度Rcore、Motif等微观粗糙度参数评定；3.圆球类零件轮廓及粗糙度参数测量评定；4.表面轮廓评定：评定任何点/线间距、两线夹角、圆弧半径、直径等几何量尺寸参量，并可对轮廓进行直线度、圆度、轮廓度、平行度、位置度、垂直度等分析，重新分析和测量的操作简洁高效；5.尺寸标注：半径、两圆中心距离、X/Z尺寸、斜边、两线夹角、直线相交、直线与圆弧相交、圆弧与圆弧相交、尺寸标注线大小修改、线偏移、局部轮廓放大和调平等；6.测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检测员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理测量记录；7.输出多种格式报表(.doc，.docx，.xlsx，.pdf)，并支持自定义报表，定制测量记录报表，可批量打印记录表，具有数据备份和还原数据库功能；8.具备自动找拐点功能，能按照程序设置进行X轴自动找拐点；9.成熟简单的标定，仪器自带高精度组合标定台，可对仪器的精度和测针磨损进行精确补偿；10.可进行DXF（CAD）格式图纸导入，进行理论图纸与测量结果比对分析，可提供直观图形对比；11.可导出坐标点数据（.TXT）等格式，可读取到Excel或者CAD软件内进行数据分析及标准轮廓比对；12.可对多次测量的轮廓曲线匹配后进行分析测量重复性。性能特点1、一次测量同时评定轮廓和粗糙度参数SJ5800表面粗糙度轮廓仪超高精度衍射光学测量系统，具有12mm~24mm的大量程粗糙度测量范围，分辨率高达0.1nm，系统残差小于2nm。2、高精度、高稳定性、高重复性：满足被测件测量精度要求1)系统扫描轴采用特殊的超高耐磨材质复合材质摩擦片，耐磨性能优良，稳定性高，能保障系统长时间的稳定的直线度精度；2)高精度转轴采用特殊的高刚性、低惯量、超低摩擦系数的红宝石转轴系统，确保了转动的超高灵敏度及测量精度；3)超高稳定的驱动设计，确保了驱动运行过程中不产生任何的振动及干扰，保障了系统扫描运动精度；4)高精度的纳米级光学转轴测量系统，保障了仪器超高的分辨率及全程纳米级粗糙度测量精度；5)一体式拔插式碳纤维测杆、高刚性、低惯量，一键拔插，特殊设计的高刚性拔插结构，无需锁螺钉，方便快捷、稳定可靠；3、智能化管理与软件分析系统仪器操作界面友好，操作者易掌握仪器基本操作，使用十分简便。1)10多年积累的实用检测软件设计经验，向客户提供简洁、实用、快速的操作体验；2)智能化分析及记录，同批次可自动测量和分析，大幅度减少人员的操作要求及降低人员的劳动强度；3)测量范围广，可满足绝大多数类型的工件粗糙度轮廓测量要求；4)非球面专用软件分析功能模块，一键式快速测量非球面光学镜片；5)可自动和手动选取被测段进行评定，可依据客户要求进行软件功能的定制；6)纯中文操作软件系统，更好的为国内用户服务；7)可打印各种格式的检定报告，自动显示、打印、保存、查询测量记录，打印格式正规、美观；检定数据可存档，或集中打印，不占用检定操作时间；8)本仪器采用计算机大容量数据库储存，可自动记录保存所有检定结果。4、智能保护系统仪器在各个方向都有进行硬件及软件保护，能有效的保护仪器主机及测针，降低人员因操作失误带来的测针及仪器损伤；模块测针拔插式结构，方便更换，遇到卡针可轻松拆换测针；测量传感器带舵机结构，可防止扫描陡坡时的快速下坠。5、灵活手动控制：仪器配置了特殊分离式操作杆，操作杆在仪器操作移动时，可放置在任何位置控制操作，在测量工件前对测针进行粗定位；在脱离电脑的情况下，操作杆具备左右/上下移动测针、急停、测杆上下角度摆动及速度分多级调节功能。6、成熟的标定校准技术仪器配置特殊的高精度标定台，通过简单的标定操作，能对仪器的参数进行误差补偿，对测针针尖磨损进行修正补偿，使其满足高精度轮廓测量。用于圆锥滚子轴承表面微观轮廓Pt及粗糙度测量环境条件温度：20±5℃；相对湿度：10%~80%；电源/功率：220V，50Hz，≤1.5KW（含电脑及显示器）；振动：按照三坐标振动要求标准，振动速度均方根≤5um/s，振动频率8~100Hz；校准室内应无影响测量的灰尘、震动、噪音、气流、腐蚀性气体和较强磁场；

大面积CMOS光束分析仪TaperCamD-LCM 具有达 25 x 25 mm 的有效面积、4.2 M像素数、12.5 x 12.5 μm（有效）像元尺寸、全局得光学和电子触发快门以及 2500:1 的信噪比，TaperCamD-LCM属于USB 端口供电的激光束分析设备中，有效区域较大的。通过将 WinCamD-LCM 的高信噪比和全局快门与高质量光纤锥相结合，TaperCamD-LCM 提供了一个非常紧凑、易于使用的解决方案，适用于测量各种大型连续及脉冲激光。TaperCamD-LCM 与 DataRay 的全功能、高度可定制、以用户为中心的软件（无许可费用、无限制安装和免费软件更新）结合。非常适合以下应用：连续和脉冲激光轮廓分析；激光系统的现场服务；光学组装；仪器校准；光束漂移和记录；研究开发； OEM集成；和质量控制。系统特点355 至 1150 nm (CMOS)4.2 M像素，2048 x 2048分辨率，25 x 25mm有效区域12.5 μm（有效）像素2,500:1 信噪比60 fps @ 512 x 512、30 fps @ 1024 x 1024、12 fps @ 2048 x 2048USB 3.0供电HyperCal™ – 动态噪声和基线校正软件包括 2" NDXL ND 滤镜带光学和 TTL 触发的全局快门电子自动快门，85μs 至 2s (44 dB)12 位 ADC隔离脉冲触发器多台相机的并行捕捉相对功率分布显示

特点共聚焦三维表面轮廓仪具有光学形貌上超高的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机， 空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的理想配置。上图分别展示绿色叶子以及微纳结构测量效果技术参数项 目 简 述参数说明共聚焦三维表面轮廓仪l可快速垂直扫描的旋转盘共焦技术l具有光学形貌上超高的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机， 空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的理想配置l在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制l应用于透明层/薄膜l兼容亮视野&暗视野 光学DICl长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选l高稳定性

KLA 探针式表面轮廓仪（台阶仪） P-17P-17支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量，适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。产品描述P-17是第八代台式探针轮廓仪（台阶仪），是40多年的表面量测经验的结晶。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。该系统结合了UltraLite传感器、恒力控制和超平扫描平台，因而具备出色的测量稳定性。 通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能，程序设置简便快速。 P-17具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法，可以支持2D或3D测量。 并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。 主要功能 台阶高度：几纳米至1000μm 微力恒力控制：0.03至50mg 样品全直径扫描，无需图像拼接 视频：500万像素高分辨率彩色摄像机 圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差 软件：简单易用的软件界面 生产能力：通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化主要应用 台阶高度：2D和3D台阶高度 纹理：2D和3D粗糙度和波纹度 形状：2D和3D翘曲和形状 应力：2D和3D薄膜应力 缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌工业应用 大学、研究实验室和研究所 半导体和化合物半导体 LED：发光二极管 太阳能 MEMS：微机电系统 数据存储 汽车 医疗设备 还有更多：请与我们联系以满足您的要求

NS3600 激光三维表面轮廓仪NS-3600是一款高速共聚焦激光扫描显微镜（CLSM），可用于精确可靠的3维（3D）测量。 通过快速光学扫描模块和信号处理算法可实现实时共聚焦显微图像。这是测量和检查微观3D结构有前途的解决方案，例如半导体晶圆，FPD产品，MEMS器件，玻璃基板和材料表面。Features & Benefits（性能及优势）：高分辨无损伤光学3D测量 自动倾斜补偿实时共焦成像 简单的数据分析模式多种光学变焦 双Z扫描大范围拼接 半透明基材的特征检测实时CCD明场和共聚焦成像 无样品准备自动聚焦Software (软件）：Application field（应用领域）：NS-3600是测量低维材料的有前途的解决方案。可测量微米和亚微米结构的高度，宽度，角度，面积和体积，例如-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺- FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度- MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析Specifications（规格）：ModelMicroscope NS-3600备注物镜倍率10x20x50x100x观察/ 测量范围 水平 (H): μm1400700280140垂直 (V): μm1050525210105WD: mm16.53.10.540.3数值孔径(N.A.)0.300.460.800.95观察/测量光学系统 针孔共聚焦光学系统高度测量测量扫描范围10mm显示分辨率0.001 μm重复率 σ0.02 μm注1宽度测量显示分辨率0.001 μm重复率 3σ0.03 μm注 2帧记忆像素1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96单色图像12 bit彩色图像8-bit for RGB each高度测量16 bit帧速率表面扫描20 Hz to 160 Hz线扫描~8 kHz激光接收元件PMT (光电倍增管)激光波长638nm (2mW)光学观察照相机成像元件彩色图像 CCD 传感器记录分辨率1296x966数据处理单元专用 PC电源电源电压100 to 240 VAC, 50/60 Hz电流消耗500 VA max.重量显微镜大约. ~50 kg(测量头大约: ~12 kg)控制器~8 kg隔振系统气浮隔振Option注1:100次测量标准样品(1μm高度) 100 x/ 0.9物镜。注2:100次测量标准样品(5μm 间距) 100 ×/ 0.9物镜。Nanoscope system NS3600 三维激光共聚焦显微镜信息由上海巨纳科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于Nanoscope system NS3600 三维激光共聚焦显微镜报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

中图仪器SuperViewW非接触式表面粗糙度白光干涉光学轮廓仪以白光干涉技术为原理，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。SuperViewW非接触式表面粗糙度白光干涉光学轮廓仪广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。SuperViewW非接触式表面粗糙度白光干涉光学轮廓仪对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，SuperViewW光学3D表面轮廓仪复合型EPSI重建算法解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。SuperViewW具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器SJ5800波纹度大曲面粗糙度测量轮廓仪一体机可实现对轴承及工件表面粗糙度和轮廓的高精度测量和分析。广泛应用于精密机械加工、汽车、轴承、机床、模具、精密五金等行业, 该仪器可以对零件表面，尤其是大范围曲面，如圆弧面和球面、异型曲面等进行检测，是大曲面测量（轴承、人工关节、精密模具、齿轮、叶片、轴承滚子）领域精细粗糙度测量的利器。如分别对发动机关键零部件节温器内筒、气门摇臂及凸轮轴进行高精度轮廓参数检测。1)节温器内筒轮廓粗糙度检测2)气门摇臂内孔粗糙度检测3)发动机凸轮轴轮廓尺寸及粗糙度检测SJ5800波纹度大曲面粗糙度测量轮廓仪一体机具有12mm~24mm的大量程粗糙度测量范围，专业测试轴承内外侧。分辨率高达到0.1nm，系统残差小于3nm。可选专业轴承夹具和滚子分析，方便测试。测量功能1.创建坐标：点线、两点 X、两线等工件坐标系。2.量测工具：矩形框选提取最高点、矩形框选提取矩形框选提取中心点、自动矩形取多点提取线、自动点捕捉取多点提取线、自动矩形提取螺纹中径线、扇形框选提取弧/圆等。3.构建特征：交点、中心点、角平分线、切线、两线内切圆、二次取样、垂线、平行线、特征偏移、两圆弧内切圆、直线旋转等。4.可测几何量：点、线、圆（圆心坐标、半径、直径）、圆弧、中心、角度、垂线、线到线的距离、线到圆的距离、X/Z坐标夹角、坐标差、两点之间总过程距离、面积等。5.形位公差：直线度、圆度、平行度、垂直度、同轴度、位置度、轮廓度等形位公差评定。6.快速工具：坐标标注、两线交点、两线夹角、螺牙框选取交点标注、台阶高、滚珠丝杆、框选Pt、沟槽宽度、偏移点与轮廓相交直线、偏移直线与轮廓相交点、基边/基点标准等特殊工具快速测量。7.具备自动找拐点功能，能按照程序设置进行X轴自动找拐点。8.表面粗糙度评定： R参数、P参数、W参数、核心粗糙度Rcore、Motif等微观粗糙度参数。9.支持公差设置、合格判定。10.支持点cnc .xml .dxf 共3种格式的轮廓对比，如标准轮廓中有标注，可自动计算出对应标注结果。11.支持轮廓扫描数据的修改，包括删除异常点来进行分析。12.支持多条记录按照统一基准进行拼接分析功能。13.支持轮廓特征、标注特征、形位公差的颜色自定义管理。产品特点1.纳米级光学传感器，可大量程(24mm)测量轴承圆弧沟槽表面粗糙度；2.拔插式测杆、0.5mN超低测力保护工件测量面；3.多方向运动轴保护措施，确保测针、保护仪器关键部位；4.具备轴承沟道测量功能：桃形沟尺寸、圆弧沟道、油沟形状、角度及对称度、套圈越程槽、成品轴承外圈凹槽距离、轴承滚道与挡边角度测量、倒角Ｒ及倒角尺寸，对称、非对称、对数曲线滚子凸度及滚子球基面测量功能；5.具备轴承沟道，内孔及端面表面粗糙度测量功能；6.分离式操作控制台，控制X、Z轴移动，使得测针顺利进入工件测量位置7.可将数据扫描点输出到CAD、ASCII格式文件，方便细节观察工件表面缺陷。产品优势专业轴承测量、高稳定、高精密1.SJ5800波纹度大曲面粗糙度测量轮廓仪一体机具有12mm~24mm的大量程粗糙度测量范围，专业测试轴承内外侧。可选专业轴承夹具和滚子分析，方便测试。2.分辨率高达到0.1nm，系统残差小于3nm。3.超高直线度研磨级摩擦导轨、特殊红宝石转轴系统提供转动的超高灵敏度及测量精度。4.高稳定的驱动设计，确保了驱动运行过程中不产生任何的振动及干扰，保障了系统扫描运动精度。5.精度标定台能对仪器的参数和测针针尖磨损进行修正补偿，使其满足高精度轮廓测量。操作灵活、智能、简单1.轮廓和粗糙度一体测量，无需切换模块。2.测针一键拔插，特殊设计的高刚性拔插结构，无需锁螺钉，方便快捷、稳定可靠。3.各个运动轴都有进行硬件及软件保护，降低人员因操作失误带来的测针及仪器损伤。4.带舵机结构，可防止扫描陡坡时的快速下坠。5.智能恒测力系统，0.5-3mN 测力档位可调，降低了测力变化引起的测量误差，适合测量各类软、硬性工件。6.组合调节控制手柄可快速完成载物台平移，X轴和Z轴定位，测杆上下摆动及速度分级调节功能。7.根据GB/T、ISO、JIS等标准，自动评价粗糙度。8.软件操作界面简洁直观，任何人都能轻松设定和测量。自动、批量、快速测量1.对于简单的工件只需要设置测量长度即可一键测量；对于复杂的工件，对工件任意位置进行分段测量，并做成模板便于轮廓批量测量。2、CNC固定坐标系模式下，可快速精确地进行轮廓批量测量。3.自动保存测量结果，测量完成后可输出测量报告，形式多样。典型应用部分技术参数型号SJ5800-100轮廓参数测量范围X轴0~100mm立柱0~300mmZ轴±6mm（标准测针杆）（±12mm：选择两倍测针杆时）扫描速度（扫描轴）0.05～5mm/s直线度（扫描轴）≤0.2μm/100mm测量力0.5mN、0.75mN、1mN、2mN、3mN（电子档位可调）粗糙度参数适用Ra测量范围Ra0.012μm~Ra12.5μm（可选更大范围）粗糙度测量参数R粗糙度：Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr,Rmax,Rpm,tp,Htp,Pc,Rda,Ry,Sm,S,Rpc,RzJ；核心粗糙度Rcore: Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo；P轮廓参数：Pa,Pq,Pt,Pz,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Pdc,Pc,PPc,Pmr,Rad,PzJ,Pmax；W波纹度轮廓参数：Wa,Wq,Wt,Wz,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdq,Wdc,Wmr,Wpc,Wc；Motif参数：R,AR,W,AW,Rx,Wx,Wte；符合标准：GB/T 3505-2009，ISO 4287:1997，ISO13565-2:1996，ASME B46.1-2002,DIN EN ISO 4287:2010，JIS B 0601:2013，JIS B 0601-1994，JIS B 0601-1982，ISO 1302:2002。滚子分析（选配）滚子凸度、位置距离、对数滚子母线、X镜像曲线重合度，分段不同公差仪器尺寸（长×宽×高）600×350×890（mm）仪器总重量110Kg恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

布鲁克 DektakXT 台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供更高的重复性和分辨率，测量重复性可以达到5。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak技术创新的顶峰，更加巩固了其行业地位。不论应用于研发还是产品测量，通过在研究工作中的广泛使用，DektakXT一定能够做到功能更强大，操作更简易，检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术突破，使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。DektakXT 完美设计 探针系统的评价体系受三个因素影响：能否重复测量，数据采集和分析速度快慢，操作的难易程度。这些因素直接影响了数据的质量和操作效率。DektakXT利用全新结构和和软件来实现可重复、时间短、易操作这三个必要因素，达到仪器使用效果。 强化操作的可重复性 Delivering Repeatable Measurements DektakXT在设计上的几个提高，使其在测量台阶高度重复性方面具有优异的表现，台阶高度重复性可以到达5?.使用single-arch结构比原先的悬臂梁设计更坚硬持久不易弯曲损坏，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。同时，Bruker还对仪器的智能化电子器件进行完善，提高其稳定性，降低温度变化对它的影响，并采用先进的数据处理器。在控制器电路中使用这些灵敏的电子元器件,会把可能引起误差的噪音降到很低，DektakXT的系统因此可以更稳定可靠的实现对高度小于10nm的台阶的扫描。Single-arch结构和智能器件的联用，大大降低了扫描台的噪音，增强了稳定性，使其成为一个极具竞争力的台阶仪（表面轮廓仪）。 提高数据采集和分析速度 SpeedingUp Collectionand Analysis 利用独特的直接扫描平台，DektakXT通过减少从得到原始数据到扣除背底噪音所需要的时间，来提高扫描效率。这一改进，大大提高了大范围扫描3D形貌或者对于表面应力长程扫描的扫描速度。在保证质量和重复性的前提下，可以将数据采集处理的速度提高40%。另外，DektakXT采用Bruker 64-Bit数据采集分析同步操作系统Vision64，它可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速度，并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描时的数据分析处理效率。Vision64还具有有效直观的用户界面，简化了实验操作设置，可以自动完成多扫描模式，使很多枯燥繁复的实验操作变得更快速简洁。 完善的操作和分析系统 PerfectingOperationand Analysis与DektakXT的创新性设计相得益彰的配置是Bruker的Vision64操作分析软件。Vision64提供了操作上实用简洁的用户界面，具备智能结构，可视化的使用流程，以及各种参数的自助设定以满足用户的各种使用要求，快速简便的实现各种类型数据的采集和分析。DektakXT 技术参数—台阶高度重复性5?—Single-arch设计大大提高了扫描稳定性—前置敏化器件，降低了噪音对测量的干扰—新的硬件配置使数据采集能力提高了40%—64-bit，这一Vision64同步数据处理软件，使数据分析速度提高了十倍。功能卓越，操作简易—直观的Vision64用户界面操作流程简便易行—针尖自动校准系统让用户更换针尖不再是难事台阶仪（表面轮廓仪）领域—布鲁克的台阶仪，体积轻巧，功能强大。—单传感器设计提供了单一平面上低作用力和宽扫描范围应用领域：MEMS、太阳能、芯片、光刻、刻蚀、镀膜、LED、微电子、触摸屏等领域。我们的部分客户名单：清华大学微电子系、清华大学微电子所、清华大学电子系等121家高校及研究所，上海神舟新能源有限公司、上海交大泰阳绿色能源有限公司、福建钧石能源有限公司等几百家工业公司。

SuperViewW广东光学3D轮廓仪表面粗糙度检测仪器基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。SuperViewW广东光学3D轮廓仪表面粗糙度检测仪器以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W1广东光学3D轮廓仪表面粗糙度检测仪器的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器SuperViewW全自动3D轮廓仪粗糙度表面形貌仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。它具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，特殊光源模式可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。SuperViewW全自动3D轮廓仪粗糙度表面形貌仪对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。应用领域SuperViewW全自动3D轮廓仪粗糙度表面形貌仪对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。