大角度闭环微型振镜

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大角度闭环微型振镜相关的厂商

  • 上海微行炉业有限公司隶属于欧州MICRO-X公司旗下,座落于中国经济、金融、贸易中心——上海。上海市嘉定区黄渡工业区曹联支路28号,紧靠312国道,沪宁高速,A5曹安路出口,交通十分便利。我公司集研发、生产、销售、服务为一体,专业生产实验用高温电炉,如:箱式炉、管式炉、井式炉、气氛炉等。公司产品广泛应用于科研单位、高等院校、工矿企业等单位及冶金、化工、航空航天、航海、核能动力、机械、电子、轻工、橡塑、医药、玻璃、陶瓷、水泥、建材等领域,并获得了广大用户的青睐与好评。上海微行炉业有限公司的电炉产品在炉温均匀性、发热元件的最佳应用、快速升温、超高温的获得等方面见长,处于国内领先水平。 上海微行炉业有限公司自2006年成立以来始终把“扩大经营规模、增加经营品种、实行品牌战略、加强企业管理”作为企业的发展目标,坚持“诚信为本,客户至上”的服务宗旨,秉承“以质量求生存,以技术求发展,以市场为向导,以客户利益为己利”的经营理念,发扬团结、合作、敬业、共享的企业精神,在专注产品开拓创新的同时,为众多高校名企提供专业的技术指导,并以优质、用心的服务赢得了他们的信赖与好评。 上海微行炉业有限公司自成立以来已拥有3000多平方米的现代化标准厂房,成套的加工设备,完善的质量检测体系;汇集了一批长期从事实验电炉生产制造和服务的技术精英,其中,本科以上学历的工程技术人员14人,技术工人30余人的精英团队,具备年产500套实验电炉的生产能力。现已和复旦大学、同济大学、交通大学、华东师范大学、广西师范学院、太原理工大学、贵州大学等各大高校以及西安航天六院、湖南闪金锡矿山、苏州AEM科技、绍兴质量监督检测院、济南金安试验设备有限责任公司、电子业巨头AET鑫永丰科技等各大企业成为长期战略合作伙伴。公司着力研究和开发更高效、节能、环保和自动化程度高的各类高温炉设备,不断探索各种新技术、开发新产品,来满足客户对高温炉的需求。 今天,微行人本着“进取、求实、严谨、高效、创新”的团队精神,一如继往的坚持精益求精,用户至上的宗旨,参与到激烈的市场竞争中来,以一流的产品质量、优惠的产品价格、令您满意的售后服务,竭诚为您提供性价比最理性的优质产品。 微行人愿同新老客户、四海知音以及各界同仁共同努力,携手发展为推动高温炉业加速发展而奋斗,与其它行业携手共创中华民族的辉煌前景!我们相信,通过我们的不断努力和追求,一定能够实现与各大高校名企的互利共赢!
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  • 上海微行机械设备有限公司隶属于欧州MICRO-X公司旗下,其主要业务为实验室设备的技术研发领域。目前在全球拥有多家分支机构,业务遍及全球数十个国家,现在员工约有近三千余人。上海微行机械设备有限公司(MICRO-X China)业务部:李先生15900822846总机:021-51061222传真:021-61198770QQ:1460088851邮箱:1460088851@qq.com官网:http://www.171717.org上海微行机械设备有限公司自2006年成立至今,已拥有3000多平方米的现代化标准厂房,成套的加工设备,完善的质量检测体系;汇集了一批长期从事实验电炉、真空炉及特种炉制造和服务的技术精英,其中,本科以上学历的工程技术人员14人,技术工人30余人的精英团队,具备年产500套实验电炉,100套真空炉的生产能力。并与上海交通大学、上海同济大学建立了长期友好的科技合作与人才培养基地。公司自成立之初,就确定了依托技术开拓市场空间的经营策略,在秉承传统工艺的基础上,不断创新、稳步发展,多年来企业获得了长足的进步与发展。如今公司已成立了二大事业部,一是实验用电炉:气氛炉、高温炉、管式炉等。二是真空炉及特种炉:真空炉及特种炉事业部主要产品为真空烧结炉、真空钼丝炉、真空碳管炉、真空热压炉、真空钨丝炉、离子烧结炉等。产品在科研单位、高等院校、工矿企业等单位及冶金、化工、航空航天、航海、核能动力、机械、电子、轻工、橡塑、医药、玻璃、陶瓷、水泥、建材等行业得以广泛应用并获得广大用户的青睐和好评。上海微行机械设备有限公司的电炉产品在炉温均匀性、发热元件的最佳应用、快速升温、超高温的获得等方面见长,处于国内领先水平。公司2008年荣获ISO9001国际质量管理体系认证,次年通过国家高新技术企业认定,所提供的产品技术先进,质量可靠,品种齐全。公司成立以来在市场上巳获得用户认可,其产品质量及服务得到用户的肯定,我们的优势不仅体现在高精度的温度控制领域,更多的是我们在真空系统,自动化控制及计算机温度分析系统有杰出的专业人才。以质量求生存,以技术求发展。不断创新,以满足客户需求!发展中的上海微行(SH MICRO-X),愿与广大客户共同进步,合作共赢!
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  • 北京青莲百奥生物科技有限公司是一家基于蛋白质组学研究的创新性、平台型CRO企业,致力于临床样本的蛋白质标志物发现和检测,聚焦于低丰度、超微量的血液、外泌体、显微切割等样品类型。全力打造新一代蛋白质组学平台,拥有独特纳米磁珠富集低丰度蛋白技术及蛋白质组学全流程全自动样本处理智能机器人及全自动大数据分析软件,不仅提供上游工具标准化解决方案,还提供临床质谱的诊疗Biomarker开发服务,从临床需求到诊疗产品落地,提供一站式闭环研发服务。 新一代蛋白质组学平台以临床问题为导向、以源头创新为核心驱动力,为诊、疗蛋白质生物标志物在临床端和药企端落地转化,提供完整的解决方案。
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大角度闭环微型振镜相关的仪器

  • RAuK20-100,是卓立汉光在RAK系列高精度旋转台基础上,新研制出的超高精度闭环电控旋转台。该转台采用进口圆光栅,可实现超高精度旋转定位。RAuK还秉承了RAK的诸多优点,采用进口交叉滚柱轴环,大幅提升了各项技术指标。 型 号RAuK20-100台面直径(mm)100主体材料合金铝传动比180:1开环分辨率 (° ,&Prime )0.00125° (4.5&Prime )闭环分辨率 (° ,&Prime )0.0005° ( 1.8&Prime )最大速度 (Deg./sec.)25重复定位精度 (° )0.0005° 径向跳动(&mu m)15轴向跳动(&mu m)15步进电机(步距角° )42(1.8° )工作电流 (A)1.7中心负载 (Kg)30圆光栅规格:解 析 度:36000PPR(Pulses Per Revolution);扫描频率:400kHz;输出信号:正弦信号1Vpp,11&mu App / RS422 方波信号输出,建议使用卓立汉光公司的MC600 型控制器,同时实现闭环信号反馈和运动控制;应用方向:金属加工设备、半导体设备、半导体设备、生物、医疗设备及各种高精度旋转要求;
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  • 闭环控制摇摆台特点&bull 紧凑的设计,外形尺⼨ : 25*25*12.5 mm&bull 超⾼ 真空 & 极低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料 纯Ti & BeCu组成,兼容 18 Tesla磁场&bull ⾼ 负载 & 摇摆半径: 200 g & 41 mm&bull ⼤ ⾏ 程 : 6.6 °&bull 闭环控制,位置传感达到分辨率 0.2 m°尺⼨ 图Goniometer25-theta闭环控制摇摆台 详细参数*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上⽆ 要求(建议低于50欧姆)可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV 版本, 默认产品 .ULT 版本, He3或稀释低温系统中使⽤ .UHV 版本, 兼容2E-11 mbar1 尺⼨ 25 × 25 mm × 12.5 mm2 重量20 g⼯ 作环境3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 真空: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材料6 主体纯Ti铍铜纯Ti铍铜7 线缆磷铜双绞线, 20cm8 插针材料Polyster (glass Þ ber Þ lled), BeCuPeek, BeCu9 插针数⽬ Drive - 2 pins, Sensor - 3 pins运动参数10 ⾏ 程~ 6.6 °11 最⼤ 速度 @300 K~ 1 °/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载200 g14 最⼤ 推⼒ 2.2 N15 摇摆半径41 mm传感器 (闭环)16 位置传感器电阻传感器17 传感器⾏ 程6.6 °18 传感器分辨率0.2 m°
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  • 压电 线性位移台— LS65x.Lab.O / .R (闭环)室温 压电运动解决⽅ 案 —“.Lab 系列“ 良好封装的位移台外形紧凑,动⼒ 性能不折扣的压电线性台;同时保证优质的价格空间。压电 线性位移台— LS65x.Lab.O / .R (闭环)产品特⾊ &bull 超安静运动, 20 kHz驱动频率&bull 65 mm × 65 mm × 12 mm极紧凑外形设计&bull 闭环控制 位置传感⽀ 持电阻型(.R) 和光学型(.O)&bull ⾼ 精度 空间传感分辨率(.O) 1 nm 、10 nm可选&bull 经济型 空间传感分辨率(.R) 100-200nm&bull 最⼩ 步伐优于 10 nm&bull 可提供多轴堆叠安装转接件&bull 控制器兼容旋转台,摇摆台&bull ⽀ 持⽆ 磁( .NM)、⾼ 真空( .HV)和超⾼ 真空 ( .UHV)选件2D 尺⼨ 图LS65x.Lab.O / .R 压电线性台 — 技术参数可选版本 ⇨ 正常版本.NM.HV.UHV.NM 绝对⽆ 磁版本;.HV, ⾼ 真空版本 .UHV ,超⾼ 真空版本;1 底⾯ 尺⼨ *⾼ 度65 × 65 mm × 12 mm2 主体材料不锈钢纯钛不锈钢不锈钢3 线缆 & 接头标准屏蔽线缆DSub9 接头kapton漆包线,PEEK-2mm插针运动参数-空间推荐安装形式 I. (下列性质均在推荐安装形式下测得)4 运动⾏ 程30 mm5 最⼤ 速度~ 20 mm/s6 最⼩ 步伐~ 10 nm7 驱动频率Max. 20 kHz (超安静运动)8 最⼤ ⽔ 平推⼒ 2 N9 保持⼒ 5 N0.3 mrad / 0.2 mrad10 全⾏ 程俯仰/偏摆运动参数-空间推荐安装形式 II. (下列性质均在推荐安装形式下测得)11最⼤ 垂直负载2 N12保持⼒ 5 N传感精度13 位置传感类型- 电阻型传感( .R )- 光栅尺传感( .O )14 位置传感量程30 mm15 位置传感分辨率- 电阻型传感( .R ), 100-200 nm- 光栅尺传感( .O ), 10 nm, 1nm可选(默认 10nm)
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大角度闭环微型振镜相关的资讯

  • 晶圆加工精度控制的关键!Yaw偏航角追踪的闭环XY方向控制
    近年来,半导体行业飞速发展,节点技术不断缩小,EUV(紫外)和电子束技术成为佳选择,对例如晶圆,光罩,光束对准,光学元件,反射镜等的纳米加工要求也逐步提升。尤其是对于想要实现纳米精度的快速和长距离运动,需要闭环运动控制的传感器,且这种传感器必须满足生产和质量保证过程的高标准(超高真空(UHV)和洁净室兼容性的要求)。而对于暴露于高温以及随着对晶圆尺寸越来越大的需求,在大行程范围内实现超高精度是非常必要和迫切的。 attocube是纳米精密应用专家,研发团队根据法布里-佩罗干涉仪原理开发的基于激光干涉的位移传感器IDS3010获得了保护[1]。IDS3010 能够实现运动控制和位移检测,具有皮米分辨率、纳米精度和高达 25 MHz 的实时数据输出。基于光纤传输的IDS3010提供了三个通道,用于测量多轴载物台位移以及确定其角度的变化。UHV兼容的微型传感器头为不同的应用案例和设备集成提供了高度的灵活性。与半导体行业中的晶圆多自由度(multiple degree of freedom,DOF)的位置控制这一典型应用契合。 图1a显示了“传统”的基于载物台控制的应用,其中移动载物台配备了两个反射镜,激光探头固定在机架上。图1b显示了另一种xy平台控制的方式,其中传感器头固定在移动载物台上,反射镜固定在框架上。可实现这种方案的原因是attocube研发的传感器头是基于光纤的,而且它们的尺寸和重量也很小(外径仅为14 mm,重量仅为7 g)。图1突出显示了IDS3010在xy方向上的控制应用,而且我们的激光干涉仪能够在各种环境和工作距离(长达5米)下工作,为其他运动控制应用提供了无限的可能性。 图 1:显示了两个 xy 方向控制应用示例:a) 安装在移动载物台上的晶圆,其中连接了反射镜。三个传感器头固定在框架上。载物台的xy运动由IDS3010控制。b)显示了另一种可能的应用,其中微型传感器头安装在移动晶圆台上,而反射镜固定在框架上。 实验装置测量设置与图1a所示的示例类似,由一个电磁驱动xy位移台组成,该电磁位移台沿x轴的行程范围为1米。在移动载物台上放置了两个高质量的平面反射镜,用作测量表面。为了控制载物台位置,我们使用了带有三个固定准直传感器头的IDS3010(型号M12 / C1.6 / wf)。 IDS3010允许通过可用的实时数据输出(正弦、AquadB、HSSL、线性模拟输出)进行即时位置反馈。这些接口为闭环定位控制系统提供实时输入。对于实验室的测试,研究者们使用具有5 MHz带宽和纳米分辨率的正余弦数据输出。由于显示的测试是在室温环境条件下执行的,因此使用环境补偿单元(ECU)来确保测量的准确性[2]。在精密半导体加工的真空条件下不需要环境补偿,也同样能保证纳米的测量精度。 两个传感器头(SH1 和 SH2)测量 yz 反射镜表面上的位移。SH1 的正余弦信号用于 x 轴的闭环控制。SH1 和 SH2 水平相距 40 mm,因此可以计算偏航旋转并将其用作4-DOF装置的实时补偿。在我们的3-DOF装置中,我们无法补偿沿x轴的偏航旋转。三个传感器头 (SH3) 控制 y 轴。传感器头通过柔性光纤连接到IDS3010的三个通道,无需额外的光学元件。在平面反射镜上进行测量时,M12/C1.6/wf 传感器头的角度公差规定为± 30 m°,距离为 1 米。这种公差仍然是用户友好的,以便对齐xy的设置,同时也保证了低余弦误差。与其他干涉仪制造商相比,这是另一个好处。重要的是,我们的测量原理使我们能够拥有不同的传感器头可供客户选择。 测量结果图2a显示了驱动器的xy位移值。先实现了30x30毫米的正方形。之后,x轴被移动到1.0米的总行程。在这一点上,重要的是SH3需要具有大约300 mm的一定偏移距离,以便SH1和SH2可以测量到1米。此主从轴关系已明确指定。Xy方向运动的相应偏航(z轴的旋转)如图2b所示。该图显示,通过移动x 轴可达 1 米。图2c显示了μ°范围内重复的角度偏差,这主要是由沿运动轴分布的电之间的距离引起的。如果电磁驱动位移台具有额外的旋转设备,则可以补偿偏航旋转。图2:a)显示了xy方向运动的位移数据。x轴以1.0米的行程移动,而y轴仅移动30毫米,并包括偏移距离。b) 描绘了 a) 中所示的 xy 方向运动的偏航(z 轴的旋转)。总偏航旋转在30m°范围内。c) 局部放大的偏航旋转在几十μ°范围内的详细角度变化情况。 结果IDS3010被证明是闭环位移台应用的有力工具。位移和角度都可以在高达25 MHz的带宽下检测到。另外,小型化多种类的传感器头为灵活集成提供了更多可能,并确保可用性和准确性的正确组合,以此应对苛刻的定位任务。此外,传感器头的轻巧性(7克)提供了新的设置可能性,可以显著减少移动质量。以太网连接和多种标准编程语言(例如C +,C#,DLL,Python和LabView)允许将IDS3010轻松集成到各种不同的应用系统中。 参考文献[1] Patent: Interferometric displacement sensor for integration into machine tools and semiconductor lithography systems US10260863B2[2] National Metrology Institute of Germany (PTB) calibration certificate Calibration mark: 54012 PTB 15 2016
  • 智慧环境|生态环境闭环场景服务平台
    美境360是聚光科技(杭州)股份有限公司子公司美境数字科技(杭州)有限公司推出的基于大脑驱动的生态环境闭环场景服务平台,面向环境监管责任部门,以云平台大数据分析与人工智能为支撑,以目标与问题为导向,以精细化的典型场景为核心,实现晾晒、留痕、PK、盯防、盘点的情景,用互联网化的信息社交途径,促进部门间的信息互通和业务协同。美境360是数据和环境管理目标之间的管道和容器,帮助用户使用自己的数据,形成自己的管理闭环,解决环保最-后一公里的问题。01面向政府数据全景服务基于全域数据积累和快速监测服务能力提升,涵盖实时监控、预警预报、精准溯源、应急响应、措施评估、科学治理等丰富的业务功能,快速响应政府全场景式数据分析场景需要。02数据分析多元化实时监控数据多种污染物的浓度水平和分布规律,通过环保云平台和大数据计算挖掘,分析区域空气污染的主要成因和来源,并为预测预警、溯源及靶向治理等环保决策提供精准的大数据支持。03精细化场景支撑搭建精细、易用执行环境,目标迭代化,网格精细化,强化过程、结果可视化和敏捷调度支撑,责任落地,彻底打通执行阻碍,提升组织效能。04满足多级多角色用户使用平台可提供满足多级(如:市、县、乡镇等各级用户)多角色(领导指挥组、监控调度组、巡查组、处置组、督察督办组、专家组)用户对空气质量监督管理的应用需求,并可根据不同用户设置相应区域/站点的权限。05界面友好、使用方便平台提供多种展示模式(看板模式、列表模式、地图模式),提供多种研判工具(污染热点区域、站点保障、特征分析、关联分析),提供多种分析报告(调度报告、例行报告、专题报告),将用户最关心的信息全方位、逐层深入展示,方便用户快速查看空气质量信息和污染特征信息。06多种终端,满足多种应用场景所需整个系统包含了微信小程序、APP、SaaS管理平台,可实现多种应用场景需要。微信小程序在传统微信群的基础上做了功能的延伸和扩展,用户将日常巡查工作、污染事件、专项行动都上报到小程序中来,系统在记录和展示工作内容的同时,跟踪污染事件的处置闭环,能将工作量按照时间、部门、区域等维度进行统计,横纵向比较每个部门的工作执行情况,还能将环保工作的业务数据和保障站点的监测数据结合起来进行大数据分析,评估环保措施的执行效果,为更精准的管控服务提供数据支撑。目标达成分析周期例行调度监测预警响应式调度日常巡查、督查绩效考核评估 FPI聚光科技深耕智慧环境领域,积极打造数据共享的资源平台,以数字化思维、方法、技术助力生态环境数字化、智能化,为促进绿色低碳发展,建设美丽中国贡献聚光力量。
  • CINOGY光束质量分析仪—角度响应校准:应用于大角度发散角的激光光束测量
    Cinogy光束质量分析仪—角度响应校准:应用于大角度发散角的激光光束测量1.1 应用范围有不同种类的应用需要考虑角度响应。这些应用大多使用(非常)发散的光束。在这种情况下,我们在一幅图像中有连续的入射角范围。照相机的灵敏度取决于激光束的入射角,这是由过滤器和传感器造成的。1.2 角度线性原因1.3过滤器这里,我们将只考虑吸收滤波器。如果光束没有垂直入射到滤光器上,则通过滤光器的路径较长。较长的路径导致较强的吸收,因此相机(滤光片和传感器)的响应较低。与过滤器相关的效果是各向同性的。但是,如果滤光器相对于传感器倾斜(取决于相机型号),则会在滤光器倾斜的方向上产生各向异性。入射角αin的线性透射可以用数学方法描述,如果透射指数为垂直光束T0和折射率n已知。因为对吸收性滤光片来说,T0与波长有很大的线性关系,与入射角度有关的相对透射率Trel也与波长密切相关。1.4 传感器角度响应取决于传感器技术、传感器类型、波长和微透镜。通常它不是各向同性的。图1:KAI-16070对单色光(未知波长)的角度线性灵敏度。参考:KAI-16070的 数据表图2 CMX4000白光的角度线性灵敏度如这些示例所示,对于不同类型的传感器,角度响应可能完全不同。因为这种效应还 取决于波长和单个传感器(每个传感器表现出稍微不同的行为),取决于波长的校准是必要的。两个传感器都显示出各向异性。为了考虑校准中的各向异性,需要比仅在x和y方向上更复杂的测量。2 涂层通过一种特殊的涂层,我们可以消除(主要是抑制)传感器本身的角度产生。剩余的影响角度的灵敏度是由滤波器引起的。这产生了以下主要优点:1)剩余的角度响应是各向同性的,这意味着它不再取决于入射角的方位角。2)剩下的角度响应的校正系数更小,因此更不容易出错。下面的图表显示了CinCam cmos Nano 1.001在940nm下的两个角度响应测量值,前面有CMV4000传感器和OD8吸收滤光片。第1张图表中的摄像机采用默认设置,没有特殊涂层。图3:CMV 4000传感器在x(蓝色)和y(橙色)方向的角度响应,前面有OD8吸收滤光片,在940nm处测量。上半部分显示相对角度响应,下半部分显示测量点和蕞佳拟合曲线之间的相对偏差。第二张图中的相机是用特殊涂层制作的。图4:CMV 4000传感器在x(蓝色)和y(橙色)方向的角度响应,该传感器具有特殊涂层,前面有OD8吸收滤光片,在940纳米处测量。上半部分显示相对角度响应,下半部分显示测量点和蕞佳拟合曲线之间的相对偏差。这里,角度响应是各向同性的、平滑的,对于大角度,下降效应不太明显。CinCam CMOS Nano Plus-X针对传感器和外壳正面之间的极短距离进行了优化。这使得入射角度高达65°时的角度响应测量成为可能。3 角度响应的拟合函数拟合函数是Zernike2多项式,其中入射角的正弦用于半径。这些多项式为入射角的任意方向提供了x和y方向的简单插值。用这种方法,我们可以用少量的系数描述高达±60度的测量结果。4 均匀性由于生产原因,涂层并不在任何地方都具有完全相同的厚度。这导致照相机灵敏度的不均匀性增加。这个缺点通过进一步的均匀性校准来补偿。图5:940纳米无涂层传感器(紫色)和均匀性校准后(绿色)的相对灵敏度。5 精度整体精度取决于以下几点:1)拟合精度。2)角度响应的各向同性。3)垂直光束位置(x,y)的精度。4)顶点到传感器的光学距离的精度(z)。5)蕞大角度下的角度响应下降。通过特殊的涂层,我们可以提高拟合精度和角响应的各向同性。此外,大角度灵敏度的相对下降要弱得多。6 RayCi中的校正要求为了根据角度响应校正图像数据,必须满足以下要求:1)角度响应校准数据必须可用于每个波长。该数据由蕞佳拟合的Zernike多项式系数组成。2)为了生成从每个像素到相应入射角的映射,必须知道光束垂直的x和y传感器位置。3)需要传感器和激光焦点位置之间的光学距离。4)CINOGY Technologies提供外壳和传感器之间的光学距离作为额外的校准数据。5)外壳和焦点之间的距离必须由用户提供。6)软件版本必须是RayCi 2.5.7或更高版本。 昊量光电提供的德国Cinogy公司生产的大口径光束分析仪,相机采用CMOS传感器,其中大口径的CMOS相机可达30mm,像素达到惊人的19Mpixel。是各种大光斑激光器、线形激光器光束、发散角较大的远场激光测量的必不可少的工具。此外CinCam大口径光束分析仪通用的C/F-Mount 接口设计,使外加衰减片、扩束镜、紫外转换装置、红外转换装置更为方便。超过24mm通光孔径的大口径光束分析仪CinCam CMOS-3501和CinCam CMOS-3502更是标配功能齐全的RayCi-Standard/Pro分析软件,该软件可用于光束实时监测 、测量激光光斑尺寸 、质心位置、椭圆度、相对功率测量(归一化数据)、二维/三维能量分布(光强分布) 、光束指向稳定性(质心抖动) 、功率稳定性 (绘制功率波动曲线)、发散角测量等 ,支持测量数据导出 ,测试报告PDF格式文档导出等。主要特点: 1、芯片尺寸大,可达36mm 2、精度高,单像元尺寸可达4.6um 3、支持C/C++, C#, Labview, Java语言等多种语言二次开发主要技术指标:RT option: CMOS/ccd-xxx-RT:响应波长范围:320~1150nmUV option:CMOS/CCD-xxx-UV:响应波长范围:150nm~1150nmCMOS/CCD-xxx-OM:响应波长范围:240nm~1150nmIR option:CMOS-xxx-IR:响应波长范围:400~1150nm + 1470nm~1605nm 关于昊量光电昊量光电 您的光电超市!上海昊量光电设备有限公司致力于引进国外先进性与创新性的光电技术与可靠产品!与来自美国、欧洲、日本等众多知名光电产品制造商建立了紧密的合作关系。代理品牌均处于相关领域的发展前沿,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等,所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及前沿的细分市场比如为量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等。我们的技术支持团队可以为国内前沿科研与工业领域提供完整的设备安装,培训,硬件开发,软件开发,系统集成等优质服务,助力中国智造与中国创造! 为客户提供适合的产品和提供完善的服务是我们始终秉承的理念!

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  • 高速电主轴冷却系统中的电控针阀流量闭环控制解决方案

    高速电主轴冷却系统中的电控针阀流量闭环控制解决方案

    [b][color=#990000][size=16px]摘要:为解决电主轴热误差影响大以及预热和冷却响应速度慢的问题,本文基于改变冷却介质热容可调节散热量的原理,提出了高速和高精度冷却液流量调节的闭环控制解决方案。解决方案中的反馈式闭环控制系统主要包括非接触式位移传感器、高速电控针阀和高精度[/size][size=16px]PID[/size][size=16px]控制器,通过高速和高精度电控针阀对冷却介质流量进行实施调节,可快速改变作用在主轴上的散热量,使主轴轴向热变形快速达到最小值并始终保持稳定状态。[/size][/color][/b][align=center][size=16px][img=高速电主轴冷却系统中的电控针阀流量闭环控制解决方案,600,392]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/07/202307060506528065_863_3221506_3.jpg!w690x451.jpg[/img][/size][/align][size=18px][color=#990000][b]1. 问题的提出[/b][/color][/size][size=16px] 对于高速数控机床而言,热误差是机床最主要误差,而电主轴则是热误差的主要误差源之一。为有效降低电主轴发热的影响,研究工作主要集中在电主轴冷却结构和冷却控制方面,但仍存在以下两方面的技术难点需要攻克:[/size][size=16px] (1)冷却效果差:还需根据电主轴内部温度场的分布进行冷却结构设计以及差异化冷却。[/size][size=16px] (2)响应速度慢:缺乏主动热误差控制技术手段,需实现电主轴温度的自动闭环控制。[/size][size=16px] 目前国际上电主轴热误差控制的最高水平是瑞士FISCHER公司的电主轴及其主动式冷却技术,其关键是将冷却回路集成在主轴中而大幅降低了热误差,使轴向膨胀减少了70%。特别是响应速度极快,预热和冷却时间大幅减少,等待时间缩短五倍。其热误差控制效果如图1所示。[/size][align=center][size=16px][color=#990000][b][img=01.瑞士FISCHER公司电主轴冷却效果示意图,650,288]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/07/202307060509497004_7930_3221506_3.jpg!w690x306.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#990000][b]图1 瑞士FISCHER公司电主轴冷却效果示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 为解决国内电主轴热误差影响大以及预热和冷却响应速度慢的问题,本文基于改变冷却介质热容以调节散热的原理,提出了高速和高精度冷却液流量调节的闭环控制解决方案。[/size][size=18px][color=#990000][b]2. 解决方案[/b][/color][/size][size=16px] 在电主轴冷却过程中,除了需要电主轴具有合理的冷却结构之外,还要求能将主轴所产生的热量及时带走,并使主轴受热引起的膨胀量快速达到最小值且保持恒定。[/size][size=16px] 针对国内电主轴冷却响应速度慢的问题,本文的解决方案是基于改变冷却介质热容的原理,即改变冷却介质流量来改变冷却介质热容,这意味着快速改变了作用在主轴上冷却量,由此来主动调节主轴温度并快速达到稳定。解决方案的实施采用闭环控制系统,闭环控制系统包括检测电主轴热膨胀位移量的非接触位移探测器、接收主轴热膨胀变形信号的高精度PID控制、受PID控制器驱动并对恒温冷却介质流量进行高速精密调节的电子针阀,此闭环控制系统结构如图2所示。[/size][align=center][size=16px][color=#990000][b][img=02.电主轴主动冷却闭环控制系统结构示意图,500,287]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/07/202307060510119009_2558_3221506_3.jpg!w690x397.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#990000][b]图2 电主轴主动冷却闭环控制系统结构示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 在此解决方案中,闭环控制系统中每一个部件的精度和响应速度等技术指标都会影响到电主轴最终热误差的控制精度。[/size][size=16px] 对于非接触位移探测器而言,需要具有几个微米的测量精度和一秒量级的响应速度,对于高速高精度机场的电主轴则可能需要更高位移测量精度和响应速度。位移探测器一般选择激光式或电容式位移传感器。[/size][size=16px] 对于冷却介质流量的调节,需根据电主轴规格、发热量和冷却介质最大输出流量选择相应流量调节范围的电控针阀,但无论流量调节是什么范围,都要求电控针阀具有小于一秒的响应速度,并具有很好的线性度,为此在本解决方案中选择采用了NCNV系列电动针阀,可直接采用模拟信号0~10V进行控制,响应速度800ms,线性度0.1~11%,孔径范围为0.95~6.7mm,液体水的最大流量范围是0.94~62.4L/min,流量调节分辨率为0.1~2L/min,完全可以满足各种规格电主轴的快速冷却调节。[/size][size=16px] 对于PID控制器,解决方案选择了VPC2021系列超高精度PID控制器,此PID控制器具有24位AD、16位DA和0.01%最小输出百分比,可充分发挥位移探测器和电控针阀的高精度优势。同时此系列PID控制器还具有独立双通道控制、PID自整定、RS485通讯接口、串行控制和计算机软件等高级功能,可对两个冷却回路进行同时控制,便于进行调试以及后续的上位机通讯。[/size][size=18px][color=#990000][b]3. 总结[/b][/color][/size][size=16px] 综上所述,通过此解决方案所使用的直接冷却流量调节的闭环控制系统,结合合理的冷却结构设计,可大幅度减少电主轴的轴向膨胀,使预热和冷却速度更快,可大幅缩短等待时间。更重要的是采用了闭环控制方式,使电主轴始终处于稳定的热条件下,保证了加工精度的重复性,使得废品率更低。另外这种主动式冷却方案可有效散发主轴中产生的热量,提高了电机过载能力。[/size][size=16px][/size][align=center][size=16px][b][color=#990000]~~~~~~~~~~~~~~~~~[/color][/b][/size][/align]

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    微型两通用压环(压环包装均为10个/包)有关微型两通的信息请点击此链接。内径100%石墨15%石墨/85%Vespel® SilTite&trade 金属0.05 &ndash 0.1mm&minus 072695&minus 0.1 &ndash 0.25mm&minus 072696&minus 0.25mm&minus &minus 0734700.32mm0726300726970734710.53mm0726290726980734721/32"&minus &minus 0734731/16"孔&minus 072693&minus 空白的(无孔)&minus 072694&minus
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