衬底温度速率测量仪

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衬底温度速率测量仪相关的厂商

  • 东莞市正盛测量仪器有限公司位于模具制造之都广东东莞长安。公司主要专营德国ITP测针 精密测量仪器及配件,机床设备及配件,电子产品及配件,仪器耗材等产品,致力于为客户提供测量仪器方便专业的咨询,力求成为客户可信赖的伙伴。
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  • 昆山赛万腾测量仪器有限公司是一家从事三坐标测量机、影像测量仪生产及销售的资深企业,行业经验30年,市场遍布全球。 团队主要成员涉足计量行业二十余年,同中国三坐标测量行业一起成长,经过多年的不懈努力积累了丰富的行业经验,依托科学严谨的管理体系,配备完善的生产手段和检测条件,测量仪器在出厂前都经过了严格的循环检测以确保每一台仪器应用稳定。可广泛应用于航空航天、国防军工、模具制造、电子、塑胶、精密零部件加工、汽车及零配件生产等行业。 公司十分注重科技创新和新产品研发,根据国际市场发展趋势研发的各类新产品,始终领先于同行业的同类产品。公司自创立之日起即与德国专业公司进行设计、品质管理、生产、人才培训等方面的密切合作,为公司长远的发展奠定了坚实的基础。 赛万腾决心在任何情况下都只生产和销售高品质、性能卓越的测量仪器。
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  • 东莞忠仪测量仪器有限公司是一家集自主研发,代理销售,技术培训,信息咨询及维修服务於一体的高科技企业。公司与多家零售商和代理商建立了长期稳定的合作关系。為国内的生產加工企业和厂家提供质量可靠的各类仪器设备和专业维修服务,自成立以来凭著良好的信誉、优良的產品品质、热情周到的售后服务赢得了广泛客户的信赖与支持。经长期努力以来,公司集累了一批具有良好素质和专业技术丰富的维修及销售工程师,能及时為您提供最优惠快捷的专业服务。公司主要经营项目如下:1.日本东京光电子(TOE)激光镭射测径仪。2.日本尼康(Nikon)工业测量仪器:投影仪、工具显微镜、工业自动影像仪、高度计,3.日本三丰(Mitutoyo)系列:三坐标、投影仪、工具显微镜、表面粗糙度仪、真圆度测定机、轮廓度测量仪,三丰镭射测定机系列,。4.日本三丰(Mitutoyo)小量具系列:表盘、数显及游标卡尺、分厘卡、厚薄计、杠桿量表、深度规、高度规、高度仪、伸缩规、形状类测针等。5.日本东京精密(ACCRETECH)表面粗糙度仪、真圆度测定机、轮廓度测量仪、形状类测针等。6.瑞士(Trimos)/(TESR)系列各类精密量具,一维/二维精密测高仪,精密长度测长仪. 三维三坐标测量仪,投影仪等等及其它种类精密量测仪器。7.日本AIKOR数显推拉力计系列、手动荷重仪系列(HF-2S)、自动曲线荷重仪系列(1305VR)、硬度计系列的销售和维修、荷重元换新及维修。8.万濠(Rational)万濠投影机、万濠影像量测仪、金像显微镜。9.专业研发量具数据采集管理软件。10.各类进口/国产仪器升级,年度保养,专业维修服务。 本公司销售仪器广泛应用於电子、航空、五金、塑胶、橡胶、模具、硅橡胶按键、油墨涂料等行业,我们不但為客户提供优质的仪器设备,还将通过做好从销售到售后服务的每一个环节来让客户感受到我们细致入微的服务。 公司宗旨:诚信 协作 务实 迅速.
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衬底温度速率测量仪相关的仪器

  • 仪器简介:赛默飞世尔科技 Temp 16 RTD温度测量仪在较宽温度范围内提供快速、可靠、高精度的温度测量。坚固耐用,操作方便。Temp 16 带有双行背光显示大屏幕,读数清晰、准确,且具有最小/最大温度显示,即使在黑暗条件下也操作方便。 稳定、可靠、重复性高,宽范围的温度测量。技术参数:测量范围 -200.0 - 850.0 ℃ (-392 - 1562 ° F) 分辨率 -200.0~850.0 ℃: 0.1 º C -392.0~999.9℉: 0.1℉ 1000~1562 º F: 1℉ 精度 --200.0~ -100.0 ℃ (-392 ~-148 ℉):± 2.0 º ℃ (± 4.0 ℉) -99.9~199.9 ℃ (-148 ~392 ℉):± 0.2 ℃ (± 0.4℉) 200.0~850.0℃ (392~1562 ℉): ± 2.0℃ (± 4.0 ℉) LCD 58x40 mm 带背光显示 最小/最大值显示 有 自动关机 17.5分钟(可选) 锁定功能 有 稳定提示 有 输入 单通道(3针圆形接口 (switchcraft TA3F)) 电源需求 3节&lsquo AA&rsquo 1.5 V碱性电池;750小时(不带背光) 储存 -40℃~65℃ (-40℉~149℉);10 %~90 % (无冷凝) 尺寸和重量 175 x 97 x 42 mm (长× 宽× 高), 267 g (不带外壳) 180 x 102 x 52 mm (长× 宽× 高), 362 g (带外壳) 防护等级 IEC-529 IP54 防尘防水 CE认证 EN61326-1/A1: 1998 (EU EMC Directive)主要特点:赛默飞世尔科技 Temp 16 RTD温度测量仪在较宽温度范围内提供快速、可靠、高精度的温度测量。坚固耐用,操作方便。Temp 16 带有双行背光显示大屏幕,读数清晰、准确,且具有最小/最大温度显示,即使在黑暗条件下也操作方便。 稳定、可靠、重复性高,宽范围的温度测量。 使用方便 &bull 自动校正 &ndash 将电极放入冰水中,按 &lsquo CAL&rsquo 键校正 &bull 按键显示最小/最大温度读数 &ndash 双行显示当前读数和最小/最大读数 &bull 大屏幕显示,方便读数 用途广泛 &bull 精确测量范围达-200.0 至 850.0℃ (-392.0 ~1562 ℉) &bull 可选各类 RTD电极 &bull 3种免提方法* &ndash 用带子悬挂,用磁铁吸附在金属表面,或放置于桌面 坚固耐用 &bull IP54 防尘防水等级,密封键盘,ABS 塑料壳体 &bull 橡胶保护套,带支架,可作台式仪表使用 应用领域 &bull 化学品 &bull 制造业 &bull 食品和饮料 &bull 工业和汽车
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  • 仪器简介:Temp 360测量范围广,读数快,测量结果精确可靠,且可储存高达2000组数据,自动数据储存间隔可设置为1秒到60分钟,或手动按键储存。数据传输方便&ndash 测量仪带有 USB 接口,可方便地连接电脑,进行数据处理。 Temp 360 坚固耐用,操作简单,大屏幕双行背光显示,在黑暗环境中也可清晰读数。 测量范围广,结果稳定、可靠、重复性好,且带有实时数据储存!技术参数:测量范围 -201℃ - 1210℃ (-330℉ - 2210℉) 分辨率 -330 - -100℃/℉:0.1 ℃/℉; -99.99 - 99.9 ℃/℉: 0.01℃/℉; 100-999.9℃/℉:0.1 ℃/℉ 高于1000℃:1℃/℉ 精度 -330 - -100℃/℉:± 0.1 ℃/± 0.2℉; -99.99 - 99.9 ℃/℉:± 0.03℃/± 0.06℉; 100-999.9℃/℉:± 0.1 ℃/± 0.2℉ 高于1000℃:± 1℃/± 2℉ LCD 58 x 40 mm,带背光 数据储存 2000组 自动数据储存间隔 1秒-60分钟 最大/最小读数 有 自动关机 17.5分钟(可选) 数据锁定功能 有 稳定提示 有 输入 3针 DIN 接口 储存 -40℃ - 65℃(-40℉ - 149℉);10% - 90% (无冷凝) 电源 3 &lsquo AA&rsquo 1.5 V; 750小时(不开背光) 尺寸和重量 175 x 97 x 42 mm (长× 宽× 高),267 g (无包装); 180 x 102 x 52 mm (长× 宽× 高), 362 g (带包装) 接口防护等级 (带电极) IEC-529 IP54 防尘防水 CE认证 EN61326-1/A1: 1998 (EU EMC Directive)主要特点: Temp 360测量范围广,读数快,测量结果精确可靠,且可储存高达2000组数据,自动数据储存间隔可设置为1秒到60分钟,或手动按键储存。数据传输方便&ndash 测量仪带有 USB 接口,可方便地连接电脑,进行数据处理。 Temp 360 坚固耐用,操作简单,大屏幕双行背光显示,在黑暗环境中也可清晰读数。 测量范围广,结果稳定、可靠、重复性好,且带有实时数据储存!使用方便 &bull 校正简单 &ndash 选择单点或两点校正 &bull 单键实现最大、最小和微分温度测量 &bull 大屏幕,显示清晰 功能强大 &bull 3种免提方法* &ndash 用带子悬挂仪表, 将仪表吸在金属表面,或直接放置在桌面上 坚固耐用 &bull IP54 放溅密封键盘和ABS塑料壳体 &bull 橡胶保护套带支架,可作台式仪表使用 应用领域 &bull 工业和汽车 &bull 制造业 &bull 化学 &bull 食品和饮料
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  • AccuTemp(In-Situ 4000)工艺监控仪可以闭环监控与控制多层薄膜生长。用于MBE、MOCVD以及CIGS等系统中。AccuTemp提供实时、准确的工艺信息,包括衬底温度、薄膜厚度、生长速率。该仪器放置在一个观察窗上。采用双色红外高温测量仪测量温度,该测量仪对观察窗口的附着物不敏感,还可以校准误差。另一部件辐射仪,用来补偿发射率的变化,纠正高温测量仪的温度测量值。Bandgap模块可选,它可以监控很低的衬底温度,还可以进行高温测量仪的简单校准。两个独立的光学反射信号用于分析并实时提供厚度、生长速率及折射系数。 典型应用AccuTemp典型应用于 GaN,GaAs,ZnO,CIGS,Si, ZnTe,SiC,MCT以及STO。AccuTemp 既可用于研究型设备也可用于生产型设备。Bandgap模块可以使IS4K测量低于高温计范围的材料温度,例如在生长GaAs、GaSb及Si材料时可以使用。 特点● 一个窗口就可以同时、实时测量温度和厚度● 采用双波长用于穿过窗口涂层,进行透明度补偿● 采用发射率补偿,提供真实温度● 闭环控制● Bandgap模块用于低温测量和校准高温仪温度范围 450oC - 1,300oC Bandgap模块 室温 - 700oC 衬底材料 Si, GaAs, InP, 蓝宝石,STO,Gasb,MCT等 辐射仪波长 950,850nm噪声等效温差 0.5oC 反射仪波长 950,470nm 噪音等效厚度差1nm @ film100nm靶距离范围7mmΦ 测量斑点大小 1KW-5KW观察窗2.75' ' CF(4.5' ' CF如果带边)尺寸100×140×130mm对正方法 视频监控器计算机要求Windows XP, 序列端口界面
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衬底温度速率测量仪相关的资讯

  • 高动态角速率测量仪研制
    table border="1" cellspacing="0" cellpadding="0"tbodytrtd width="91"p style="line-height: 1.75em "成果名称/p/tdtd width="530" colspan="3" style="word-break: break-all "p style="text-align: center line-height: 1.75em "strong高动态角速率测量仪 /strong/p/td/trtrtd width="100"p style="line-height: 1.75em "单位名称/p/tdtd width="530" colspan="3"p style="line-height: 1.75em "高动态导航技术北京市重点实验室/p/td/trtrtd width="100"p style="line-height: 1.75em "联系人/p/tdtd width="162"p style="line-height: 1.75em "付国栋/p/tdtd width="161"p style="line-height: 1.75em "联系邮箱/p/tdtd width="187"p style="line-height: 1.75em "fuguodd@163.com/p/td/trtrtd width="100"p style="line-height: 1.75em "成果成熟度/p/tdtd width="527" colspan="3"p style="line-height: 1.75em "□正在研发 □已有样机 □通过小试 □通过中试 √可以量产/p/td/trtrtd width="100"p style="line-height: 1.75em "合作方式/p/tdtd width="527" colspan="3"p style="line-height: 1.75em "√技术转让 √技术入股 √合作开发 □其他/p/td/trtrtd width="648" colspan="4" style="word-break: break-all "p style="line-height: 1.75em "strong成果简介: /strong /pp style="text-align:center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201604/insimg/8c56e480-1306-43a5-919d-a9f238e912f4.jpg" title="QQ图片20160415140809.jpg"//pp style="line-height: 1.75em " 在灾难救援、消防安全、应急预警、国防等领域,载体运动过程伴随着大过载、高速、高旋等恶劣环境条件约束,现有各类陀螺无法满足 10000g过载、 10r/s转速条件下的角速率实时精准直接测量需求。本成果针对上述迫切需求,重点突破传统角速率检测仪难以适应11000g以上过载、高速滚转和高速度扰动环境下交叉耦合难以抑制、全温度段陀螺零偏和标度因数不稳定的技术瓶颈,实现一种新型角速率检测仪,在全温度(-45~+55℃)工作条件下,能够适应大于11000g过载冲击和大于800m/s线速度扰动复杂应用环境、具有大于3600& #176 /s滚转速率测量范围且耦合系数小于0.1%,随机漂移优于8& #176 /h,全温度段零位偏差优于0.6& #176 /s,标度因数综合误差优于0.1%,具备成果推广与产业化条件。/p/td/trtrtd width="648" colspan="4" style="word-break: break-all "p style="line-height: 1.75em "strong应用前景: /strongbr/ 成果在该产品在灾难救援、消防安全、矿山开采预警、水坝山体滑坡预警、国防等领域等领域有广泛应用前景。 br/ 预计国内市场年需求量在8000~10000台,市场规模约5亿元。/p/td/trtrtd width="648" colspan="4" style="word-break: break-all "p style="line-height: 1.75em "strong知识产权及项目获奖情况: /strongbr/ 获奖情况:北京市科学技术奖三等奖1项,吴文俊人工智能科学技术进步二等奖1项。 br/ 授权发明专利6项,受理发明专利2项,主要专利: br/ (1)专利名称:钟形振子式角速率陀螺振子结构设计方法(专利号:ZL201110117526.4)/p/td/tr/tbody/tablepbr//p
  • 申贝发布环境氡测量仪新品
    环境氡测量仪PRn700仪器符合新标准GB 50325-2020《民用建筑工程室内环境污染控制标准》少量抽气—静电收集-射线探测器法GB/T 14582-93《环境空气中氡的标准测量方法》 T/CECS 569-2019《建筑室内空气中氡检测方法标准》的测量原理和要求。环境氡测量仪PRn700采用泵吸-静电收集-半导体传感器-α能谱分析法氡测量仪。基于Android4.4系统全触控操作,用于空气、土壤、氡析出率等氡活度定量测量。应用领域环境空气、土壤、水等氡体积活度及土壤、建材等表面氡析出率的测量。可用于环境监测、地质找矿、辐射防护、核事故监测、辐射剂量评价、地震预报及教学等。仪器特点精致、轻巧 、便携: 外型尺寸(275x220x167)mm,重量2.5kg。先进、准确、可靠:PRn700环境氡测量仪为静电收集-半导体传感器-α能谱分析法氡测量仪。通过泵吸将被测量气体(空气)吸入静电收集室内,在静电收集室内通过高压电场将222Rn的一代衰变产物RaA(218Po)吸附于半导体α射线传感器的表面(阴极),通过能谱分析,测量RaA的α粒子线计数率,定量测量222Rn的体积活度。采用用222Rn的短半衰期子体(218Po半衰期为3分钟)的α粒子的能谱测量,可能有效解决土壤氡测量过程中钍射气干扰,同时,由于被测量的子体半衰期短,在进行高活度(例如土壤氡)测量时,探测器能的较短时间内(典型条件下小于30分钟)恢复到低本底状态。内置气候传感器,可精确测量静电室内气体温度、温度、大气压强,用于指示干燥器状态,气体体积修正及温度-吸附率修正。智能、易用:PRn700环境氡测量仪采用基于ARM处理器与Android4.4系统的智能触控平台完成数据获取、处理、显示打印等,这使得PRn700系列智能环境氡测量仪具有图像、声音、有线\无线网络、触控感应等多种直观友好的人机交互模式。基于ARM处理器与Android4.4操作系统构成的计算机平台拥有强大的数据处理能力,WIFI、蓝牙、USB(HOST\DEVICE模式)、RJ45、RS232等丰富的数据连接模式,支持用户更新软件。智能背光、无任务自动关机、关键操作确认等符合主流智能触控设备操作模式的软件设计,产品易操控,使用者经过短时简单的摸索即可正确操作作用本设备。手持式蓝牙打印机,自粘贴式报告标签。一键打印,一撕一粘即可完成数据的保存 。主机即可为打印机提供充电服务,免去野外打印机无处充电的尴尬!配套、功能齐全配备有各种专业附件,用于土壤、建材、水等氡活度测量。成熟可靠的技术方案、高度集成化的平台、成熟的软件环境,因此、设备结构紧凑性能更可靠。技术指标1. 静电室:容积700ml,静电场高压2500~3000V 2. 探测器:半导体平面硅探测器,有效探测器面积572mm2;α粒子能量测量范围为0~10(MeV),能量分辨率37KeV(FWHM);3. 本底计数率:≤0.01cpm ;4. 探测灵敏度:0.2 cpm /pCi/L;5. 探测下限:≤3.7Bq/m3;6. 测量范围:0.1~25000pCi/L (3.7Bq/m3~925000Bq/m3);7. 测量不确定度:≤10%(k = 2); 测量范围:空气氡: (3.7~10000)Bq/ m3;土壤氡: (300~300000)Bq/ m3;水中氡: (0.003~100.00)Bq/L;氡析出率:(0.001~10.000)Bq/[m2• s] ;8. 体积活度响应年偏移量:≤±20%;9. 相对固有误差:≤±20%;10. 电 源:锂离子充电池:11.1V、5400mA/h。充电器输入:AC(110~240)V、输出:12.6V/2A; 11. 工作环境温度:(5~40)℃ 湿度:≤90%RH;12. 显 示 器:5.5寸5点电容触控液晶显示屏; 13. 取气方式:主动泵吸式 ,泵气速率:2L/min(无真空负载);14. 测量时间(典型条件下):空 气 氡:120min 、土 壤 氡:17min 、氡析出率:300 min (不含集气收集时间);15. 尺 寸: (330 × 210 × 170)mm ;16. 重 量:2.5 ㎏(含设备防护箱、过滤器、充电器);17.气候传感器:温度:测量范围(0~50℃) ,精度±0.5℃;压力:测量范围(300~1100) hPa ,精度±1.0 hPa;湿度:测量范围(0~100)%RH ,精度±3 %RH。注:上述参数仅为一般性参数,具体到某一台设备时可能会有特殊要求,请以合同或招投标文件表述为准。仪器配置1.PRn700系列智能环境氡测量仪主机一台;2.管道式干燥器一只;3.充电器一只;4.过虑器一只; 5.蓝牙热敏打印机一台(选配);6.土壤聚气钎杆一套(打孔取气各一根)(选配);7.氡析出率测量附件一套(选配);8.水中氡测量附件一套(选配);9.仪器校准证书一份;10.检验合格证一份;11.用户使用手册一份;注:上述配置为常规配置,仅供参考。根据用户需求不同配置也会不同,实际请以销售合同或投标文件为准。创新点:仪器符合:新标准:GB 50325-2020《民用建筑工程室内环境污染控制标准》T/CECS 569-2019《建筑室内空气中氡检测方法标准》的测量原理和要求。创新点:采用用222Rn的短半衰期子体(218Po半衰期为3分钟)的α 粒子的能谱测量,可能有效解决土壤氡测量过程中钍射气干扰,同时,由于被测量的子体半衰期短,在进行高活度(例如土壤氡)测量时,探测器能的较短时间内(典型条件下小于30分钟)恢复到低本底状态。环境氡测量仪
  • 新美光“衬底加热体组件及化学气相沉积设备”专利公布
    天眼查显示,新美光(苏州)半导体科技有限公司“衬底加热体组件及化学气相沉积设备”专利公布,申请公布日为2024年7月23日,申请公布号为CN118374794A。背景技术以常见的碳化硅部件-等离子刻蚀环为例,目前较为普遍的等离子刻蚀环生长、加工工艺为:将环状石墨衬底以多片层叠方式安装在化学气相沉积炉内,采用石墨电极进行电阻加热将炉内加热至碳化硅材料生长温度,持续向炉内通入前驱体和载气,前驱体在高温下热解反应出碳/硅原子并在石墨衬底上反应沉积得到碳化硅材料,最终通过微纳加工获得满足使用要求的等离子体刻蚀环。整个工艺过程中,因衬底表面为直接发生碳/硅原子反应沉积的位置,最终决定材料的均一性和碳化硅晶体品质,衬底沉积表面流场均匀性及温度均匀性比较关键。但在上述工艺中存在以下客观缺点:1、石墨衬底置于碳化硅生长炉内加热时,因衬底径向外侧在空间上更加接近石墨加热器,故客观的会接收更多的热辐射而导致衬底径向外侧的温度高于内侧;同样的,石墨衬底的外侧因离进气口比较近,前驱体热解出的碳/硅原子基团会持续优先在衬底外侧的表面沉积,最终会影响碳化硅材料在石墨衬底径向上生长的均匀性;石墨衬底的外侧表面因为较内侧有更高的温度和更高浓度的碳/硅原子基团,石墨衬底的外侧碳化硅沉积材料一般厚度较大且表面平整性差,对于碳化硅零部件后续的加工也造成了时间的浪费和成本的提高。2、石墨衬底常用的固定方式为采用石墨顶针在衬底底面进行支撑,该方案因石墨顶针会直接接触到衬底表面,故被石墨顶针接触到的衬底表面区域碳化硅材料生长过程必然会受到影响,相应区域的沉积材料无法加工成产品使用,故在加工过程中一般采取将受影响区域进行切割废弃的措施,增加了加工时间和成本。3、层叠多片式的碳化硅部件材料生长设备,腔体内部的流场无法实现完全的均匀性,主要表现在离进气口近、排气口远的材料生长速率高,反之生长速率低,最终导致同一批次的材料厚度均一性差。发明内容本发明涉及一种衬底加热体组件及化学气相沉积设备,其中提供了一种衬底加热体组件,包括衬底和加热体,衬底包括第一表面、第二表面和中空区,第一表面和第二表面均用于供反应气体沉积,中空区位于第一表面和第二表面之间;加热体位于中空区内,用于产生热量以至少加热第一表面和第二表面。本发明的衬底设计为内部中空的结构,第一表面及第二表面均为衬底靠近中空区部分的外表面,位于中空区的加热体对衬底的第一表面和第二表面沿径向的各个位置的加热效果相对较为平均,不容易产生沉积的产品厚度差异过大的问题,一定程度上提高了衬底上沉积材料的厚度均一性及组织性能均匀性。

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  • 【资料】温度测量仪

    温度测量仪表是测量物体冷热程度的工业自动化仪表。最早的温度测量仪表,是意大利人伽利略于1592年创造的。它是一个带细长颈的大玻璃泡,倒置在一个盛有葡萄酒的容器中,从其中抽出一部分空气,酒面就上升到细颈内。当外界温度改变时,细颈内的酒面因玻璃泡内的空气热胀冷缩而随之升降,因而酒面的高低就可以表示温度的高低,实际上这是一个没有刻度的指示器。1709年,德国的华伦海特于荷兰首次创立温标,随后他又经过多年的分度研究,到1714年制成了以水的冰点为32度、沸点为212度、中间分为180度的水银温度计,即至今仍沿用的华氏温度计。1742年,瑞典的摄尔西乌斯制成另一种水银温度计,它以水的冰点为100度、沸点作为 0度。到1745年,瑞典的林奈将这两个固定点颠倒过来,这种温度计就是至今仍沿用的摄氏温度计。早在1735年,就有人尝试利用金属棒受热膨胀的原理,制造温度计,到18世纪末,出现了双金属温度计;1802年,查理斯定律确立之后,气体温度计也随之得到改进和发展,其精确度和测温范围都超过了水银温度计。1821年,德国的塞贝克发现热电效应;同年,英国的戴维发现金属电阻随温度变化的规律,这以后就出现了热电偶温度计和热电阻温度计。1876年,德国的西门子制造出第一支铂电阻温度计。很早以前,人们在烧窑和冶锻时,通常是凭借火焰和被加热物体的颜色来判断温度的高低。据记载,1780年韦奇伍德根据瓷珠在高温下颜色的变化,来识别烧制陶瓷的温度,后来又有人根据陶土制的熔锥在高温下弯曲变形的程度,来识别温度。辐射温度计和光学高温计是20世纪初,维思定律和普朗克定律出现以后,才真正得到实用。从60年代开始,由于红外技术和电子技术的发展,出现了利用各种新型光敏或热敏检测元件的辐射温度计(包括红外辐射温度计),从而扩大了它的应用领域。各种温度计产生的同时就规定了各自的分度方法,也就出现了各种温标,如原始的摄氏温标、华氏温标、气体温度计温标和铂电阻温标等 。为了统一温度的量值,以达到国际通用的目的,国际权度局最早规定以玻璃水银温度计为基准仪表,统一用摄氏温标。后经数次改革,到1927年改用以热力学温度为基础、以纯物质的相变点为定义固定点的国际温标 ,以后又经多次修改完善。国际现代通用的温标是1967年第13次国际权度大会通过的 ,1968年国际实用温标。它以13个纯物质的相变点,如氢三相点,即氢的固、液、气三态共存点(-259.34℃);水三相点(0.01℃)和金凝固点(1064.43℃)等,作为定义固定点来复现热力学温度的。中间插值在-259.34~630.74℃之间 ,用基准铂电阻;在630.74~1064.43℃之间,用基准铂铑-铂热电偶;在1064.43℃以上用普朗克公式复现。一般的温度测量仪表都有检测和显示两个部分。在简单的温度测量仪表中,这两部分是连成一体的,如水银温度计;在较复杂的仪表中则分成两个独立的部分,中间用导线联接,如热电偶或热电阻是检测部分,而与之相配的指示和记录仪表是显示部分。按测量方式,温度测量仪表可分为接触式和非接触式两大类。测量时,其检测部分直接与被测介质相接触的为接触式温度测量仪表;非接触温度测量仪表在测量时,温度测量仪表的检测部分不必与被测介质直接接触,因此可测运动物体的温度。例如常用的光学高温计、辐射温度计和比色温度计,都是利用物体发射的热辐射能随温度变化的原理制成的辐射式温度计。由于电子器件的发展,便携式数字温度计已逐渐得到应用。它配有各种样式的热电偶和热电阻探头,使用比较方便灵活。便携式红外辐射温度计的发展也很迅速,装有微处理器的便携式红外辐射温度计具有存贮计算功能,能显示一个被测表面的多处温度 ,或一个点温度的多次测量的平均温度、最高温度和最低温度等。此外,现代还研制出多种其他类型的温度测量仪表,如用晶体管测温元件和光导纤维测温元件构成的仪表;采用热象扫描方式的热象仪,可直接显示和拍摄被测物体温度场的热象图, 可用于检查大型炉体、发动机等的表面温度分布,对于节能非常有益;另外还有利用激光,测量物体温度分布的温度测量仪器等。

  • 【转帖】温度测量仪

    温度测量仪表是测量物体冷热程度的工业自动化仪表。最早的温度测量仪表,是意大利人伽利略于1592年创造的。它是一个带细长颈的大玻璃泡,倒置在一个盛有葡萄酒的容器中,从其中抽出一部分空气,酒面就上升到细颈内。当外界温度改变时,细颈内的酒面因玻璃泡内的空气热胀冷缩而随之升降,因而酒面的高低就可以表示温度的高低,实际上这是一个没有刻度的指示器。1709年,德国的华伦海特于荷兰首次创立温标,随后他又经过多年的分度研究,到1714年制成了以水的冰点为32度、沸点为212度、中间分为180度的水银温度计,即至今仍沿用的华氏温度计。1742年,瑞典的摄尔西乌斯制成另一种水银温度计,它以水的冰点为100度、沸点作为 0度。到1745年,瑞典的林奈将这两个固定点颠倒过来,这种温度计就是至今仍沿用的摄氏温度计。早在1735年,就有人尝试利用金属棒受热膨胀的原理,制造温度计,到18世纪末,出现了双金属温度计;1802年,查理斯定律确立之后,气体温度计也随之得到改进和发展,其精确度和测温范围都超过了水银温度计。1821年,德国的塞贝克发现热电效应;同年,英国的戴维发现金属电阻随温度变化的规律,这以后就出现了热电偶温度计和热电阻温度计。1876年,德国的西门子制造出第一支铂电阻温度计。很早以前,人们在烧窑和冶锻时,通常是凭借火焰和被加热物体的颜色来判断温度的高低。据记载,1780年韦奇伍德根据瓷珠在高温下颜色的变化,来识别烧制陶瓷的温度,后来又有人根据陶土制的熔锥在高温下弯曲变形的程度,来识别温度。辐射温度计和光学高温计是20世纪初,维思定律和普朗克定律出现以后,才真正得到实用。从60年代开始,由于红外技术和电子技术的发展,出现了利用各种新型光敏或热敏检测元件的辐射温度计(包括红外辐射温度计),从而扩大了它的应用领域。各种温度计产生的同时就规定了各自的分度方法,也就出现了各种温标,如原始的摄氏温标、华氏温标、气体温度计温标和铂电阻温标等 。为了统一温度的量值,以达到国际通用的目的,国际权度局最早规定以玻璃水银温度计为基准仪表,统一用摄氏温标。后经数次改革,到1927年改用以热力学温度为基础、以纯物质的相变点为定义固定点的国际温标 ,以后又经多次修改完善。国际现代通用的温标是1967年第13次国际权度大会通过的 ,1968年国际实用温标。它以13个纯物质的相变点,如氢三相点,即氢的固、液、气三态共存点(-259.34℃);水三相点(0.01℃)和金凝固点(1064.43℃)等,作为定义固定点来复现热力学温度的。中间插值在-259.34~630.74℃之间 ,用基准铂电阻;在630.74~1064.43℃之间,用基准铂铑-铂热电偶;在1064.43℃以上用普朗克公式复现。一般的温度测量仪表都有检测和显示两个部分。在简单的温度测量仪表中,这两部分是连成一体的,如水银温度计;在较复杂的仪表中则分成两个独立的部分,中间用导线联接,如热电偶或热电阻是检测部分,而与之相配的指示和记录仪表是显示部分。按测量方式,温度测量仪表可分为接触式和非接触式两大类。测量时,其检测部分直接与被测介质相接触的为接触式温度测量仪表;非接触温度测量仪表在测量时,温度测量仪表的检测部分不必与被测介质直接接触,因此可测运动物体的温度。例如常用的光学高温计、辐射温度计和比色温度计,都是利用物体发射的热辐射能随温度变化的原理制成的辐射式温度计。由于电子器件的发展,便携式数字温度计已逐渐得到应用。它配有各种样式的热电偶和热电阻探头,使用比较方便灵活。便携式红外辐射温度计的发展也很迅速,装有微处理器的便携式红外辐射温度计具有存贮计算功能,能显示一个被测表面的多处温度 ,或一个点温度的多次测量的平均温度、最高温度和最低温度等。此外,现代还研制出多种其他类型的温度测量仪表,如用晶体管测温元件和光导纤维测温元件构成的仪表;采用热象扫描方式的热象仪,可直接显示和拍摄被测物体温度场的热象图, 可用于检查大型炉体、发动机等的表面温度分布,对于节能非常有益;另外还有利用激光,测量物体温度分布的温度测量仪器等。

衬底温度速率测量仪相关的耗材

  • 硅片厚度测量仪配件
    硅片TTV厚度测试仪配件是采用红外干涉技术的测量仪,能够精确给出衬底厚度和厚度变化 (TTV),也能实时给出超薄晶圆的厚度(掩膜过程中的晶圆),非常适合晶圆的研磨、蚀刻、沉淀等应用。 硅片厚度测量仪配件采用的这种红外干涉技术具有独特优势,诸 多材料例如,Si, GaAs, InP, SiC, 玻璃,石英以及其他聚合物在红外光束下都是透明的,非常容易测量,标准的测量空间分辨率可达50微米,更小的测量点也可以做到。硅片厚度测量仪配件采用非接触式测量方法,对晶圆的厚度和表面形貌进行测量,可广泛用于:MEMS, 晶圆,电子器件,膜厚,激光打标雕刻等工序或器件的测量,专业为掩膜,划线的晶圆,粘到蓝宝石或玻璃衬底上的晶圆等各种晶圆的厚度测量而设计,同时,硅片厚度测试仪还适合50-300mm 直径的晶圆的表面形貌测量。硅片厚度测试仪配件具有探针系统配件,使用该探针系统后,硅片TTV厚度测试仪可以高精度地测量图案化晶圆,带保护膜的晶圆, 键合晶圆和带凸点晶圆(植球晶圆),wafers with patterns, wafer tapes,wafer bump or bonded wafers 。 硅片TTV厚度测试仪配件直接而精确地测量晶圆衬底厚度和厚度变化TTV,同时该硅片厚度测量仪能够测量晶圆薄膜厚度,硅膜厚度(membrane thickness) 和凸点厚度(wafer pump height).,沟槽深度 (trench depth)。
  • 雾度测量仪配件
    雾度测量仪配件能够精确测量在玻璃或硅晶圆衬底上薄膜的总透过率和漫透过率,根据公式Haze(λ)=DT(λ)/TT(λ)从而获得雾度值,测量光谱范围为400-900nm。薄膜的总透过率,总反射率,漫透过率对于太阳能光伏制造非常重要,雾度测量仪配件通过三个光谱仪测量400-900nm范围内的光谱,不需要移动或改变任何部件,保证测量精度和使用寿命。雾度测量仪配件采用模块化设计,具有高度的可拓展性,充分满足不同客户的多种需要。例如,自动光学窗口可更换,简化操作,减少用户的人工干预操作。还有厚度和反射率测量模块可集成,从而满足客户测量薄膜厚度和折射率的需求。除此之外,还可以根据用户的预算情况配备自动扫描或手动扫描的机制,可以适合任何尺寸的样品,包括面积大于1平方米的玻璃板。
  • 薄膜溶解测量仪配件
    薄膜溶解测量仪用于实时监测薄膜在液体过程中的薄膜厚度和光学常量(n, k)的变化,是全球领先的薄膜溶解测量仪和薄膜溶解测试仪。为了这种特色的测量,孚光精仪公司特意为薄膜溶解测量仪研发了Teflon样品池用于测量薄膜样品,使用一种岔头探针水平安装在Teflon 样品池的外部,距离玻璃窗口非常接近,使用白光反射光谱技术(WLRS),实时测量薄膜厚度和折射率,并通过专业软件记录下这些数据。另外,根据需要,我们还能够在测量区域下安装搅拌装置stirrer,提供力学激励振动。孚光精仪还特意为薄膜溶解测量仪提供垂直的样品夹具,以固定小尺寸的硅样品或3' ' ,4' ' 直径的Si 晶圆。根据溶解过程的不同,如溶解速度的不同,它能够以实时或离线的方式测量,反射率数据都能够存储下来以便后续处理使用。还能够测量几十个纳米厚度的光致抗蚀剂和聚合物薄膜堆的溶解过程,而且还可以测量薄膜的膨胀等特殊现象。对于薄膜厚度的测量,薄膜溶解测厚仪需要光滑,具有反射性的衬底,对于光学常数测量,平整的反射衬底即可满足测量需要。如果衬底是透明的,衬底的背面不能具有反射性。能够给出两个参数:例如两个薄膜的厚度或一个薄膜的厚度和光学常量,已经成功应用于测量反射衬底(Si晶圆)上各种光滑,透明或轻度吸收薄膜的溶解过程,可研究的薄膜包括SiO2薄膜,SiNx薄膜,光致抗蚀剂薄膜,聚合物薄膜层等。薄膜溶解测量仪参数 可测膜厚: 5nm-150微米;波长范围:200-1100nm 精度:0.5% 分辨率:0.02nm 测量点光斑大小:0.5mm可测样品大小:10-100mm计算机要求:Windows XP, vista, Win7均可,USB接口;尺寸:360x400x180mm重量:15kg 电力要求:110/230VAC薄膜溶解测量仪应用:聚合物薄膜光致抗蚀剂薄膜测量化学和生物薄膜测量,传感测量光电子薄膜结构测量 在线测量光学镀膜测量 能够以实时或离线的方式测量,反射率数据都能够存储下来以便后续处理使用。
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