超大样品仓扫描电镜

p　　strong仪器信息网讯/strong 2019年4月3日，日立高新技术公司(TSE：8036，日立高新技术)正式推出中型扫描电镜“SU3800”与大型扫描电镜“SU3900”。——搭载多功能超大样品仓，进一步提高操作性能。上述机型在支持超大/超重样品测试的同时，还通过自动化操作和大视野相机导航功能，大幅提升了操作性能。/pp style="text-align: center "img style="width: 300px height: 298px " title="1.jpg" border="0" alt="1.jpg" vspace="0" src="https://img1.17img.cn/17img/images/201904/uepic/d2d88ae8-f0a7-4278-a50f-9faffbdb6396.jpg" width="300" height="298"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "SU3800/span/pp style="text-align: center "img style="width: 350px height: 314px " title="2.jpg" border="0" alt="2.jpg" vspace="0" src="https://img1.17img.cn/17img/images/201904/uepic/c512de41-3f6e-4a95-aa4c-8cd6098e54ea.jpg" width="350" height="314"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "/span /pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "SU3900/span/ppspan style="color: rgb(0, 176, 240) "　　span style="color: rgb(255, 255, 255) background-color: rgb(112, 48, 160) "strong【产品背景】/strong/span/span/pp　　在以纳米技术和生物技术为主的产业领域里，从物质的微细结构到组成成分，SEM在多种多样的观察与分析中得到了灵活应用。SEM用途日益扩大，但对于钢铁等工业材料和汽车零配件等超大/超重样品，由于电镜样品台能对应的样品尺寸和重量受到限制，所以观察时需要进行切割等加工。因此，对超大样品不施以加工处理，便可直接观察表面微细形貌和进行各种分析则成为重要的课题。/pp　　近年来为了实现各种材料的高功能化和高性能化，需要观察并优化材料的微细结构。目前SEM的应用除了以往的研究开发以外，已扩展到质量和生产管理方面，使用频率日益高涨。同时市场也对仪器的操作性能提出了更高的要求，以进一步减轻操作人员的负担。/pp　　此次发售的“SU3800”与“SU3900”，支持超大/超重样品的观察，特别是大型扫描电镜“SU3900”，strong可选配最大直径300mm sup*1/sup、最大承重5kg样品(比前代机型提高2.5倍sup*2/sup)的样品台，即使是超大样品也无需切割加工即可观察/strong。/pp　　同时操作性能也得到了全面升级。样品安装完成后，通过自动光路调整及各种自动功能调整图像，随后可立即获得样品图像，真正实现了快速观察。/pp　　前代机型是仅仅通过CCD导航相机的单一彩色图像寻找视野sup*3/sup。新机型则通过旋转样品台，分别拍摄样品各个部分，再将各个图像拼接成1张大图像，实现了大视野的相机导航观察，十分适用于超大样品的大范围观察。/pp　　另外，日立高新技术预计于4月29日(星期一)至5月1日(星期三)在美国(克利夫兰)举办的“CeramicsExpo ”及5月7日(星期二)至5月10日(星期五)在德国(斯图加特)举办的“33rd　Control ”以及9月4日(星期三)至9月6日(星期五)在日本(幕张展览馆)举办的展览会上进行实机展示。/pp　　作为最先进、最前沿的事业创新型企业，日立高新技术集团以成为提供高新技术和解决方案的全球一流企业为目标，始终从客户立场出发，快速满足客户和市场需求。/pp　　span style="color: rgb(127, 127, 127) "i*1 直径为300mm的样品台，与前代机型“S-3700N”一样/i/span/ppspan style="color: rgb(127, 127, 127) "i　　*2 指与前代机型 “S-3700N”的比较。但比较的内容仅限于样品台平面移动时的限制重量/i/span/ppspan style="color: rgb(127, 127, 127) "i　　*3 寻找视野：指测量开始时，确认当前测量样品位置的操作/i/span/pp　　span style="color: rgb(255, 255, 255) background-color: rgb(112, 48, 160) "strong【主要特点】/strong/span/pp　　strong(1) 支持超大/超重样品测试/strong/pp　　可搭载的最大样品尺寸：“SU3800” 标配可搭载直径200mm样品的样品仓，可应对最大高度为80mm、重量为2kg的样品。 “SU3900”作为日立高新技术的大型扫描电镜，标配可搭载最大直径300mm样品的样品仓，可应对最大高度为130mm、重量为5kg(比前代机型提高2.5倍sup*2/sup)的样品/pp　　strong(2) 支持大视野观察/strong/pp　　■“SU3800”与“SU3900”的最大观察范围分别是：直径130mm、直径200mm/pp　　■安装有“SEM MAP”导航功能，只需在导航画面上指定观察目标位置，即可移动视野/pp　　■安装有“Multi Zigzag”系统，可在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像，并将取得的图像拼接在一起，生成大视野高像素图像/pp　　strong(3) 通过自动化功能提高操作性能/strong/pp　　■通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整，自动功能执行时的等待时间比前代机型sup*4/sup缩短了三分之一以下/pp　　■安装有“Intelligent Filament Technology(IFT)”软件，自动监控钨灯丝sup*5/sup的状况，显示预计的更换时期。在长时间的连续观察和颗粒度解析等大视野分析时，也可避免长时间测试过程中因钨灯丝使用寿命到期所造成的中断观察。/pp　　span style="color: rgb(127, 127, 127) "i*4. 指与前代机型 “S-3700N”的比较。/i/span/ppspan style="color: rgb(127, 127, 127) "i　　*5. 钨灯丝：在真空中，通电加热后产生热电子的钨灯丝作为电子源的核心部件，起到光源作用。/i/span/pp　　span style="color: rgb(255, 255, 255) background-color: rgb(112, 48, 160) "strong【主要规格】/strong/span/ptable border="1" cellspacing="0" cellpadding="0" width="567" align="center"tbodytr class="firstRow"td style="background: rgb(191, 191, 191) padding: 0px 7px border: 1px solid windowtext " valign="middle" width="168" align="center"strong主要参数/strong/tdtd style="background: rgb(191, 191, 191) border-width: 1px 1px 1px 0px border-style: solid solid solid none border-color: windowtext windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px " valign="middle" width="199" align="center"strongSU3800/strong/tdtd style="background: rgb(191, 191, 191) border-width: 1px 1px 1px 0px border-style: solid solid solid none border-color: windowtext windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px " valign="middle" width="199" align="center"strongSU3900/strong/td/trtrtd style="border-width: 0px 1px 1px border-style: none solid solid border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext padding: 0px 7px background-color: transparent " valign="middle" width="168" align="center"p style="text-align: justify text-justify: inter-ideograph "span style="color: black font-family: 宋体 font-size: 13px "二次电子像分辨率/span/p/tdtd style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent " valign="middle" width="399" colspan="2" align="center"pspan style="font-family: "3.0nm/span　span style="font-family: "(/spanspan style="font-family: 宋体 font-size: 13px "加速电压：/spanspan style="font-family: "30kV、/spanspan style="color: black font-family: 宋体 font-size: 13px "高真空模式/spanspan style="color: black font-family: ")/span/ppspan style="font-family: "15.0nm/span　span style="font-family: "(/spanspan style="font-family: 宋体 font-size: 13px "加速电压：/spanspan style="font-family: "1kV、/spanspan style="color: black font-family: 宋体 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colspan="2" align="center"pspan style="font-family: "× 5～× 300,000/spanspan style="color: black font-family: " (/spanspan style="color: black font-family: 宋体 font-size: 13px "底片倍率/spanspan style="color: black font-family: ")/spanspan style="color: black font-family: 宋体 font-size: 13px "、/spanspan style="font-family: "× 7～× 800,000/spanspan style="color: black font-family: " (/spanspan style="color: black font-family: 宋体 font-size: 13px "显示倍率/spanspan style="color: black font-family: ")/span/p/td/trtrtd style="border-width: 0px 1px 1px border-style: none solid solid border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext padding: 0px 7px background-color: transparent " valign="middle" width="168" align="center"pspan style="color: black font-family: 宋体 font-size: 13px "样品台/span/p/tdtd style="border-width: 0px 1px 1px 0px border-style: none solid solid none border-color: rgb(0, 0, 0) windowtext windowtext rgb(0, 0, 0) padding: 0px 7px background-color: transparent " valign="middle" width="199" 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基于50年的扫描电镜研发经验，16-17下半财年伊始，日本电子株式会社发布了具有颠覆性设计的场发射扫描电镜JSM-IT300HR，并且在今年的法国欧洲里昂举行的电镜会上进行了JSM-IT300HR实机展示，大受好评。　　作为业内第一款易用型场发射扫描电镜，JSM-IT300HR拥有众多领先业界的特性：　　1) 摆脱了冷却循环水和空气压缩机，更不需要氮气瓶。第一次在场发射扫描电镜上实现只要有电源就可以安装。　　2) 样品仓超大，12英寸硅片(300mm直径)可直接放入观察。重样品可五轴方向移动。具有12个扩展接口。　　3) 标配低真空(可变压力)模式，兼顾材料科学与生命科学样品。　　4) 触摸屏点击操作，可摆脱键盘鼠标的束缚，实现远程操作。　　5) JEOL是世界上唯一同时生产电子显微镜和X射线能谱仪的厂家，哪怕是球差校正TEM上，JEOL的EDS技术也可以轻松实现原子级的分辨率。现在，JEOL将这种技术移植到SEM上来，JSM-IT300HR可配置一体化分析系统，实现一台显示器无缝切换SEM/EDS。　　6) 支持蒙太奇与光电光联显微镜技术。

2019年4月3日，日立正式推出中型扫描电镜“SU3800”与大型扫描电镜“SU3900”。上述机型在支持超大/超重样品测试的同时，还通过自动化操作和大视野相机导航功能，大幅提升了操作性能。 　　在以纳米技术和生物技术为主的产业领域里，从物质的微细结构到组成成分，SEM在多种多样的观察与分析中得到了灵活应用。SEM用途日益扩大，但对于钢铁等工业材料和汽车零配件等超大/超重样品，由于电镜样品台能对应的样品尺寸和重量受到限制，所以观察时需要进行切割等加工。因此，对超大样品不施以加工处理，便可直接观察表面微细形貌和进行各种分析则成为重要的课题。　　近年来为了实现各种材料的高功能化和高性能化，需要观察并优化材料的微细结构。目前SEM的应用除了以往的研究开发以外，已扩展到质量和生产管理方面，使用频率日益高涨。同时市场也对仪器的操作性能提出了更高的要求，以进一步减轻操作人员的负担。 　　此次发售的“SU3800”与“SU3900”，支持超大/超重样品的观察，特别是大型扫描电镜“SU3900”，可选配最大直径300mm *1、最大承重5kg样品（比前代机型提高2.5倍*2）的样品台，即使是超大样品也无需切割加工即可观察。　　同时操作性能也得到了全面升级。样品安装完成后，通过自动光路调整及各种自动功能调整图像，随后可立即获得样品图像，真正实现了快速观察。　　前代机型是仅仅通过CCD导航相机的单一彩色图像寻找视野*3。新机型则通过旋转样品台，分别拍摄样品各个部分，再将各个图像拼接成1张大图像，实现了大视野的相机导航观察，十分适用于超大样品的大范围观察。 *1直径为300mm的样品台，与前代机型“S-3700N”一样*2指与前代机型 “S-3700N”的比较。但比较的内容仅限于样品台平面移动时的限制重量*3寻找视野：指测量开始时，确认当前测量样品位置的操作 主要特点：1. 支持超大/超重样品测试　　可搭载的最大样品尺寸：“SU3800” 标配可搭载直径200mm样品的样品仓，可应对最大高度为80mm、重量为2kg的样品。 “SU3900”作为日立高新技术的大型扫描电镜，标配可搭载最大直径300mm样品的样品仓，可应对最大高度为130mm、重量为5kg（比前代机型提高2.5倍*2）的样品2. 支持大视野观察　　“SU3800”与“SU3900”的最大观察范围分别是：直径130mm、直径200mm安装有“SEM MAP”导航功能，只需在导航画面上指定观察目标位置，即可移动视野安装有“Multi Zigzag”系统，可在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像，并将取得的图像拼接在一起，生成大视野高像素图像3. 通过自动化功能提高操作性能　　通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整，自动功能执行时的等待时间比前代机型*4缩短了三分之一以下安装有“Intelligent Filament Technology（IFT）”软件，自动监控钨灯丝*5的状况，显示预计的更换时期。在长时间的连续观察和颗粒度解析等大视野分析时，也可避免长时间测试过程中因钨灯丝使用寿命到期所造成的中断观察。*4指与前代机型 “S-3700N”的比较。*5钨灯丝：在真空中，通电加热后产生热电子的钨灯丝作为电子源的核心部件，起到光源作用。 关于天美：　　天美集团从事表面科学、分析仪器、生命科学设备及实验室仪器的设计、开发和制造及分销；为科研、教育、检测及生产提供完整可靠的解决方案。近年来天美集团积极拓展国际市场，先后在新加坡、印度、澳门、印尼、泰国、越南、美国、英国、法国、德国、瑞士等多个国家设立分支机构。公司亦先后收购了法国Froilabo公司、瑞士Precisa公司、美国IXRF公司、英国Edinburgh Instruments公司等多家海外知名生产企业和布鲁克公司Scion气相和气质产品生产线，以及上海精科公司天平产品线, 三科等国内制造企业、加强了公司产品的多样化。