全自动扫描显微镜

AFM5500M II全自动扫描探针显微镜除了配置高精度平板扫描器和各种测量自动化功能，还有两种共享坐标样品台功能。通过多种设备的关联解析，实现了单个设备无法实现的多维缺陷评价和故障解析。主要特点1. AFM自动化测量&bull 通过自动化控制大大提高效率，自动探针安装，自动光轴调整，自动参数优化；&bull 排除人为操作失误导致的测量误差，一键自动测量/处理/分析（提高整体测试效率） 2. 可靠性排除机械原因造成的误差大范围水平扫描采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果。AFM5500M搭载了全新研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试。 样品 ：硅片上的非晶硅薄膜高精角度测量普通的原子力显微镜所采用的扫描器，在竖直伸缩的时候，会发生弯曲（crosstalk）。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。AFM5500M中搭载的全新扫描器，在竖直方向上不会发生弯曲（crosstalk） ，可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。样品 : 太阳能电池(由于其晶体取向具有对称结构)* 使用AFM5100N（开环控制）时 3. 利用探针评价功能进行探针尖端直径管理4. SIS模式可有效提高数据可靠性 SIS（Sampling Intelligent Scan）样品智能扫描模式只有在需要测量样品形貌和物性信息时才靠近测量点，自动控制探针位置，完全消除对测量不利的水平力，可测量吸附力较大或粗糙的样品，同时可大幅降低对探针的磨损和对样品的损伤，有效提高数据的可靠性。5. 支持机械物性/电磁物性等广泛的物性测量扫描探针显微镜是一种不仅可以测量形貌，还支持各种物性检测的显微镜。AFM5500MⅡ支持可同时获取弹性模量、形变、吸附力和摩擦力等各种机械物性的SIS-ACCESS/SIS-QuantiMech功能、以及导电性、压电分布和表面电位等各种电磁物性测量。6. 新的表面电位势测量模式 AM-KFM/FM-KFM（可用于定量和灵敏度等不同场景）除调幅开尔文力显微镜(AM-KFM)外，AFM5500MⅡ还新增了调频开尔文力显微镜(FM-KFM)。FM-KFM与AM-KFM相比，信号主要来自于探针的尖端，电位检测灵敏度更高，在电位的定量分析上更胜一筹。AM-KFM适用于单一材料间的电位和功函数对比等，FM-KFM适用于测量需要进行精细周期结构和海岛结构量化的复合材料，两种模式通过点击即可自由切换。7. 使用AFM、SEM、CSI等不同显微镜观察同一位置，实现多维度解析通过SEM、AFM、CSI等进行样品的同一位置测试，可以对目标视野进行多维度解析，实现数据的参照对比。日立高新可以提供特有的SEM/AFM/CSI同视野观察，实现联动分析。使用共享样品台进行坐标联动，或通过全新的AFM标记功能，可以在AFM、SEM、CSI之间快速、轻松地锁定同一视野，进一步扩大了联动分析的应用范围。

国仪量子高速扫描电子显微镜HEM6000HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了高速图像采集和成像，同时保证了纳米级分辨率。面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。 产品优势 高速自动化 全自动上下样流程和采图作业，综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的5倍大场低畸变跟随扫描场动态变化的光轴，实现了更低的场边缘畸变低压高分辨 样品台减速技术，实现低落点电压，同时保证高分辨率应用领域应用案例大规模成像规格书 关键参数 分辨率 1.3nm @ 3 kV，SE；2.2 nm @ 1 kV，SE； 1.9nm @ 3 kV，BSE；3.3 nm @ 1 kV，BSE；加速电压 100 V~6 kV(减速模式) 6 kV~30 kV(非减速模式) 放大倍率 66~1,000,000x 电子枪类型 高亮度肖特基场发射电子枪 物镜类型 浸没式电磁复合物镜 样品装载系统 真空系统 全自动控制，无油真空系统 样品监控 样品仓监控水平摄像头 ； 换样仓监控垂直摄像头样品最大尺寸 直径4英寸 样品台 类型 电机驱动3轴样品台（*可选配压电驱动样品台） 行程 X、Y轴：110mm；Z轴：28mm；重复定位精度 X轴：±0.6 um；Y轴：±0.3 um 换样方式 全自动控制 换样时间 ＜15 min 换样仓清洗 全自动控制等离子清洗系统 图像采集与处理 驻点时间 10 ns/pixel 图像采集速度 2*100 M pixel/s 图像大小 8K*8K 探测器和扩展 标配 镜筒内混合电子探测器 选配低角度背散射电子探测器 镜筒内高角度背散射电子探测器 压电驱动样品台 高分辨大场模式样品仓等离子清洗系统 6英寸样品装载系统主动减震台 AI降噪；大图拼接；三维重构 软件 语言 中文 操作系统 Windows 导航 光学导航、手势快捷导航 自动功能 自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散服务扫描电子显微镜实验室 我们在合肥、无锡、广州和上海设有扫描电子显微镜实验室，实验室配备多名电镜技术专家和高级电镜应用工程师，提供包含电 镜应用技术开发、样品拍摄在内的多种服务。主要应用领域有锂电池、新型纳米材料、半导体材料、矿物冶金、地质勘探、生物医药等。 实验室依托国仪量子电镜产品，在电镜应用领域开展具有自主知识产权的科研项目，致力于实现科学研究和人才培养的目标。与此同时，实验室也为有电镜应用需求的科研院所、大专院校、企事业单位提供优质的服务。

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