n主要用途:测试被测4,6寸wafer与LEDwafer产品的内部缺陷,如空洞、分层、裂缝、异物等;n优势简介:- 可用于4”,6”wafer SAM-CYGNUS LED测试- 带有全自动机械臂,可进行自动取片自动检测- 配置Wafer Map, BCR reader, Wafer Pre Aligner, Spin Coater System等全自动系统- 可用于测量材料表面与内部缺陷的位置与尺寸大小(Debonding, Delamination, Crack)- 可用于测量材料的厚度- 带Water jet 扫描系统- 带安全锁及报警系统- 噪声低:采用高精度linear-servo电机- 成像质量高,速度快,扫描精度高- 支持A, C, T 扫描模式n产品特色SAM-CYGNUS是一款全自动的wafer缺陷测试声学显微镜,可以对4,6寸wafer进行全自动无损检测,分析器件内部之分层、裂缝、空洞等缺陷。X轴和Y轴均是新型高速线性伺服电机,扫描速度快,同时经久耐用。能对器件作多种扫描模式,如点扫描(A-)、纵剖扫描(B-)、横剖扫描(C-)、多层横剖扫描(X-)等。n主要参数- 超声波测量探头频率范围 : 1-500MHz- A/D 换能器:2GHz 取样频率, 1GHz带宽- 适合wafer尺寸:4”与6”- XY方向重复定位精度:±2μm- Z方向扫描范围:70mm- Z方向扫描分辨率:2.5μmn产品应用:wafer与LED芯片
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