高纯气体分析系统

【磐诺-高纯气体在线气相色谱仪】仪器采用吹扫阀技术、零死体积零泄漏技术、二维中心切割技术、高纯气体类分析专用色谱柱技术和脉冲氦离子化检测器（PDD）技术相结合进行高纯氦、高纯氢、高纯氮、高纯氩、高纯甲烷、高纯二氧化碳、高纯氧等在线检测。样品采集到定量环并置换干净后，切换进样阀，在载气的带动下样品进入色谱柱中分离并将主组分切割放空后依次进入PDD检测器检测得到。【仪器特点】（1）采用高纯气专用色谱柱技术，测量多种无机和有机杂质组分，符合国标要求；（2）仪器具有开机自检功能、断气保护功能、断电自动重启功能、自动标定功能和报警功能，保证系统安全和稳定性；（3）采用带吹扫保护的膜阀和零泄漏管道接头设计，系统漏率＜1*10-8m3.pa.s-1；（4）PDD检测器具有专利技术和宽量程数字化输出，其中CH4检测限≤5ppb；（5）核心部件均使用国际知名品牌，可靠性高，使用寿命长。【应用领域】空分装置在线监测【技术参数】检测能力H2、Ar、O2、N2、CH4、CO、CO2、Kr、Xe等量程CH4（1ppb-1000ppm）检测器脉冲氦离子化检测器（PDD)检出限5ppb（CH4）重复性RSD≤3%分析周期10min功率电源＜300W，220V AC/50Hz工作环境温度：（-10~50）℃，湿度：（10%~90%）RH气源要求载气：高纯氦（≥99.999%）?输出4-20mA、RS232/RS485、以太网尺寸19"标准机箱，5UA、测定成分测定组分检测气体H2Ar/O2N2CH4COCO2He是是是是是是H2否是是是是是O2是Ar是是是是Ar是否是是是是N2是是否是是是CO2是是是是是否Kr是是是是是是Xe是是是是是是B、测定范围测定成分测定范围H210ppb—100ppmAr/O210ppb—100ppmN215ppb—100ppmCH45ppb—100ppmCO25ppb—100ppmCO210ppb—100ppmKr10ppb—100ppmXe20ppb—100ppm

GC-9560-HG高纯气体分析系统适用于高纯气体和电子工业用气体中痕量杂质的检测，仪器配备原装进口高灵敏的氦离子化（PDHID）检测器；采用华爱色谱拥有技术的四阀五柱的中心切割与反吹技术，进样阀采用原装进口的带吹扫保护气路的六通或十通阀，连同原装进口的氦气纯化器、无死体积取样阀等部件一起组成一套完整的高纯气体分析整体解决方案。 众所周知，高纯气体的分析是一个复杂的过程，也是色谱分析的难点之一；不仅需要高灵敏的检测器，还要考虑样品本身的特性及其背景，如吸附、取样及分析过程中是否有空气混入、系统的密闭性、系统的死体积等环节。上海华爱色谱分析技术有限公司总结了高纯气体分析过程中的技术难点，并给出了所有难点的解决措施，使GC-9560-HG氦离子化气相色谱仪成为国内专业的高纯气体分析系统，很好的完成了气体中微量杂质，特别是ppb级的杂质的分析。适用的国家标准：1、高纯气标准GB/T 7445-1995 《纯氢、高纯氢、超纯氢》 GB/T 14599-2008《纯氧、高纯氧和超纯氧》GB/T 8979-2008《纯氮、高纯氮和超纯氮》 GB/T 4842-2006《氩》GB/T 4844.3-1995 《高纯氦》 GB/T 17873-1999《纯氖》GB/T 5829-2006《氪气》 GB/T 5828-2006《氙气》HG/T 3633-1999《纯甲烷》 GB 10621-2006《食品添加剂 液体二氧化碳》2、电子气标准GB/T 16942-2009《电子工业用气体 氢》 GB/T 16943-2009《电子工业用气体 氦》GB/T 16944-2009《电子工业用气体 氮》 GB/T 16945-2009《电子工业用气体 氩》GB/T 14604-2009《电子工业用气体 氧》 GB/T 14600-2009《电子工业用气体 氧化氩氮》GB/T 14601-2009《电子工业用气体 氨》 GB/T 14602-93《电子工业用气体 氯化氢》GB/T 14603-2009《电子工业用气体 三氟化硼》GB/T 18994-2003《电子工业用气体 高纯氯》GB/T 14851-93《电子工业用气体 磷化氢》 GB/T 17874-1999《电子工业用气体 三氯化硼》GB/T 15909-2009《电子工业用气体 硅烷》 GB/T 21287-2007《电子工业用气体 三氟化氮》GB/T18867-2002《电子工业用气体 六氟化硫》 系统配置：（1）GC-9560-HG氦离子化气相色谱仪（2）氦离子化检测器（PDHID）（3）中心切割系统（4）多柱箱系统（5）氦气纯化器（6）标准气体（7）色谱柱（8）高纯氦（纯度99.999％）（9）氧吸附与还原系统（10）载气专用减压阀（11）无死体积专用取样阀（12）GC-9560V4.0版反控色谱工作站 一、中心切割技术，实现气体全分析：GC-9560-HG氦离子化气相色谱仪采用多阀多柱的中心切割与反吹技术，该系统由多个吹扫型十通阀及多根色谱联合组成，通过工作站设置的时间程序自动控制其进样、切换、切割与反吹等过程，一次进样即可完成包括高纯氮、高纯氢、高纯氧、高纯氦、高纯二氧化碳、高纯氩、氪气、氙气、氖气等高纯气体以及硅烷等电子工业用气体中痕量杂质的检测。 吹扫型十通阀GC-9560-HG氦离子化气相色谱仪所配备的均为原装进口VICI生产的带保护气路的吹扫型十通阀，阀平面始终处于载气的氛围中，避免进样和切换时空气渗透到样品之中，大大提高检测灵敏度和性。VICI AG International是专业的进样阀供应商，其生产的进样阀制作精良，外观精美，所有材料均进行了防吸附处理，且整个阀体的死体积已减小，再配合吹扫气路的保护，从而排除空气渗透对样品中痕量杂质检测的影响 经特殊加工的色谱柱技术（1） 色谱柱管材采用316L不锈钢材料，且管材内壁均经过钝化处理，防止吸附和一氧化碳拖尾等问题的产生（2） 色谱柱担体均经过特殊处理，避免氧吸附等问题的产生（3） 预切柱采用华爱色谱获得国家的微型填充柱技术，样品的分离，兼顾分离、稳定与快速二、多柱箱分离系统气体样品的形式多种多样，同时杂质种类繁多，需要多根不同的色谱柱联用来完成气体样品中的所有杂质的分离。由于不同色谱柱的工作温度不尽相同，在同一个柱箱中很难找到同时适合不同色谱柱工作的工作温度。GC-9560-HG采用多柱箱设计，有效解决了不同色谱柱需要不同工作温度的难题。在仪器的日常维护中，由于5A分子筛等不同担体的色谱柱的活化温度各不相同，如果在同一柱箱中进行老化需要将不耐受高温的色谱柱拆下来，然后分别进行活化。GC-9560-HG的多柱箱设计可以有效解决上述问题，不同的色谱柱可以在不同柱箱中分别活化，避免了日常仪器维护工作中需要拆装色谱柱的问题。三、HP-2氦气纯化器：GC-9560-HG氦离子化气相色谱仪采用高纯氦气为载气，氦气的纯度直接影响到整个仪器对杂质的检测灵敏度。试验证明，高纯气体分析所用载气的纯度至少比气体样品的本底纯度高一个数量级。HP-2型氦气纯化器是VICI公司生产的一款专载气纯化器，其纯化基质是一种无挥发性的吸附性合金，吸附剂粒子表面有一层氧化膜需通过加热活化，活化过程必须在真空或惰性气体环境下完成，这样可允许氦气在其间自由扩散，防止氧气纯化层的形成，又可以进行杂质气体的吸附。HP的吸附剂材料具有良好的热稳定性，包括两个温度控制范围。可纯化气体：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn大操作压力：1000Psi去除气体：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等残留浓度：&le 10ppb四、进样压力校正系统传统的色谱仪采用在进样阀出口处控制流量的办法来控制定量管内的进样体积，试验证明这种方法有着大的分析误差以分析高纯氢气为例：标准气是配置在氦气中的六种杂质，而样品气是在氢气中的六种杂质；由于氦气和氢气的分子量不同，从而造成了在相同流量下的进样量是不一致的情况GC-9560-HG氦离子化气相色谱仪配备压力校正系统，克服因底气不同造成的进样量不一致的问题，确保数据的性。五、无死体积取样阀GC-9560-HG配备了无死体积的专用取样阀，采用带吹扫保护的取样方式，有效的避免了空气残留的问题，将取样过程对分析的影响降至低的水平。六、载气专用减压阀普通减压阀由于死体积的存在，直接影响到经减压阀输出后的载气纯度，造成载气中的本底杂质浓度很高，从而影响到整个系统的检测限。GC-9560-HG氦离子化气相色谱仪配备具有两级稳压功能的全不锈钢载气减压阀，大大提高了压力稳定性，确保基线的稳定，同时也降低了阀体内的死体积，进一步提高检测灵敏度。七、电子气取样系统电子气体的分析有其特殊性，如硅烷遇O2极易自燃、有些电子气体为有毒有害气体，采用传统的取样方式无法完成电子气的分析GC-9560-HG氦离子化气相色谱仪可以选配专业的电子气取样系统，该系统采用吹扫、真空等方式确保系统中无O2存在，管路全部采用316L不锈钢材料制成的外径1/8"管道，内壁经抛光和钝化处理，防止吸附。接口采用镀金卡套式接口，严格确保系统气密性，排除了潜在危险。电磁阀和微型真空泵的应用使整个系统的操作更加方便，通过色谱工作站可完成吹扫，取样，进样等一系列操作。

ta7000 高纯气体分析仪生产过程中的关键链接Trace Analytical &trade ta7000, 由AEMTEK Process Instruments生产, 专门设计的采样系统、高灵敏度检测器和分析电子器件。有两个型号---ta7000R和ta7000F，检测器不同，每个型号分析不同组分。? ta7000R 检测H2, CORGD (还原气体检测器) 检测限：低于500ppt? ta7000F 检测CO2, 甲烷和非甲烷烃FID (火焰离子化检测器) 检测限：低于500ppt随着半导体技术的发展，晶圆生产过程越来越复杂要求越来越高。为保护产品质量和产能，需要达到标准的高纯度气体。ta7000分析高纯气体中杂质含量，满足半导体工业的最新要求。