“狭缝涂布精密成膜装备系统”是一个高端先进制造业项目,其成膜技术可在玻璃、塑料、不锈钢等基体上精确涂布制备功能纳米、微米薄膜,在许多光电领域,如平板显示、触摸屏、薄膜太阳能电池、半导体元器件及封装、柔性及印制电子、智能玻璃等,有着非常广泛的应用。 从研发用150mm平台到6代线,为用户提供灵活多变的配置方案。不仅用于光学膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、扩散膜等)、OLED涂布等,还可以用于有机太阳能电池OPV和钙钛矿太阳能电池PVK等成卷基材的涂布,也应用于非连续基材如LCD玻璃基板光阻涂布。 狭缝涂布技术适用于各种涂布液,可广泛应用于不同基材表面的涂布,如玻璃,不锈钢和塑料基片涂布模具相对于基片精确地运动,并精确检测控制工艺流体及其涂布速度。 优势 可涂布不同粘度的各种材料 涂布厚度范围广泛:从20nm到150μm以上 很好的涂布一致性:通常优于±3% 效率高/材料利用率高:材料利用率可达95% 能够满足不同需求:从研发到小批量试制、大量生产 工艺具有高的可靠性和鲁棒性:良率可达到95% 适用于S2S和R2R加工模式 在一个工艺周期内可实现矩形阵列的涂布加工 过程参数 涂布间隙控制:动态控制涂布头高度 (z轴) 模具运动控制: 在涂布方向上(x轴)精确控制模具的运动轨迹(包括加速和减速参数) 模具设计: 针对高一致性、化学兼容性、低充填容量 和 条状涂布进行模具设计制造 涂布控制: 涂布速率(稳态涂布) 和涂布轮廓 (前后边缘)的高精度数字化控制 控制软件: 所有配方参数,数据监控和反馈控制,数据采集分析。 应用领域 平板显示 LCD, OLED, Flexible, Touch Screen LCD, OLED, 柔性显示, 触摸屏 太阳能光伏 PV including CIGS, CdTe, OPV and C-Si 固态照明 OLED lighting 高附加值玻璃 可调光智能玻璃, 博物馆用玻璃 半导体, 微机电系统, 无线射频识别, 聚合物电池, 和各种有机及打印电子器件
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