主动隔振系统

产品说明： 台式主动减振系统由减振器和控制器两部分组成。减振器采用精密金属弹簧实现被动隔振，由音圈电机实现主动减振。用于反馈控制检测的速度传感器采用美国GEOSPACE公司的产品，所有零、部件封闭在机体内。 系统运行时不需提供压缩空气，安装方便、即插即用。能自适应调节地基前馈，实现6自由度减振。具有极佳的性/价比。 台式主动减振系统由洛仑兹电机、速度传感器以及控制器构成闭环控制系统，在0.7Hz—50Hz范围内实施主动减振。超过50Hz频率的振动由被动的金属弹簧隔离。减振器的隔离弹簧在3个平动方向的固有频率为3Hz—5Hz。由于实施反馈和前馈控制，减振台在六个自由度上最低隔离频率可达0.7Hz。 本公司可根据用户要求定制各种不同尺寸的减振平台。如果用户所需隔振的仪器或设备为不规则状，公司可代其设计工作台面。产品特点：1.洁净室环境：10000级以上净化；环境噪声小于65dB；2.测试工具：LMS SCADASIII型数据采集系统，32通道输入模块，2通道输出模块；LMS Test.Lab数据分析系统；3.PCB型加速度传感器；GS速度传感器（经低频扩展）；4.测试方法：将减振平台安装（放置）在地基上，如果地基表面不平，需加地面胶。在减振平台上加适量负载。5.卸下四个锁紧板，手动摇晃隔振负载，确保减振器能正常工作。观察洛仑兹电机，确保定子与动子之间无接触，并合理调整气隙间距。6.开启速度控制环。由地基随机激振，用PCB型加速度传感器测试X、Y、Z方向的振动传递率。7.由LMS SCADASIII进行数据采集，用LMS Test.Lab进行数据分析，以确定共振点传递率和高频衰减率；选型表：

Table Stable 主动减震台-隔振台-防震台AVI-200（S/M/XL） 产品描述： ◆Table Stable主动减震台-隔振台 AVI-200系列（S\M\XL）是一款紧凑型模块化的主动隔振系统-减震台，可提供对所有六种平移和旋转振动模式的隔离（三轴六自由度主动隔振，1Hz - 200Hz主动隔振，200Hz被动隔振），抵消敏感设备的不必要振动；可在宽频率范围内为各类电子显微镜等高分辨率的超精密仪器提供业界领先的主动隔振性能 。 ◆主动减震台-隔振台 AVI-200 的主动隔振频率从1Hz开始，在10Hz以上迅速增加到35dB，没有任何低频共振；具有响应速度快，精密的自动调节机制，使用操作简单，对低频和超低频振动具有优异的隔振效果。 ◆主动减震台-隔振台 AVI-200 是轻巧型紧凑模块化，单个模块承重200kg，可灵活配置多个模块200*N kg，安装简单方便。 ◆适用于透射电子显微镜（TEM）、聚焦离子束电子显微（FIB）、扫描电子显微镜（SEM）、反射电子显微镜（REM）、原子力显微镜（AFM）等主动减震台！具体可欢迎咨询拓睿科技。 （图1：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动防震台 AVI-200S）（图2：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动防震台 AVI-200M）（图3：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动防震台 AVI-200XL） 产品工作原理： ◆Table Stable AVI系列-主动减震台-隔振台-防震台采用先进的主动隔振技术，可以隔离三轴六个自由度方向上的振动，包括所有六种平移和旋转方向的振动模型；擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 ◆Table Stable主动减震台-隔振台 AVI-200 通过隔振器内传感器测量环境振动，将振动信号传递到电路控制系统，转化成电信号传递到隔振器内致动器，由致动器产生一个与环境振动频率相同、振幅相同、方向相反的振动抵消环境的振动。传感器不断监测振动，并基于该信号，致动器沿相反方向产生作用力进行抵消，并继续产生最佳的振动隔离状态。 产品规格/技术参数： ◆型号：AVI-200 型号隔振单元重量单元尺寸(每个)AVI-200S/LP8.0 kg120 x 396 x 112.5 HmmAVI-200M/LP10.3 kg130x 636 x 112.5 HmmAVI-200XL/LP12.0 kg130x 856 x 112.5 Hmm系统配置（System Configuration）基本配置：两个独立隔振装置 & 一个控制装置控制器尺寸（Size）241 x 287 x 142 Hmm负载能力（Load capacity）0~400 kg（单个隔振模块为0~200Kg）；可灵活增加模块隔离技术（Isolation technology）高灵敏度压电传感器与快速低功耗致动器校正方向（Correction directions）三轴六自由度全方位隔振；针对所有六种平移和旋转振动模式的主动隔振。隔离范围（Isolation）频率: 1～ 200 Hz主动隔振，200 Hz以上为被动隔振传递率（Transmissibility）在~10Hz以上传递率＜0.017（-35dB），超过100Hz取决于负载矫正力（Correction Forces）水平方向最大4N，垂直方向最大8N静态柔度（Static Compliance）垂直约3.5µ m/N，水平约7µ m/N系统噪音（System Noise）在任何方向的0.1-200 Hz范围内小于50ng/√Hz输入电压（Input Voltage）100 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 50-60 Hz功耗（Power Consumption）通常为9W过载指示(Overload Indication)8个led表示输出阶段的过载状态监视器信号(Monitor Signal)可在示波器上显示多路复用信号显示有隔离和无隔离的8个轴振动水平安全等级(Safety class)1防护等级(Protection class)IP 20温度范围(Temperature range)5 ℃ ～ 40 ℃ /41°-104°F相对湿度（Relative humidity）10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃/ 41°-86°F）10 ～ 60 %（30 ～ 40℃ / 86°-104°F）使用场所（Application）仅用于室内工作高度（Altitude）高达2,000 m（6500ft）*选项一：低频传感器(LFS-3)配置低频传感器，可将主动隔振频率从0.5Hz起，增强低频隔振效果。*选项二：遥控箱（Remote control box）远程遥控控制，可以连接到D-Sub插座可在设备外部实现打开和关闭隔振开关。*选项三：调制盒(Modulation Input box)允许将激励信号应用于AVI系列主动隔振系统，以便该系统可以用作任何方向的振动激励器。Table Stable主动减震台-隔振台 AVI-200 减震-隔振性能效果：性能对比图：当使用AVI系列主动隔振系统搭载高倍分辨率精密仪器时（如电子显微镜等），在主动隔振系统功能启动前后所得图像，表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。 （图5：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动防震台 AVI-200 减震-隔振效果曲线图）Table Stable主动减震台-隔振台-防震台（TS系列和AVI系列）应用领域：Table Stable主动隔振系统-减震台（TS系列和AVI系列）广泛应用于各种科学研究和工业生产领域，如半导体制造、纳米技术、光电子学等精密领域；如晶圆切割机、光刻机、轮廓仪、干涉仪、粗糙度仪、光学显微镜；透射电子显微镜（TEM）、聚焦离子束电子显微（FIB）、扫描电子显微镜（SEM）、扫描探针显微镜 SPM、反射电子显微镜（REM）、原子力显微镜（AFM）、超分辨率显微镜及其他超精密设备等等；如您的实验室、研究所有需对高分辨率、高精密仪器的设备（如电子显微镜等）配置主动减震台、主动隔振台、主动隔振系统、减震台、防震台、隔振台等，具体可欢迎咨询拓睿科技。

Table Stable 主动减震台-隔振台-防震台AVI-600（S/M/XL）产品描述： ◆Table Stable主动减震台-隔振台 AVI-600系列（S\M\XL）是一款紧凑型模块化的主动隔振系统-减震台，可提供对所有六种平移和旋转振动模式的隔离（三轴六自由度主动隔振，1Hz - 200Hz主动隔振，200Hz被动隔振），抵消敏感设备的不必要振动；可在宽频率范围内为各类电子显微镜等高分辨率的超精密仪器提供业界领先的主动隔振性能 。 ◆主动减震台-隔振台 AVI-600 的主动隔振频率从1Hz开始，在10Hz以上迅速增加到35dB，没有任何低频共振；具有响应速度快，精密的自动调节机制，使用操作简单，对低频和超低频振动具有优异的隔振效果。 ◆适用于透射电子显微镜（TEM）、聚焦离子束电子显微（FIB）、扫描电子显微镜（SEM）、反射电子显微镜（REM）、原子力显微镜（AFM）等主动减震台！具体可欢迎咨询拓睿科技。 （图1：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动隔振台 AVI-600S）（图2：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动隔振台 AVI-600M）（图3：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动隔振台 AVI-600XL）产品工作原理： ◆Table Stable AVI系列-主动减震台-隔振台-防震台采用先进的主动隔振技术，可以隔离三轴六个自由度方向上的振动，包括所有六种平移和旋转方向的振动模型；擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。 ◆Table Stable主动减震台-隔振台 AVI-400 通过隔振器内传感器测量环境振动，将振动信号传递到电路控制系统，转化成电信号传递到隔振器内致动器，由致动器产生一个与环境振动频率相同、振幅相同、方向相反的振动抵消环境的振动。传感器不断监测振动，并基于该信号，致动器沿相反方向产生作用力进行抵消，并继续产生最佳的振动隔离状态。产品规格/技术参数： ◆型号：AVI-600系列型号隔振单元重量单元尺寸(每个)AVI-600S/LP22.5 kg288 x 396 x 112.5 HmmAVI-600M/LP29.0 kg288 x 720 x 112.5 HmmAVI-600XL/LP33.8 kg318 x 856 x 112.5 Hmm 系统配置（System Configuration）基本配置：两个独立隔振装置 & 一个控制装置控制器尺寸（Size）448 x 286 x 143 Hmm负载能力（Load capacity）0~1200 kg（单个隔振模块为0~600Kg）隔离技术（Isolation technology）高灵敏度压电传感器与快速低功耗致动器校正方向（Correction directions）三轴六自由度全方位隔振；针对所有六种平移和旋转振动模式的主动隔振。隔离范围（Isolation）频率: 1～ 200 Hz主动隔振，200 Hz以上为被动隔振传递率（Transmissibility）在~10Hz以上传递率＜0.017（-35dB），超过100Hz取决于负载矫正力（Correction Forces）水平方向最大12N，垂直方向最大24N静态柔度（Static Compliance）垂直约1.0µ m/N，水平约2.0µ m/N系统噪音（System Noise）在任何方向的0.1-200 Hz范围内小于50ng/√Hz输入电压（Input Voltage）100 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 50-60 Hz功耗（Power Consumption）通常为27W过载指示(Overload Indication)24个led表示输出阶段的过载状态监视器信号(Monitor Signal)可在示波器上显示多路复用信号显示有隔离和无隔离的8个轴振动水平安全等级(Safety class)1防护等级(Protection class)IP 20温度范围(Temperature range)5 ℃ ～ 40 ℃ /41°-104°F相对湿度（Relative humidity）10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃/ 41°-86°F）10 ～ 60 %（30 ～ 40℃ / 86°-104°F）使用场所（Application）仅用于室内工作高度（Altitude）高达2,000 m（6500ft）*选项一：低频传感器(LFS-3)配置低频传感器，可将主动隔振频率从0.5Hz起，增强低频隔振效果。*选项二：遥控箱（Remote control box）远程遥控控制，可以连接到D-Sub插座可在设备外部实现打开和关闭隔振开关。*选项三：调制盒(Modulation Input box)允许将激励信号应用于AVI系列主动隔振系统，以便该系统可以用作任何方向的振动激励器。Table Stable主动减震台-隔振台 AVI-400 减震-隔振性能效果：性能对比图：当使用AVI系列主动隔振系统搭载高倍分辨率精密仪器时（如电子显微镜等），在主动隔振系统功能启动前后所得图像，表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。 （图5：Table Stable 主动隔振系统-主动减震台-主动隔振台 AVI-600 减震-隔振效果曲线图） Table Stable主动减震台-隔振台-防震台（TS系列和AVI系列）应用领域：Table Stable主动隔振系统-减震台（TS系列和AVI系列）广泛应用于各种科学研究和工业生产领域，如半导体制造、纳米技术、光电子学等精密领域；如晶圆切割机、光刻机、轮廓仪、干涉仪、粗糙度仪、光学显微镜；透射电子显微镜（TEM）、聚焦离子束电子显微（FIB）、扫描电子显微镜（SEM）、扫描探针显微镜 SPM、反射电子显微镜（REM）、原子力显微镜（AFM）、超分辨率显微镜及其他超精密设备等等；如您的实验室、研究所有需对高分辨率、高精密仪器的设备（如电子显微镜等）配置主动减震台、主动隔振台、主动隔振系统、减震台、防震台、隔振台等，具体可欢迎咨询拓睿科技。