三维表面测量仪

中图仪器SuperViewW光学表面三维形貌轮廓测量仪以白光干涉技术原理，用于对各种精密器件表面进行纳米级测量。通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）；SuperViewW光学表面三维形貌轮廓测量仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperViewW光学表面三维形貌轮廓测量仪的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。具有的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

三维表面形貌测量仪InfiniteFocus SLInfiniteFocus SL三维表面形貌测量仪由奥地利Alicona公司研发并生产，操作原理是国际新型的全自动变焦(Focus-Variation)技术，该技术是光学系统的小景深和垂直扫描相结合。系 统InfiniteFocus SL是一款经济型、用于实验室研究和生产控制的光学三维表面形貌测量仪。InfiniteFocus SL除可以测量形貌及微观结构的表面外，还可以测量部件的粗糙度。完美的机身框架和智能的光源使InfiniteFocus SL的测量更快速，更容易。优 势InfiniteFocus SL测量速度快、稳定性强，而且经济实惠。超过33mm的超长工作距离及50X50mm测量范围使它拥有了极宽的应用范围，测量可以在几秒钟内完成。应 用应用范围从刀具工业的刃口测量到质量保证及微观结构的表面刃口测量。InfiniteFocus SL应用于汽车、航天、模具、刀具、机械加工等制造企业。 InfiniteFocus SL光学三维刀具测量仪的部分技术参数：位移范围（X/Y）:50mm×50mm(自动调节)位移范围（Z）:130mm(26mm自动调节)最佳垂直分辨率：20nm最大扫描高度：25mm最大操作距离：17.5（5×物镜）最大扩展视野范围：2500mm2最大单一方向测量范围：50mm最小测量半径：2μm最小测量楔角：20°最小测量粗糙度（Ra）：80nm最小测量粗糙度（Sa）：50nm

仪器简介：是二维表面粗糙度测量仪、三维表面粗糙度测量仪和轮廓形状测量仪最高水平的组合，一体化的合理的测量仪器状解析记录模式三种功能，技术参数：二维粗糙度：测量参数：Ra、Rq、Ry、Rmax、Rt、Rz、Rz5、Rz3、R3z、R3zmax、RzmaxD、RzD、Sk、Ku、Pc、HSC、PPI、Rpm、Sl、Sm、S、Rp、Rv、 a、 q、 a、 q、 a、 q、K、tp、BC、ADC、FFT、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、WcA、WCM、WEA、WEM、真直度、离差、坐标放大倍率：竖直50 ~500,000 水平1~5000测量范围：竖直 600 m 水平100mm评价长度：0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80mm / 任意(0.2mm以上) /  C x1, x2, x3, x4, x5自动水平调整：最小二乘法, 二点法, R曲线修正, 二次曲线修正,辅助功能：自由画面设计记录, 图表模版, 平均处理, 统计处理, 去除缺陷后测量, 再计算,探测器登记,留言记录, 自动灵敏度校正, 公制/英制变换, 自动测量, 去除处理, 轮廓图放大缩小。三维粗糙度分析项目：平面图、等高线图 / 微分浓淡图 / 标高表示图鸟瞰图(水平, 俯角可变): 扫描图 / 细格图 / 等高线图 / 微分浓淡图三维分析值: SRp / SRv / SRmax / SRa / SGr / SSr / SRe / SRq / SRsK / S a / S a / Spc / 标高粒子分析: 山(或谷)粒子的密度, 平均面积, 平均体积, 平均直径图形: FFT/ BC测量范围：Z 600 m X 100mm Y 100mm辅助功能：分析和数据采集同时进行 / 部分选取 / 水平调整 / 三维数据的任意方向的二维分析传送速度：0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2mm/S高速移动速度5, 10mm/S以及手动截止值：粗糙度  C 0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8 mm,无截止，起伏fl 0.8, 2.5, 8, 25mm, fh 0.08, 0.25, 0.8, 2.5mm过滤方式：高斯型, 2CR, 特殊高斯型探测器上下移动：探测器上下移动范围250mm, 自动下降/上升精度 0.2 m/100mm以内(使用制动时)真直度测量精度：0.2 m / 100mm探测器：触针: R2m金刚石, 测量力0.7mN 制动: R40(测量方向) R2 m 蓝宝石轮廓形状测量分析项目对中 : 原点移动, 旋转, 反转, 移动要素分析: 点, 线, 圆, 山, 谷, 交点, 中点, 接点 / 定标器量: 座标差, 距离, 交角测量范围：竖直50mm 水平100mm传送速度：0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.2 mm / S 高速移动速度2, 10mm/S 以及手动辅助功能：自由画面设计记录, 图表模版, 宏观功能, 轮廓放大缩小, 数字式圆弧修正, 防止过载 震动器, 上下正反两方向测量 探测器上下移动范围：200mm真直度测量精度：1 m / 100mm探测器：R25 m 10~30mN超硬， 追踪角度： 上攀77度， 下移87度尺寸/ 质量、测量部600  395  593mm / 80Kg 计算部900  600  520mm / 30Kg电源：AC 100V 800VA 50/60Hz主要特点：三维粗糙度测量 数据采集和分析同时进行数据的采集和以前采集的数据的分析可以同时进行. 能节约测量时间.三维粗糙的形状记录能改变鸟瞰图的视角、高低并进行记录.对于平面图能得到浓淡图和等高线图, 当然, 可以取出感兴趣的部分放大或记录.三维粗糙度参数能进行面平均算术平均粗糙度SRa等各种三维粗糙度参数, ”山” , “谷” 粒子的平均面积、平均体积等的分析. 二维粗糙度测量 参数能对应于ISO、JIS、DIN、ANSI、BS等国际标准和各国的新旧标准进行测量自动测量功能从探测器的测量到数据图表的打印一连串的动作都能自动进行.去除处理可以避开测量形状中伤痕等不适和的部分,指定计算的区域进行分析.轮廓形状测量 多断面形状分析能对多到32个断面的数据同时处理. 而且, 能对n次分开测量的数据合在一起进行分析. 对中调整备有必要的充分对中的功能, 而且能进行极细微的调整.宏观功能利用很强的宏观功能,可以使同一类测量物体的测量、分析和打印变得很简单. 操作的宏观化是除了通常的操作外只要增加单键操作就可以了,使整个测量简单化.公差判定对于半径、距离、角度等的分析数据, 每次都要设定公差,并能进行对错的判断.二维粗糙度、轮廓形状测量的共同特点 数据图表能自由的对数据图表进行画面设计, 可以自由选择画面设计的数据, 其中, 有各种测量的数据, 名称等原始数据, 公司标记等图形数据, 进行画面设计, 作成图表.