国仪量子高速扫描电子显微镜HEM6000HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术,实现了高速图像采集和成像,同时保证了纳米级分辨率。面向应用场景的自动化操作流程设计,使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。 产品优势 高速自动化 全自动上下样流程和采图作业,综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的5倍大场低畸变跟随扫描场动态变化的光轴,实现了更低的场边缘畸变低压高分辨 样品台减速技术,实现低落点电压,同时保证高分辨率应用领域应用案例大规模成像规格书 关键参数 分辨率 1.3nm @ 3 kV,SE;2.2 nm @ 1 kV,SE; 1.9nm @ 3 kV,BSE;3.3 nm @ 1 kV,BSE;加速电压 100 V~6 kV(减速模式) 6 kV~30 kV(非减速模式) 放大倍率 66~1,000,000x 电子枪类型 高亮度肖特基场发射电子枪 物镜类型 浸没式电磁复合物镜 样品装载系统 真空系统 全自动控制,无油真空系统 样品监控 样品仓监控水平摄像头 ; 换样仓监控垂直摄像头样品最大尺寸 直径4英寸 样品台 类型 电机驱动3轴样品台(*可选配压电驱动样品台) 行程 X、Y轴:110mm;Z轴:28mm;重复定位精度 X轴:±0.6 um;Y轴:±0.3 um 换样方式 全自动控制 换样时间 <15 min 换样仓清洗 全自动控制等离子清洗系统 图像采集与处理 驻点时间 10 ns/pixel 图像采集速度 2*100 M pixel/s 图像大小 8K*8K 探测器和扩展 标配 镜筒内混合电子探测器 选配低角度背散射电子探测器 镜筒内高角度背散射电子探测器 压电驱动样品台 高分辨大场模式样品仓等离子清洗系统 6英寸样品装载系统主动减震台 AI降噪;大图拼接;三维重构 软件 语言 中文 操作系统 Windows 导航 光学导航、手势快捷导航 自动功能 自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散服务扫描电子显微镜实验室 我们在合肥、无锡、广州和上海设有扫描电子显微镜实验室,实验室配备多名电镜技术专家和高级电镜应用工程师,提供包含电 镜应用技术开发、样品拍摄在内的多种服务。主要应用领域有锂电池、新型纳米材料、半导体材料、矿物冶金、地质勘探、生物医药等。 实验室依托国仪量子电镜产品,在电镜应用领域开展具有自主知识产权的科研项目,致力于实现科学研究和人才培养的目标。与此同时,实验室也为有电镜应用需求的科研院所、大专院校、企事业单位提供优质的服务。
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