工艺矿析测试仪

SPM900 系列少子寿命成像测试仪原理说明非平衡少数载流子少数载流子的寿命是半导体材料的一个重要参数，也是评价半导体质量的一个指标。例如在光伏电池中，少子寿命决定了少子扩散长度， 决定了光吸收层、内建电场区域的厚度设计等重要的器件参数；载流子寿命也可以反映器件中杂质或者缺陷的影响，抑或是存在污染， 进行失效分析，对工艺过程进行优化。载流子的复合在一定温度下，处于热平衡状态的半导体材料，电子- 空穴对的产生和复合保持一种动态平衡，载流子浓度是一定的。然而，外界的作用会破坏这种热平衡，使其处于与热平衡相偏离的状态，随之改变的是载流子的浓度， 多于平衡值的载流子就是非平衡载流子。非平衡少数载流子也称也称少子，通常对于半导体器件的性能起到决定性的作用。当外界作用撤掉后，处于非平衡态的载流子会通过复合而产生衰减，直到载流子浓度恢复到之前的热平衡状态。载流子的复合方式可以分为三类：SRH 复合、辐射复合及俄歇复合（直接和间接）。(a) SRH 复合； (b) 辐射复合； (c) 直接俄歇复合；（d）间接俄歇复合少子寿命测试少子寿命的测量通常包括非平衡载流子的注入和检测两个方面，*常用的注入方法是光注入和电注入。对于间接带隙的半导体，常使用电注入或者微波光电导衰减的方法进行少子寿命测试，间接带隙半导体一般寿命较长， 为毫秒量级。而对于GaAs 这类的直接间隙半导体，复合的能量几乎全部以发光的形式放出，发光效率高，寿命较短（典型的寿命在10-8-10-9s），通常使用时间分辨光致发光光谱（TRPL）的方法来进行测试。激光扫描少子寿命成像测量仪SPM900当外界作用停止以后，少子的浓度（ΔC）随时间t 增长呈指数衰减的规律。由以下方程可知，少子的寿命为当少子浓度衰减到初始浓度1/e 时候所经历的时间。在辐射复合中，发光的强度与少子的浓度相关，因此可以通过检测发光的寿命来获得少子的寿命信息。当在显微镜上加载少子寿命测试模块，就可以得到微区下半导体器件的少子寿命分布信息，这对于微小型器件的研究及质量控制十分重要。激光扫描少子寿命成像仪基于时间相关单光子计数进行设计，包含显微镜主体，激光光源，光子计数检测器，单色仪以及自动XY 样品台等部分。位于显微镜上的激光光源用于样品的激发，通过控制样品台的移动，可以进行微区单点少子寿命测量和少子寿命成像。少子寿命成像测试应用外延ZnS 薄膜半导体本征带- 浅杂质复合半导体中施主- 受主对复合深能级复合III-V 族载流子杂质俘获过程研究非辐射中心的电子弛豫及复合机制研究半导体外延片缺陷和杂质检测测试软件控制测试界面测试软件的界面遵循“All In One”的简洁设计思路，用户可在下图所示的控制界面中完成采集数据的所有步骤：包括控制样品平移台移动，通过显微镜的明场光学像定位到合适区域，框选扫描区域进行扫描，逐点获得荧光衰减曲线，实时生成荧光图像等。数据处理界面功能丰富的荧光寿命数据处理软件，充分挖掘用户数据中的宝贵信息。可自动对扫描获得的FLIM 数据，逐点进行多组分荧光寿命拟合（组分数小于等于4），对逐点拟合获得的荧光强度、荧光寿命等信息生成伪彩色图像显示。3D 显示功能少子寿命测试案例MicroLEDMicroLED 显示技术是指以自发光的微米量级的LED 为发光像素单元，将其组装到驱动面板上形成高密度LED 阵列的显示技术， 在发光亮度、分辨率、对比度、稳定性、能量损耗等方面有很大优势，可以应用在AR/VR，可穿戴光电器件，柔性显示屏等领域。由于MicroLED 的尺寸在微米级别，因此需要在显微镜下进行检测。下图为使用少子寿命成像系统对直径为80 微米的MicroLED 微盘进行测试。单组分拟合，可以看到红圈中的污损位置，虽然影响发光强度，但对发光寿命没有影响钙钛矿测试钙钛矿属于直接带隙半导体材料，具有高光学吸收，高增益系数、高缺陷容忍度、带隙可调，制备成本低等优点，可以广泛应用在光子学与光电信息功能器件等领域，例如钙钛矿太阳能电池，钙钛矿量子点，钙钛矿LED 等材料的研究。对于钙钛矿中的载流子辐射复合的研究对于提供器件的光电转换性能有很大的帮助。以下示例为钙钛矿样品的少子辐射复合发光成像和寿命成像。图中可见此钙钛矿样品有两个寿命组分，且不同寿命组分的相对含量也可以从相对振幅成像图中很直观的看到。晶圆级大尺寸的少子寿命成像测试仪4、6、8 英寸晶圆样品测试，可在此基础上增加小行程电动位移台实现数百纳米至微米尺度的精细扫描显微尺度的少子寿命成像测试仪参数指标 系统性能指标：光谱扫描范围200-900nm*小时间分辨率16ps寿命测量范围500ps-1ms（具体视激光器而定）小尺寸空间分辨率≤ 1μm@100X 物镜@405nm 皮秒脉冲激光器大尺寸扫描可适用4 英寸、6 英寸、8 英寸样品配置参数：脉冲激光器375nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：30ps，平均功率1.5mW@50MHz405nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：25ps，平均功率2.5mW@50MHz450nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：50ps，平均功率1.9mW@50MHz488nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：70ps，平均功率1.3mW@50MHz510nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：75ps，平均功率1.1mW@50MHz635nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：65ps，平均功率4.3mW@50MHz660nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：60ps，平均功率1.9mW@50MHz670nm 皮秒脉冲激光器，脉宽：40ps，平均功率0.8mW@50MHz其他皮秒或纳秒脉冲激光器具体视材料及激发波长而定科研级正置显微镜落射明暗场卤素灯照明，12V，100W5 孔物镜转盘，标配明场用物镜：10×，50×，100×监视CCD：高清彩色CMOS 摄像头，像元尺寸：3.6μm*3.6μm，有效像素：1280H*1024V，扫描方式：逐行，快门方式：电子快门小尺寸扫描用电动位移台高精度电动XY 样品台，行程：75*50mm（120*80mm 可选），*小步进：50nm，重复定位精度＜ 1μm大尺寸扫描用电动位移台XY 轴行程200mm/250mm，单向定位精度≤ 30μm，水平负载：30Kg；光谱仪320mm焦距影像校正单色仪，双入口、狭缝出口、CCD出口，配置三块68×68mm大面积光栅， 波长准确度：±0.1nm，波长重复性：±0.01nm，扫描步距：0.0025nm，焦面尺寸：30mm(w)×14mm(h)，狭缝缝宽：0.01-3mm 连续电动可调探测器：制冷型紫外可见光电倍增管，光谱范围：185-900nm（标配，可扩展）光谱CCD( 可扩展PL mapping）低噪音科学级光谱CCD（LDC-DD），芯片格式：2000x256，像元尺寸：15μm*15μm,探测面：30mm*3.8mm，背照式深耗尽芯片，低暗电流，*低制冷温度-60℃ @25℃环境温度，风冷，*高量子效率值95%时间相关单光子计数器(TCSPC）时间分辨率：16/32/64/128/256/512/1024ps… … 33.55μs，死时间＜ 10ns，*高65535 个直方图时间窗口，瞬时饱和计数率：100Mcps，支持稳态光谱测试；OmniFlμo-FM 寿命成像专用软件控制功能：控制样品平移台移动，通过显微镜的明场光学像定位到合适区域，框选扫描区域进行扫描，逐点获得发光衰减曲线，实时生成发光图像等数据处理功能：自动对扫描获得的寿命成像数据，逐点进行多组分发光寿命拟合( 组分数小于等于4），对逐点拟合获得的发光强度、发光寿命等信息生成伪彩色图像显示图像处理功能：直方图、色表、等高线、截线分析、3D 显示等操作电脑品牌操作电脑，Windows 10 操作系统

矿物岩石密度测试仪QL系列红外水份仪是采用光栅式红外水份仪，其稳定性比六光束、八光速大大提高。平均测试精度可达0.1%-0.5%左右（视被测物料而定），满足生产工艺要求。而红外水份仪可以在传送带上快速连续测量，且非接触被测物料，实现在线动态实时检测，反应时间仅为8ms，实现了对产品含水率的实时控制。红外水分仪原理：1. 水分子中的氢-氧键会吸收特定波长的近红外线（特定测量波段1.94μm），在特定波长下，所反射回去的近红外线能量和物料中水分子吸收的近红外线能量成反比，根据能量的损失量计算出被测物料的含水率。2. 当水分子被特定的能量带激发时变成振动态，在光谱的近红外部位，该波段对于水分子特别强烈，同时仪器在发射、过滤和接收能量方面更容易实现。3. 近红外线测量技术是一种非破坏性，非接触式的实时测量技术。探头是内部执行所有系统测量和处理功能的智能设备，并直接输出经校准的测量值。还能生成微型电脑和触控电脑上的显示内容。功能特点：1. 非接触式，应用红外技术以慢反射方式对水份进行测定2. 多通道设置，同一台仪器满足测量不同类型物料的需求，QL系列水分仪共有10个通道，编号从1-10，每个通道编号代表一组上述的通道参数，改变通道编号，即选择了不同的通道参数，以适应同一台仪器测量不同类型的物料的需求。3. 基本不受外界光变影响、具有温度自动补偿基本不受外界温度变化的影响长期稳定性好。4. 安装简单、操作方便快捷，仪器的安装调试只需几天，安装调试期间不影响正常生产。QL-300系列水份仪采用预定标，现场只需修正截距（零位）就可以完成标定工作。仪器采用单片机进行数字运算，简化的触摸式操作，非常适用于一般的操作工人。矿物岩石密度测试仪仪特点：1. 高度集成的电子器件，SMT技术的电路板，故障率低、质量稳定可靠2. 动态的实时诊断系统、无需定期保养 3. 可加内置式冷却系统4. 可加内置式产品温度测量系统5. 对物料颜色/配方的敏感性：最小，适用性更佳。 6. 滤光片比传统品牌设计的更小，受带宽的影响更小。7. 电源以及数字信号输出和主机分离，避免了传统品牌输出信号受到探头内部温度的影响，信号不稳定。 8. 输出信号方式更多， RS485、4-20mA模拟信号和RS232可三选二配备。红外水分仪规格参数：型号QL-300QL-300B适合于测量物料白色 黄色等亮色物黑色 灰色等暗色物波长1940nm、1818nm双波长探测1940nm、1818nm双波长探测探头玻璃出光玻璃采用高棚石英玻璃，避免污渍和和水汽附着.出光玻璃采用高棚石英玻璃，避免污渍和和水汽附着.测量范围0～95%0～95%测量精度±0.2%-±0.01%（绝dui值）±0.2%-±0.01%（绝dui值）分辨率0.01%0.01%光斑直径60mm直径60mm测量速度0.0125秒0.0125秒探测器加滤镜封装，避免外界光干扰加滤镜封装，避免外界光干扰标定调校快速标定、预标定，无需日常再标定快速标定、预标定，无需日常再标定滤波时间线性或指数（0.1-180秒）线性或指数（0.1-180秒）信号输出RS232、 RS485、4-20mA模拟信号（3选2）RS232、 RS485、4-20mA模拟信号（3选2）通讯协议选择自由协议或MUDBUS-RTU协议选择自由协议或MUDBUS-RTU协议标定档案可以存储31个标定档案可以存储31个标定档案工作温度-10～80℃-10～80℃工作距离150～400mm150～400mm工作电源24VDC/35VA24VDC/35VA尺寸大小130×149×277mm130×149×277mm重量5kg5kg清洁吹扫接口吹扫口直径6mm，压缩空气0.25MPa吹扫口直径6mm，压缩空气0.25MPaQL-300红外水分仪应用领域：钢铁行业：烧结混合料、球团原料、干燥前后、造球等。有色金属：铝土矿、铜精矿、矿物砂、镍矿、金银铅锌精矿、氧化铝以及有色冶炼等烟草行业：烟包、烟梗、烟叶、烟丝、复烤、烟枝等粮食行业、食品加工、陶瓷行业、玻璃行业、水泥行业、制药行业、化工行业、木材行业、造纸行业等等

矿泉水瓶垂直载压测试仪VP-1000垂直载压测试仪用于检测PET 瓶或金属罐的顶压强度、顶压变形、瓶体平压和侧压强度，测试结果可作为控制和改善产品质量的重要依据；仪器符合国内及国际多项测试标准；仪器的优化设计，使操作和维护更加简易。产品特点◎ 根据用户需求可实现自定义测试模式（Z多可设置 4 个分段压力和保压时间），满足各种测试需求◎ 仪器采用全不锈钢和铝制化设计◎ 限位保护、过载保护、自动回位、以及掉电记忆等智能配置.保证用户的操作安全◎ 仪器具备7寸触控屏控制◎ 屏幕可实现动态显示，Z大压力值 / 实时压力值 / 保压时间 / 平台高度 / 平台运行方向 屏幕显示参数：日期和时间 / 产品名称 / 操作员 / 批号 / 样品号 / 模式设置◎ 仪器可储存 10 个操作员和 30 个产品信息，具备分等级密码保护功能◎ USB 数据端口输出，具有Quality testing ”数据分析软件◎ 实验速度可实现1-500mm/min无级变速矿泉水瓶垂直载压测试仪测试原理将塑料瓶装夹在垂直载压测试仪夹具的两个夹头之间，两夹头做相对运动，通过位于动夹头上的力值传感器和机器内置的位移传感器，采集到实验过程中的力值变化和位移变化，从而计算出试样的耐压强度性能指标。应用领域用于检测PET 瓶或金属罐的顶压强度、顶压变形、瓶体平压和侧压强度。 技术指标测量范围：0-1000/0-3000/0-5000/0-10000 N ( 按要求定制 )分 辨 率：0.001N位移精度：0.5级试验速度：1-500mm/min(无级调速）分 度：1N（测量范围 5000N 以下）/10N（测量范围 10000N 以上）样品尺寸：直径0-150mm,高度：80-300mm(其它尺寸可定制）尺 寸：500mm( L ) x 450mm( W ) x 750mm( H )净 重：70kg 测试标准GB/T17200、QB/T 1868-2004、GB/T10440、GB2357、QB2357、GB/T2665、BB/T0044 售后服务承诺三月内只换不修，一年质保，终身提供。快速处理，1小时内响应问题，1个工作日出解决方案。 体系荣誉资质ISO9001：2008质量体系认证、计量合格确认证书、CE认证、软件著作权、产品实用新型、外观设计。实力铸造品牌三大研发中心，两条独立生产线，一个综合体验式实验室。赛成自2007年创立至今，全球用户累计成交产品破万台，完善四大产品体系，50多种产品。