白涉气缸轮廓仪

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白涉气缸轮廓仪相关的厂商

  • 400-860-5168转4574
    镇江超纳仪器有限公司是一家由美国硅谷资深博士专家团队创立的,集自主研发、制造、销售和技术服务为一体的中外合资国家高新技术企业。公司专注于光电精密检测领域的技术研发及产业化,着重发展以光机电软一体化为核心的电子光学检测设备。公司的技术和产品广泛应用于先进制造业中纳米、微米级结构表面微观特征的三维精密测量,包括表面粗糙度、表面轮廓、台阶高、表面缺陷、微观形貌、薄膜厚度等等。公司产品已形成五大系列,覆盖的行业包括了先进制造业的各个领域:集成电路制程工艺、封装工艺、微电子机械系统制造(MEMS)、PCB基板和多层板制造、太阳能光伏电池片工艺、高效LED芯片生产、高端通讯制造、航空、航天、汽车、光学零件领域中超精密机械加工、医药仪器和生物工程材料、新型材料表面工程、智能手机/平面电脑/柔性显示等新一代显示技术等领域的研发和大规模生产。 公司自主研发的3D光学干涉轮廓仪产品获得“江苏省首台(套)重大装备”认定,测量精度0.1nm(纳米),测量技术指标达到了国际先进水平。
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  • 上海纳嘉仪器有限公司专业代理表面与薄膜测量仪器与设备,提供各种表面与薄膜测量的技术方案。主要代理多款高端微纳米级别表面测量仪器:原子力显微镜&扫描探针显微镜,探针式轮廓仪(台阶仪),三维光学轮廓仪,色散共焦轮廓仪,光谱式椭偏仪,反射干涉仪以及各种仪器耗材等。 上海纳嘉仪器有限公司专业致力于销售各种高端科研测试类仪器与技术服务,主要代理世界一流公司的微纳米级表面测量产品,着力为各高校,研究所以及高科技公司等单位提供集产品、应用和服务于一体的整体解决方案!
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  • 400-831-3325
    优尼康科技有限公司(UNICORN TECHNOLOGY CO., LTD.)成立于2012年11月,注册于中国香港, 是翌颖科技(上海)有限公司的子公司。 翌颖科技(上海)有限公司主要为半导体、新能源企业和高校及研发中心提供各类精密进口制程及测量设备。提供全面的一对一销售服务,技术支持,备件管理和咨询服务。 不同于大多数的设备分销公司,我们具备技术与丰富的行业经验,不光只为用户提供设备,同时也能提供设备具体应用及工艺方面的支持服务。 我们秉承“真诚,专注,信赖”的理念,用我们真诚的态度与行动服务客户,专注于为客户提供高品质、适合用户需求的产品,与每一位客户建立互相信赖的合作伙伴关系。 我们真诚希望与大家共同成长,共同发展,一起创造美好的明天。公司主要经营:Filmetrics 光学膜厚测量仪,3D轮廓仪,主动式防震减震系统,防震台,减震台,表面轮廓仪,探针式表面轮廓仪,XRF,X射线荧光谱仪,椭偏仪,台阶仪,zeta白光共聚焦,消磁器,设备集成定制等等。
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白涉气缸轮廓仪相关的仪器

  • NPFLEX 三维表面测量系统针对大样品设计的非接触测试分析系统灵活测量大尺寸、特殊角度的样品高效的三维表面信息测量垂直方向亚纳米分辨率提供更多的细节快速获取测量数据,测试过程迅速高效 NPFLEX 为大尺寸工件精密加工提供准确测量布鲁克的NPFLEXTM 3D表面测量系统为精密制造业带来前所未有的检测能力,实现更快的测量时间,提高了产品质量和生产力。基于白光干涉的原理,这套非接触系统提供的技术性能超出了传统的的接触式坐标测量仪(CMM)和工业级探针式轮廓仪的测量技术。测量优势包括获得高分辨的三维图像,进行快速丰富的数据采集,帮助用户更深入地了解部件的性能和功能。积累几十年的干涉技术和大样本的仪器设计的经验,NPFLEXTM是第一个可以灵活地测量大尺寸样品的光学测量系统,而且能够高效快捷地获得从微观到宏观等不同方面的样品信息。其灵活性表现在可用于测量表征更大的面型和更难测的角度样品创新性的空间设计使得可测零件(样品)更大、形状更多开放式龙门、客户定制的夹具和可选的摇摆测量头可轻松测量想测部位高效的三维表面信息测量 每次测量均可获得完整表面信息,并可用于多种分析目的更容易获得更多的测量数据来帮助分析垂直方向亚纳米分辨率提供更多的细节 干涉技术实现每一个测量象素点上的亚纳米级别垂直分辨率工业界使用多年业已验证的干涉技术提供具有统计意义的数据,为日渐苛刻的加工工艺提供保障测量数据的快速获取保证了测试的迅速和高效 最少的样品准备时间和测量准备时间比接触法测量(一条线)更大的视场(一个面)获得表面更多的数据 为客户量身订做最合适的仪器配置NPFLEX在基本配置的基础上,还有很多备选的配件和配置方案,满足不同客户的测量需求:&bull 可选的摇摆测量头可轻松测量想测的样品部位,测量样品的侧壁、倾斜表面以及斜面边缘,重复性好。&bull 获得研发大奖的透过透明介质测量模块(Through Transmissive Media,TTM)模块,,结合环境测试腔,可以穿透5cm厚的色散材料,可对样品进行加热或者冷却,进行原位测量。&bull 可选的折叠镜头能够测量碗状样品的侧壁和底部孔洞。纳米级分辨率的三维表面信息测量大家对很多样品的表面性质感兴趣,但是要获得这些品性质,需要检测大量的样品表面定量信息。许多应用在航空航天,汽车,医疗植入产业的大尺寸样品,往往只能借助于二维接触式检测工具进行表征,获得的只是一条线测量数据。二维扫描能够提供样品的表面轮廓,但是无法深入研究样品表面更精确的纹理细节信息。NPFLEX测试系统采用白光干涉原理,在每一个测量点可以实现表面形貌的三维信息收集,且具有亚纳米级的垂直分辨率。所收集的数据不受探针曲率半径的局限,高效的三维表面信息测量可获取除表面粗糙度以外的多种分析结果,更多的测量数据来帮助分析样品性质。 快速获取数据,保证测试迅速高效NPFLEX三维测量系统,能够灵活高效的获取大量测试数据。大大缩短了样品制备时间和测量方案设置时间,操作者可以快速更换样品,而且无需全面掌握样品形状和表面形貌的前提下,对样品的不同表面进行测量。仅需要不到15秒的时间,就可以出色地完成一个测量点的数据采集和分析工作。自动对焦,光强调节以及其他配套软件功能,大大节约了测试分析时间,而且可以根据操作者的实验需求,量身定做最优化的实验方案,而不影响数据的精度和质量。利用NPFLEX可以高效、快捷、灵活、准确地获得大型零部件的高精度测量结果,提供一站式的测量解决方案。
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  • 德国BMT WLICyl 白光干涉气缸表面轮廓仪 当前珩磨结构的评估方法主要基于测量珩磨角和Rk参数,仅仅这些信息并不足以反映复杂的珩磨结构。借助BMT公司的干涉测量技术,Daimler公司的新标准MBN37800采用了更多的珩磨结构细节评估,包括两个方向的珩磨沟槽、杂散的沟槽、沟槽间平台的粗糙度、沟槽深度、撕裂和折叠的金属区域及气缸壁的气孔等。 主要用途:气缸、套管及连杆内部的3D表面轮廓工作表面的质量控制发动机相同区域试运转前后的测量主要特点:符合Daimler公司MBN37800标准非接触高精度测量3坐标传感器的精确定位,便于重复测量基本免维护垂直分辨率最大1 nm, 横向分辨率1 µ m坚固和紧凑设计,同时适用于实验室及车间手动或自动传感器定位可调整物镜来改变测量区域和精度通过拼接实现大范围测量技术数据:缸孔直径 [mm] 72 &ndash 142垂直驱动范围 [mm] 127测量范围 [µ m] ± 150最大垂直分辨率 [nm] 1X,Y,R 定位不确定度[µ m] 5采样速率 [µ m/s] 2第一测量点与平台间距离 (高度) [mm] 0最后测量点与平台间距离 (深度) [mm] 137尺寸 [mm] 320 x 320 x 380重量 [kg] 16
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白涉气缸轮廓仪相关的资讯

  • 历史回眸 | 纵览KLA光学轮廓仪的创新发展史
    KLA Instruments拥有如今的光学轮廓仪组合,是早先各品牌合力创新的结果:1.ADE 发布了 MicroXAM 白光干涉仪。2.Zeta&trade Instruments 开发了 ZDot&trade 和多模式光学轮廓仪。3.KLA旗下Filmetrics推出了新型、通用的白光干涉仪。KLA Instruments 品牌下多样化的光学轮廓仪产品都拥有各自悠久的创新历史。1999ADE Phase Shift 推出了 MicroXAM 光学轮廓仪,具有埃米级灵敏度,可用于超光滑表面的相移干涉测量,以及更大台阶高度样品的垂直扫描干涉测量。2006KLA 收购了 ADE 公司,为 KLA 的桌面式量测组合增加了 MicroXAM-100 光学轮廓仪,并推出了面向半导体市场的衬底几何形貌和缺陷检测解决方案。2010Zeta-20 是 Zeta Instruments 推出的第一款产品。Zeta-20 是使用 ZDot&trade 专利技术的光学轮廓仪,它结合了结构照明、共聚焦光学以生成高分辨率的3D表面形貌数据和表面真彩图像。该技术使用户能够轻松地聚焦在任何透明或不透明的表面上,从而实现对台阶高度和粗糙度的快速测量。多模组光学系统将 ZDot 技术与白光干涉仪、剪切干涉仪、透明薄膜反射光谱仪和自动缺陷检测功能相结合,扩展了非接触式3D 光学轮廓仪的应用场景。同年,Zeta-200 发布,带有自动化载台,并推出了发光二极管 (LED) 应用的解决方案。Zeta-200 光学轮廓仪利用高透射光学设计、背光源照明技术和专有算法来测量图形化的蓝宝石衬底 (PSS)。 该系统可以适应各种形状的 PSS 凸起,测量视场中所有 PSS 凸起的高度和间距,从而避免仅测量一小部分区域而产生错误的凸起信号或导致的结果偏差。通过多模式光学系统,还可以测量在 PSS 制造过程中薄膜厚度的变化以及样品的翘曲度。最后,通过自动缺陷检测功能,Zeta-200 可以识别不同缺陷的种类,如剥落的凸块、划痕和颗粒。2011Zeta-280 在 Zeta-200 平台的基础上增加了一个适配单个晶圆盒的桌面式机械手臂。Zeta-300 光学轮廓仪支持测量最大8寸的器件。该系统采用一体化主动或被动隔振平台,并搭配隔声罩隔离环境中的噪声。2012Zeta-20 采用 ZDot技术,为封装微流体器件等透明多表面应用场景提供了一种创新的测量解决方案。微流体器件的封装工艺通常会改变通道的尺寸和外形,从而影响器件的性能。因此,封装后的测量对客户的产品控制至关重要。Zeta-20高透射率的光学设计使得ZDot 信号在经过多膜层透射后仍能保持足够强度,从而可以实现对微流体器件玻璃盖板封装前后关键尺寸参数的测量,例如盖板的厚度、微流体通道的深度和尺寸。同年,将 Zeta-280的桌面式机械手臂与 Zeta-300 平台相结合,推出了Zeta-380自动化测量设备。2014MicroXAM-800 集成了Ambios 和 ADE 相移干涉测量技术的最佳硬件和算法,并搭配创新且易用的软件,用于台阶高度和粗糙度的自动测量。2015基于Zeta-20推出太阳能行业创新解决方案,用于绒面和丝网印刷的工艺控制。太阳能光伏的成本控制和提升转化率,推动着晶硅光伏的技术迭代。金字塔绒面的规格和表面栅线印刷的质量,对晶硅光伏的转化效率产生重要影响,因此成为产品控制的关键环节。绒面工艺控制对于控制绒面金字塔结构的高度、外形和尺寸分布至关重要,因为这会影响太阳能电池的光捕获效率。Zeta-20提供了专为绒面金字塔测量的解决方案,可实现金字塔结构的自动探测和统计。金属栅线采用丝网印刷工艺,该工艺会带来金属栅线的宽度、高度、体积、电学特性等方面的变化,从而增加器件的制造成本。Zeta-20的高动态范围测量模式(HDR)为金属栅线工艺提供了测量解决方案,可实现对反射率差异较大的材料测量。在太阳能电池制造工艺过程中,HDR模式被用于测量镀有减反膜涂层绒面表面的金属栅线3D形貌。同年,推出了Zeta-360 和第一代 Zeta-388 产品,提供了基于Zeta平台的晶圆自动化处理解决方案。 2016Profilm3D 是一款基于白光干涉原理的光学轮廓仪,可以适用于多种应用场景,包括薄膜厚度、表面粗糙度、台阶高度等表面形貌测量,是一种高性价比的三维表面形貌测量解决方案。2017Zeta Instruments 加入KLA Instruments 集团,为KLA光学轮廓仪引入 ZDot 技术和多模式测量技术,扩充KLA光学轮廓仪的产品线。Zeta系列用于3D表面形貌测量,支持研发、生产和全自动化环境。2018KLA旗下Filmetrics 推出了世界上首个专门用于3D形貌数据处理的网络应用程序ProfilmOnline ,利用网络浏览器和强大的智能手机功能,使用户无需电脑即可分析、存储和共享3D数据,包括光学轮廓仪、扫描探针显微镜(如原子力显微镜)和其他三维成像显微镜等获取的三维形貌数据。用户可以便捷地从 Filmetrics Profilm3D 光学轮廓仪上传数据,对其进行分析,并与同事共享测量结果。ProfilmOnline允许用户通过跨平台的任意设备,随时随地访问数据。Profilm3D 增加了 TotalFocus&trade 功能,提供其样品表面的3D自然彩色图像。新一代Zeta-388光学轮廓仪是非接触式三维表面形貌测量系统。该系统在Zeta-300的基础上,更新了用于全自动测量的机械手臂操作系统。Zeta-388支持OCR和SECS/GEM,从而可用于全自动产线的生产制造。该系统提供了具有生产价值的工艺控制测量,如PSS上的凸块高度、粗糙度和台阶高度。Zeta-388凭借在图形化蓝宝石衬底 (PSS)工艺中的应用荣获2018年化合物半导体行业量测奖。2019Filmetrics 正式加入 KLA Instruments 集团。在薄膜厚度、材料光学特性(n、k 值)的测量方面,Filmetrics 系列薄膜测量仪扩充 KLA 桌面式量测产品线。Filmetrics Profilm3D 光学轮廓仪扩充 KLA光学轮廓仪产品线,为客户提供高性价比的表面形貌测量解决方案。2020Profilm3D-200 具有一个行程为 200mm的自动样品台,可放置200mm直径的晶圆样品。2023KLA Instruments 推出Zeta-20HR高分辨率光学轮廓仪,专为满足新型太阳能电池的结构表征和下一代生产工艺的量测需求而设计。Zeta-20HR提高了光学轮廓仪的分辨率,将对太阳能电池结构的表征能力拓展至1µ m以下。这款新型的Zeta光学轮廓仪,基于具有ZDot技术的Zeta-20设计,可配置230mm x 230mm尺寸的样品载台,并具备所有标准化且易用的多模组测量能力。Zeta光学轮廓仪是太阳能电池工艺研发和制程控制的理想量测工具。如需申请测样或产品咨询,可通过仪器信息网和我们取得联系!
  • 智能制造龙城实验室155.00万元采购轮廓仪
    详细信息 智能制造龙城实验室3D表面光学轮廓仪采购及安装项目竞争性磋商公告 江苏省-常州市 状态:公告 更新时间: 2023-09-25 智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目竞争性磋商公告 发布日期:2023-09-25 项目概况 智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目 的潜在投标人应在常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司综合办获取招标文件,并于2023年10月18日14点00分(北京时间)前递交投标文件。 一、项目基本情况 1.项目编号:HZ-CJC2023-072 2.项目名称:智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目 3.采购方式:竞争性磋商 4.预算金额:人民币壹佰伍拾伍万元整(¥1550000元) 5.最高限价:人民币壹佰伍拾伍万元整(¥1550000元);供应商报价时总价不得高于最高限价,否则作为无效响应处理。 6.采购需求:本项目采购内容包含3D表面光学轮廓仪及相关配件一套,包括设备及系统的采购、供货、安装、调试、测试、售后服务、质保、技术培训等,直至通过采购人验收。本项目可采购进口产品。 7.合同履行期限:签订合同后4个月内供货、安装并调试完成。 8.本项目是否接受联合体:□是 ◆否。 9.本项目是否接受进口产品响应:◆是 □否。 二、申请人的资格要求(须同时满足) 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定以及下列情形: 1.1未被“信用中国”网站(WWW.creditchina.gov.cn)或“中国政府采购网”网站(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重失信行为记录名单; 1.2单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商(包含法定代表人为同一个人的两个及两个以上法人,母公司、全资子公司及其控股公司),不得参加同一合同项下的政府采购活动。 2.落实政府采购政策需满足的资格要求: 2.1 中小企业政策 ◆本项目不专门面向中小企业预留采购份额。 □本项目专门面向 □中小 □小微企业 采购。即:提供的货物全部由符合政策要求的中小/小微企业制造、服务全部由符合政策要求的中小/小微企业承接。 □本项目预留部分采购项目预算专门面向中小企业采购。对于预留份额,提供的货物由符合政策要求的中小企业制造、服务由符合政策要求的中小企业承接。预留份额通过以下措施进行: / 。 2.2 其它落实政府采购政策的资格要求(如有): / 。 3.本项目的特定资格要求: 3.1本项目是否接受分支机构参与投标:□是 ◆否; 3.2本项目是否属于政府购买服务: ◆否; □是,公益一类事业单位、使用事业编制且由财政拨款保障的群团组织,不得作为承接主体; 3.3其他特定资格要求: 本项目接受进口产品投标,供应商所投设备为进口产品的,应提供以下之一的证明材料: 3.3.1供应商为所投进口设备的授权经销(代理)商,必须提供制造(生产)商授权投标人的授权书或上级经销(代理)商授权投标人的授权书,并提供逐级经销(代理)商的证书扫描件。 3.3.2供应商为本项目授权供应商,必须提供制造(生产)商授权投标人的授权书或授权经销(代理)商授权投标人的授权书,并提供逐级经销(代理)商的证书扫描件。 三、获取招标文件 1.时间:2023年09月25日至2023年10月08日,每天上午8:30至11:30,下午13:00至17:00(北京时间,法定节假日除外)。 2.地点:常州市政府采购业务管理平台 3.方式:供应商持CA数字认证证书登录常州市政府采购业务管理平台(http://58.216.242.31:8084/cgzx/login)获取电子版磋商文件。 4.售价:/ 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 截止时间:2023年10月18日14点00分(北京时间)。 地点:本项目采用不见面交易方式,无需到现场提交,供应商登录常州市政府采购业务管理平台供应商端,通过系统在线提交电子响应文件。 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.本项目需要落实的政府采购政策:无。 2.本项目采用全流程电子化采购方式,请供应商认真学习常州市政府采购业务管理平台发布的相关操作手册,办理CA认证证书、进行常州市政府采购业务管理平台注册绑定,并认真核实数字认证证书情况确认是否符合本项目电子化采购流程要求。 技术支持服务热线 0519-85588210 CA认证证书办理(可邮寄)联系电话 0519-85588120 2.1办理CA认证证书 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”下载并查阅“常州市政府采购业务管理平台(供应商)国信CA证书办理指南”,按照程序要求办理。 2.2注册 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”-“常州市政府采购业务管理平台供应商操作指南”下载相关操作手册、操作视频等,查阅后进行自助注册。 2.3控件、客户端下载 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”-“常州市政府采购业务管理平台供应商客户端下载下载”下载相关控件和客户端。 2.4获取电子磋商文件 供应商持CA数字认证证书登录常州市政府采购业务管理平台获取电子磋商文件。未在规定期限内通过常州市政府采购业务管理平台获取磋商文件的响应无效。 2.5编制电子响应文件 供应商应使用电子响应文件制作客户端编制电子响应文件并进行线上响应,供应商电子响应文件需要加密并加盖电子签章,如无法按照要求在电子响应文件中加盖电子签章和加密,请及时通过技术支持服务热线联系技术人员。 2.6提交电子响应文件 供应商应于响应截止时间前在常州市政府采购业务管理平台提交电子响应文件,上传电子响应文件过程中请保持与互联网的连接畅通。 2.7电子开标 供应商使用CA认证证书登录常州市政府采购业务管理平台进行电子化不见面开标。 2.8注意事项 供应商在开标前应当使用“验证CA”功能验证本地计算机的控件环境是否正常,并且在开标、评审过程中不可随意更换计算机,必须使用验证成功的计算机进行操作,否则造成相应后果由供应商自行承担。 3.关于常州市中小企业政府采购信用融资: 根据《常州市财政局 中国人民银行常州市中心支行关于进一步推进政府采购信用融资工作的通知》(常财购〔2021〕13号)等有关文件精神,我市实行政府采购信用融资,将信用作为政策工具引入政府采购领域,金融机构根据政府采购项目中标(成交)通知书或中标(成交)合同,为中标(成交)中小企业供应商提供相应额度贷款的融资模式。申请条件及操作流程等事项详见该文件相关内容或者常州市政府采购网--政采融资平台栏目。 3.答疑 投标单位对招标文件如有疑问,请将疑问于2023年10月08日20:30前以书面或邮件形式递交至常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司(注:① 答疑文件须加盖投标单位公章;② 答疑文件以代理机构收到时间为准;否则代理机构有权拒收其答疑文件)。 七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称:智能制造龙城实验室 地 址:常州科教城三一路江南现代工研院三楼 联系方式:倪老师;0519-86336899 2.采购代理机构信息 名 称:常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司 地 址:常州市北塘河路8号恒生科技园44-2栋(一号大门往北一百米) 联系方式:周工;0519-83999268 3.项目联系方式 项目联系人:周工 电 话:0519-83999268 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容:轮廓仪 开标时间:2023-10-18 14:00 预算金额:155.00万元 采购单位:智能制造龙城实验室 采购联系人:点击查看 采购联系方式:点击查看 招标代理机构:常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司 代理联系人:点击查看 代理联系方式:点击查看 详细信息 智能制造龙城实验室3D表面光学轮廓仪采购及安装项目竞争性磋商公告 江苏省-常州市 状态:公告 更新时间: 2023-09-25 智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目竞争性磋商公告 发布日期:2023-09-25 项目概况 智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目 的潜在投标人应在常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司综合办获取招标文件,并于2023年10月18日14点00分(北京时间)前递交投标文件。 一、项目基本情况 1.项目编号:HZ-CJC2023-072 2.项目名称:智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目 3.采购方式:竞争性磋商 4.预算金额:人民币壹佰伍拾伍万元整(¥1550000元) 5.最高限价:人民币壹佰伍拾伍万元整(¥1550000元);供应商报价时总价不得高于最高限价,否则作为无效响应处理。 6.采购需求:本项目采购内容包含3D表面光学轮廓仪及相关配件一套,包括设备及系统的采购、供货、安装、调试、测试、售后服务、质保、技术培训等,直至通过采购人验收。本项目可采购进口产品。 7.合同履行期限:签订合同后4个月内供货、安装并调试完成。 8.本项目是否接受联合体:□是 ◆否。 9.本项目是否接受进口产品响应:◆是 □否。 二、申请人的资格要求(须同时满足) 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定以及下列情形: 1.1未被“信用中国”网站(WWW.creditchina.gov.cn)或“中国政府采购网”网站(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重失信行为记录名单; 1.2单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商(包含法定代表人为同一个人的两个及两个以上法人,母公司、全资子公司及其控股公司),不得参加同一合同项下的政府采购活动。 2.落实政府采购政策需满足的资格要求: 2.1 中小企业政策 ◆本项目不专门面向中小企业预留采购份额。 □本项目专门面向 □中小 □小微企业 采购。即:提供的货物全部由符合政策要求的中小/小微企业制造、服务全部由符合政策要求的中小/小微企业承接。 □本项目预留部分采购项目预算专门面向中小企业采购。对于预留份额,提供的货物由符合政策要求的中小企业制造、服务由符合政策要求的中小企业承接。预留份额通过以下措施进行: / 。 2.2 其它落实政府采购政策的资格要求(如有): / 。 3.本项目的特定资格要求: 3.1本项目是否接受分支机构参与投标:□是 ◆否; 3.2本项目是否属于政府购买服务: ◆否; □是,公益一类事业单位、使用事业编制且由财政拨款保障的群团组织,不得作为承接主体; 3.3其他特定资格要求: 本项目接受进口产品投标,供应商所投设备为进口产品的,应提供以下之一的证明材料: 3.3.1供应商为所投进口设备的授权经销(代理)商,必须提供制造(生产)商授权投标人的授权书或上级经销(代理)商授权投标人的授权书,并提供逐级经销(代理)商的证书扫描件。 3.3.2供应商为本项目授权供应商,必须提供制造(生产)商授权投标人的授权书或授权经销(代理)商授权投标人的授权书,并提供逐级经销(代理)商的证书扫描件。 三、获取招标文件 1.时间:2023年09月25日至2023年10月08日,每天上午8:30至11:30,下午13:00至17:00(北京时间,法定节假日除外)。 2.地点:常州市政府采购业务管理平台 3.方式:供应商持CA数字认证证书登录常州市政府采购业务管理平台(http://58.216.242.31:8084/cgzx/login)获取电子版磋商文件。 4.售价:/ 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 截止时间:2023年10月18日14点00分(北京时间)。 地点:本项目采用不见面交易方式,无需到现场提交,供应商登录常州市政府采购业务管理平台供应商端,通过系统在线提交电子响应文件。 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.本项目需要落实的政府采购政策:无。 2.本项目采用全流程电子化采购方式,请供应商认真学习常州市政府采购业务管理平台发布的相关操作手册,办理CA认证证书、进行常州市政府采购业务管理平台注册绑定,并认真核实数字认证证书情况确认是否符合本项目电子化采购流程要求。 技术支持服务热线 0519-85588210 CA认证证书办理(可邮寄)联系电话 0519-85588120 2.1办理CA认证证书 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”下载并查阅“常州市政府采购业务管理平台(供应商)国信CA证书办理指南”,按照程序要求办理。 2.2注册 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”-“常州市政府采购业务管理平台供应商操作指南”下载相关操作手册、操作视频等,查阅后进行自助注册。 2.3控件、客户端下载 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”-“常州市政府采购业务管理平台供应商客户端下载下载”下载相关控件和客户端。 2.4获取电子磋商文件 供应商持CA数字认证证书登录常州市政府采购业务管理平台获取电子磋商文件。未在规定期限内通过常州市政府采购业务管理平台获取磋商文件的响应无效。 2.5编制电子响应文件 供应商应使用电子响应文件制作客户端编制电子响应文件并进行线上响应,供应商电子响应文件需要加密并加盖电子签章,如无法按照要求在电子响应文件中加盖电子签章和加密,请及时通过技术支持服务热线联系技术人员。 2.6提交电子响应文件 供应商应于响应截止时间前在常州市政府采购业务管理平台提交电子响应文件,上传电子响应文件过程中请保持与互联网的连接畅通。 2.7电子开标 供应商使用CA认证证书登录常州市政府采购业务管理平台进行电子化不见面开标。 2.8注意事项 供应商在开标前应当使用“验证CA”功能验证本地计算机的控件环境是否正常,并且在开标、评审过程中不可随意更换计算机,必须使用验证成功的计算机进行操作,否则造成相应后果由供应商自行承担。 3.关于常州市中小企业政府采购信用融资: 根据《常州市财政局 中国人民银行常州市中心支行关于进一步推进政府采购信用融资工作的通知》(常财购〔2021〕13号)等有关文件精神,我市实行政府采购信用融资,将信用作为政策工具引入政府采购领域,金融机构根据政府采购项目中标(成交)通知书或中标(成交)合同,为中标(成交)中小企业供应商提供相应额度贷款的融资模式。申请条件及操作流程等事项详见该文件相关内容或者常州市政府采购网--政采融资平台栏目。 3.答疑 投标单位对招标文件如有疑问,请将疑问于2023年10月08日20:30前以书面或邮件形式递交至常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司(注:① 答疑文件须加盖投标单位公章;② 答疑文件以代理机构收到时间为准;否则代理机构有权拒收其答疑文件)。 七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称:智能制造龙城实验室 地 址:常州科教城三一路江南现代工研院三楼 联系方式:倪老师;0519-86336899 2.采购代理机构信息 名 称:常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司 地 址:常州市北塘河路8号恒生科技园44-2栋(一号大门往北一百米) 联系方式:周工;0519-83999268 3.项目联系方式 项目联系人:周工 电 话:0519-83999268
  • 110万!广东省科学院半导体研究所计划采购非接触式光学轮廓仪
    一、项目基本情况项目编号:GZGK22P197A0608Z项目名称:广东省科学院半导体研究所非接触式光学轮廓仪采购项目采购方式:公开招标预算金额:1,100,000.00元采购需求:合同包1(非接触式光学轮廓仪):合同包预算金额:1,100,000.00元品目号品目名称采购标的数量(单位)技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1光学测试仪器非接触式光学轮廓仪设备采购1(台)详见采购文件1,100,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限:见“标的提供时间”要求。二、申请人的资格要求:1.投标供应商应具备《政府采购法》第二十二条规定的条件,提供下列材料:1)具有独立承担民事责任的能力:在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织或自然人, 投标(响应)时提交有效的营业执照(或事业法人登记证或身份证等相关证明) 副本复印件。分支机构投标的,须提供总公司和分公司营业执照副本复印件,总公司出具给分支机构的授权书。2)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录:提供投标截止日前6个月内任意1个月依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料。 如依法免税或不需要缴纳社会保障资金的, 提供相应证明材料。3)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度:供应商必须具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度(提供2021年度财务状况报告或基本开户行出具的资信证明) 。4)履行合同所必需的设备和专业技术能力:按投标(响应)文件格式填报设备及专业技术能力情况。5)参加采购活动前3年内,在经营活动中没有重大违法记录:参照投标(报价)函相关承诺格式内容。 重大违法记录,是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。(根据财库〔2022〕3号文,“较大数额罚款”认定为200万元以上的罚款,法律、行政法规以及国务院有关部门明确规定相关领域“较大数额罚款”标准高于200万元的,从其规定)2.落实政府采购政策需满足的资格要求:合同包1(非接触式光学轮廓仪)落实政府采购政策需满足的资格要求如下:本采购包不属于专门面向中小企业采购的项目。3.本项目的特定资格要求:合同包1(非接触式光学轮廓仪)特定资格要求如下:(1)供应商未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)“记录失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为”记录名单;不处于中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间。(以资格审查人员于投标(响应)截止时间当天在“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)及中国政府采购网(http://www.ccgp.gov.cn/)查询结果为准,如相关失信记录已失效,供应商需提供相关证明资料)。(2)单位负责人为同一人或者存在直接控股、 管理关系的不同供应商,不得同时参加本采购项目(或采购包) 投标(响应)。 为本项目提供整体设计、 规范编制或者项目管理、 监理、 检测等服务的供应商, 不得再参与本项目投标(响应)。 投标(报价) 函相关承诺要求内容。(3)已获取本项目采购文件。三、获取招标文件时间: 2022年09月05日 至 2022年09月13日 ,每天上午 00:00:00 至 12:00:00 ,下午 12:00:00 至 23:59:59 (北京时间,法定节假日除外)地点:广东省政府采购网https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/方式:在线获取售价: 免费获取四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点2022年09月26日 14时30分00秒 (北京时间)递交文件地点:广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼(中国广州分析测试中心对面)开标地点:广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼(中国广州分析测试中心对面)五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜1.本项目采用电子系统进行招投标,请在投标前详细阅读供应商操作手册,手册获取网址:https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/help/transaction/download.html。投标供应商在使用过程中遇到涉及系统使用的问题,可通过400-1832-999进行咨询或通过广东政府采购智慧云平台运维服务说明中提供的其他服务方式获取帮助。2.供应商参加本项目投标,需要提前办理CA和电子签章,办理方式和注意事项详见供应商操作手册与CA办理指南,指南获取地址:https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/help/problem/。3.如需缴纳保证金,供应商可通过"广东政府采购智慧云平台金融服务中心"(http://gdgpo.czt.gd.gov.cn/zcdservice/zcd/guangdong/),申请办理投标(响应)担保函、保险(保证)保函。本项目支持电子保函,可通过登录项目采购电子交易系统跳转至电子保函系统进行在线办理。电子保函办理办法详见供应商操作手册。七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。1.采购人信息名 称:广东省科学院半导体研究所地 址:广州市天河区长兴路363号联系方式:020-610864202.采购代理机构信息名 称:广州市国科招标代理有限公司地 址:广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼(中国广州分析测试中心对面)联系方式:020-38364802、020-876876513.项目联系方式项目联系人:钟先生、苏先生电 话:020-38364802、020-87687651

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    SuperView W11200[b][color=#3366ff]光学3D表面轮廓仪[/color][/b]是一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。[align=center][img=,690,604]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707201529_01_3712_3.jpg[/img][/align]  SuperView W11200光学3D表面轮廓仪只需操作者装好被测器件,在软件测量界面上设置好视场参数,调整镜头到接近器件表面,选择自动聚焦,仪器会对器件表面进行自动对焦并找到干涉条纹,调节好干涉条纹宽度后即可开始进行扫描测量;扫描结束后,软件分析界面自动生成器件3D图像,操作者可通过软件对生成的3D形貌进行数据处理与分析,获取表征器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、3D参数。  SuperViewW1 1200 光学3D表面轮廓仪采用光学非接触式测量方法,它具有测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点,其独特的光源模式,保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。  系统软件为简体中文操作系统,操作方便。应用范例:[align=center][img=,690,352]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707201530_01_3712_3.jpg[/img][/align][align=center][img=,690,543]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/07/201707201530_02_3712_3.jpg[/img][/align] 性能特点:1、 高精度、高重复性、高稳定性1) 采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块组成测量系统,保证测量精度高;2) 精密的Z向扫描模块和独特的测量模式,保证测量重复性高;3) 高性能的内部抗震设计,为测量高稳定性保驾护航。2、 自动化操作的测量分析软件1)测量初始的自动聚焦,帮助操作者省却繁琐的调节过程;2)独特测量模式,帮助操作者快速测量不同形貌的待检样品;3)可视化窗口,便于操作者实时观察扫描过程;4)直观的软件分析界面,便于操作者第一时间获悉样品参数信息;5)强大的数据处理与分析功能,帮助操作者深入了解被测样品情况;6)一键分析,便于操作者快速实现大批量测量;7)同步分析,实现对样品分析操作的所见即所得;8)可视化的报表导出(可选择导出的图像与数据结果到word、pdf等文档)。3、 测量参数齐全根据四大国内外标准(ISO/ASME/EUR/GBT)的多达300余种2D、3D参数,让操作者对被测样品的认识更加全面具体。4、 精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

  • 光学3D表面轮廓仪在半导体行业中的应用

    [quote]引言:半导体产业是一个点石成金的行业,将从普通的石英砂中提取的硅原料制成拥有现代工业系统“心脏”之称的IC芯片,中间须历经数十上百道工序,从硅晶圆的制备到晶圆IC的制造,每一步都对工艺流程的质量有着严格的管控要求,由各式各样的检测仪器共同组成了产品质量监控的守门员,而在这之中,作为产品表面质量检测仪器的光学3D表面轮廓仪,以其超高的检测精度和重复性,发挥着重要的作用。[/quote]  中图仪器SuperView W1[b][color=#3333ff]光学3D表面轮廓仪[/color][/b],是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器,其分辨率可达0.1nm。半导体产业作为超精密加工领域一颗璀璨的明珠,在其硅晶圆的制备和晶圆IC的制造过程中,光学3D表面轮廓仪都以其强大的表面质量检测功能给这颗明珠增添一份靓丽的色彩。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257216238.png[/img][/align][color=#ffffff]硅晶圆的粗糙度检测[/color]在半导体产业中,硅晶圆的制备质量直接关系着晶圆IC芯片的制造质量,而硅晶圆的制备,要经过十数道工序,才能将一根硅棒制成一片片光滑如镜面的抛光硅晶圆,如下图所示,提取表面一区域进行扫描成像。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804250029083.png[/img][/align]通过上图我们看到,制备好的抛光硅晶圆表面轮廓起伏已在数纳米以内,其表面粗糙度在0.5nm左右,由于其粗糙度精度已到亚纳米量级,而在此量级上,接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足检测要求,只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的光学3D表面轮廓仪才适用。[color=#ffffff]晶圆IC的轮廓检测[/color]晶圆IC的制造过程可简单看作是将光罩上的电路图通过UV蚀刻到镀膜和感光层后的硅晶圆上这一过程,其中由于光罩中电路结构尺寸极小,任何微小的粘附异物和瑕疵均会导致制造的晶圆IC表面存在缺陷,因此必须对光罩和晶圆IC的表面轮廓进行检测。下图是一块蚀刻后的晶圆IC,使用光学3D表面轮廓仪对其中一个微结构扫描还原3D图像,并测量其轮廓尺寸。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804252060141.png[/img][/align][color=#ffffff]晶圆IC减薄后的粗糙度检测[/color]在硅晶圆的蚀刻完成后,根据不同的应用需求,需要对制备好的晶圆IC的背面进行不同程度的减薄处理,在这个过程中,需要对减薄后的晶圆IC背面的表面粗糙度进行监控以满足后续的应用要求。在减薄工序中,晶圆IC的背面要经过粗磨和细磨两道磨削工序,下图是粗磨后的晶圆IC背面,选取其中区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804253935356.png[/img][/align]从上图可以看出,粗磨后的表面存在明显的磨削纹路,而3D图像显示在左下部分存在一处凹坑瑕疵,沿垂直纹理方向提取剖面轮廓并经过该瑕疵,在剖面轮廓曲线里可看到该处瑕疵最大起伏在2.4um左右,而磨削纹理起伏最大在1um范围内波动,并获取该区域的面粗糙度Sa为216nm,剖面线的粗糙度Ra为241nm。而在经过细磨后,晶圆IC背面的磨削纹理已基本看不出,选取表面区域进行成像分析。[align=center][img]http://www.chotest.com/Upload/2018/4/201804257060316.png[/img][/align]从上图可知,在经过细磨之后,晶圆IC背面的磨削纹理轮廓起伏已经降到36nm附近,其表面粗糙度也已经从200多nm直降到6nm左右。以上是SuperView W1光学3D表面轮廓仪在半导体产业中的几种典型应用案例。目前我国正在大力推进半导体产业跨越式大发展,中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪必将为此贡献更多力量。

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  • 三维表面轮廓仪配件
    三维表面轮廓仪配件是德国进口的高精度多功能表面轮廓测量仪器,也是一款光学轮廓仪,非常适合对表面几何形状和表面纹理分析。三维表面轮廓仪配件根据国际标准计算2D和3D参数,使用最新的ISO 25178 标准表面纹理分析,依靠最新的 ISO 16610 滤除技术进行计算,从而保证了国际公信力,以标准方案或定制性方案对2D轮廓或三维轮廓表面形貌和表面纹理,微米和纳米形状,圆盘,圆度,球度,台阶高度,距离,面积,角度和体积进行多范围测量,创造性地采用接触式和非接触式测量合并技术,一套表面轮廓仪可同时具有接触式和非接触式测量的选择。三维轮廓仪配件参数:定位台行程范围:X: 200 mm Y: 200 mm Z: 200 mm (电动)接触式测量范围: 范围0.1mm, 分辨率2nm, 速度 3mm/s 范围:2.5mm 分辨率40nm, 速度3mm/s非接触式测量范围: 范围:300um, 分辨率2nm, 速度30mm/s 范围:480um, 分辨率2nm, 速度30mm/s 范围:1mm, 分辨率5nm, 速度30mm/s 范围:3.9mm , 分辨率15nm, 速度30mm/s表面轮廓仪配件应用:测量轮廓,台阶高度,表面形貌,距离,面积,体积分析形态,粗糙度,波纹度,平整度,颗粒度摩擦学研究,光谱分析磨料磨具,航天,汽车,化妆品,能源,医疗,微机电系统,冶金,造纸和塑料等领域。
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