微型电机

微型精密电动位移台MD系列MD系列小尺寸精密电动位移台采用高精密交叉滚柱导轨配合小导程进口C5 或C3 级滚珠丝杠直联两项步进电机，具有更高的分辨率和定位精度以及更紧凑的外形。其电机内部集成编码器，让MD 系列产品形成闭环系统，在分辨率和定位精度得到了保证。本系列产品主体材料均采用优质铝合金，通过卓立特有的精密磨削技术及加工中心一次定位铣削工艺保证产品零件的尺寸和形位公差。整体装配采用激光干涉仪和三坐标测量仪实时跟踪，保证最终产品组装精度及运动定位精度。产品注重尺寸小巧，节省空间。MD系列微型精密电动位移台产品特点： 结构小巧、精度高采用小导程滚珠丝杠，适合微步移动采用日本进口2mm交叉滚柱导轨，实现超高直线运动性能采用丝杠直连式一体化电机驱动，免去联轴器引起的丢步，实现高运动精度。MD系列微型精密电动位移台选型表： 型号MDP13-40MDP25-65MDT13-40MDT25-65行程范围（mm）±6.5±12.5±6.5±12.5台面尺寸（mm）40X4065X6540X4065X65主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理导轨交叉滚柱导轨滚珠丝杠直径Φ6mm X导程1mm分辨率（μm/脉冲）Step：2 Half：1Step：5 Half：2.5最大速度（mm/sec）10定位精度（μm）1030重复定位精度（μm）13回程间隙（μm）26静态平行度（μm）30405080运动平行度（μm）15202530俯仰/偏摆 （″）25/2520/2030/3025/25最大静扭矩（Nm）16mN.m80mN.m中心负载（Kg）3535自重（Kg）0.40.60.50.8限位传感器2个原点传感器1个表面处理阳极氧化（符合RoHS）

分析表明，叉指电极传感器的电极对数对叉指电极传感器的信噪比没有影响。原因在于:叉指电极传感器的信号的大小和噪声的大小都和叉指电极结构的表面积成正比例变化关系。当叉指电极对数增加时，叉指电极结构的表面积随之增大，叉指电极传感器的信号的大小和噪声的大小同时等比例增大，使得叉指电极传感器的信噪比基本保持不变。因此可以得出结论，电极的对数对叉指电极传感器信噪比的大小基本没有影响。叉指电极间距的减小可以使信噪比增大的同时提高信号幅。如应用于化学传感领域，叉指电极间距的减小还可以有效地提高化学反应的速率、加快建立反应进行过程，从而能够提高传感器性能，并缩短叉指电极传感器反应的时间。叉指电极传感器的电极宽度的减小在提高信噪比的同时会使检测信号的幅值降低。折叠制造工艺1.叉指电极基底的选择衬底 成本 金属化 机械性陶瓷 中等 一般 较差塑料 低廉 较差 一般硅 较高 较好 非常好玻璃 较低 较好 较差柔性叉指电极微型探针台柔性叉指电极微型探针台KT-Z4019MRL4T 参数 真空腔体类型高温型室温到400℃高低温型 室温到400℃ 室温到-196℃腔体材质304不锈钢 6061铝合金 可选腔体内尺寸127mmX57mmX20mm腔体外尺寸150mmX80mmX32mm腔体重量不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG腔体上视窗尺寸Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）腔体抽气口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体真空测量口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体进气口6mm快拧 或 6mm快插腔体冷却方式腔体水冷+上盖气冷腔体水冷接口腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块样品台尺寸26x26mm样品台加热方式电阻加热电阻加热 液氮制冷样品台-视窗 距离11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）样品台测温传感器PT100型热电阻样品台温度室温到400℃室温到400℃ 室温到-196℃样品台测温误差±0.5℃样品台升温速率高温100℃/min 低温7℃/min温控仪温度显示 7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100 （可选K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热直流线性电源加热+液氮流速控制器辅助功能温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口温控器尺寸32cmX170cmX380cm温控器重量约5.6KG探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可扩展5探针）探针材质镀金钨针 （其他材质可选）探针尖10μm手动探针移动平台X轴移动行程20mm ±10mm（需手动推动滑台）X轴控制精度≥500μmR轴移动行程120° ±60°（需手动旋转探针杆）R轴控制精度≥500μmZ轴移动行程2mm ±1mmZ轴控制精度≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）

硅基叉指电极微型探针台KT-Z4019MRL4T 电化学传感器通过与被测目标分析物发生反应，并产生与目标分析物浓度成比例的电信号来工作。典型的电化学传感器由传感电极和反电极组成，并有一个薄电解层隔开。在环境监测中，可以在电化学传感器的电极之间生长可与目标分析物发生反应并发生阻值变化的捕获物，通过检测捕获物的电阻值变化，实现检测环境中大部分有毒有害生物化学物质的目的。电化学传感器通常具有操作简单、仪器成本低等特点。除此之外，电化学传感器可以与各种的微机电系统制造技术联用，从而实现大规模的批量生产，并且可以实现小型化从而降低成本。折叠编辑本段结构叉指电极结构微间距的叉指电极是一种为常用的微间距电极结构，它被广泛的应用于非破坏性测试、电子通讯、化学测试等多个领域。 一般来说，不同的应用领域对于叉指电极的形状、几何学尺寸、加工工艺、材料的选择、建模分析、系统集成以及数据的分析都有不同的要求，因此对于不同的领域我们应该区分对待。如图所示，列出了几种常见的叉指电极结构，基本的结构有圆形、矩形等，而每条叉指的形状除简单的矩形外，也可有圆形或矩形突起。在这里，我们要根据环境监测的具体要求，针对叉指电极的结构形状进行分析说明和终的结构选择，确定具体的设计参数根据微弱信号检测的相关原理，在低频信号测量时，电阻值越高，其相应的电阻热噪声和闪烁噪声也就越高，不利于信号的提取和检测[1]。所以，可以通过减少敏感膜电阻值的方法，实现对气体敏感传感器的信号噪声比的提高，从而减小噪声对测量信号的干扰。根据电阻的计算公式，影响阻值变化的因素主要有电阻率、电阻长度及横截面积等。一般情况下，气体敏感材料薄膜的电阻率较高，因此减小敏感膜电阻值的方法是增加敏感膜的厚度或者是增大敏感膜的宽长比。但是，敏感膜的厚度太大会降低气体敏感传感器的响应时间。因此，综合考虑到响应时间和信噪比，需要设计优化气体敏感传感器中微电极的厚度和长宽比。硅基叉指电极微型探针台KT-Z4019MRL4T 参数 真空腔体类型高温型室温到350℃高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃腔体材质304不锈钢 6061铝合金 可选腔体内尺寸127mmX57mmX20mm腔体外尺寸150mmX80mmX32mm腔体重量不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG腔体上视窗尺寸Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）腔体抽气口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体真空测量口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体进气口6mm快拧 或 6mm快插腔体冷却方式腔体水冷+上盖气冷腔体水冷接口腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块样品台尺寸26x26mm样品台加热方式电阻加热电阻加热 液氮制冷样品台-视窗 距离11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）样品台测温传感器PT100型热电阻样品台温度室温到400℃室温到400℃ 室温到-196℃样品台测温误差±0.5℃样品台升温速率高温100℃/min 低温7℃/min温控仪温度显示 7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100 （可选K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热直流线性电源加热+液氮流速控制器辅助功能温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口温控器尺寸32cmX170cmX380cm温控器重量约5.6KG探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可扩展5探针）探针材质镀金钨针 （其他材质可选）探针尖10μm手动探针移动平台X轴移动行程20mm ±10mm（需手动推动滑台）X轴控制精度≥500μmR轴移动行程120° ±60°（需手动旋转探针杆）R轴控制精度≥500μmZ轴移动行程2mm ±1mmZ轴控制精度≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）