潘宁真空计

人类的进步和生活方式的改变，与科学的发展和变革息息相关。从古代人对天文地理编制的美丽神话“盘古开天”，到21世纪好莱坞科幻大片中的“星际穿越”，人类对于广袤宇宙的向往和探索从未停止过。纵观近现代 “群星闪耀”的基础物理发展史，从牛顿，麦克斯韦到爱因斯坦，从万有引力，相对论到量子力学，超弦理论，这些重大发现和著名物理学家不断涌现，推动了现代科学的快速发展。然而，近50年的时间里，基础物理学稍显停滞，并没有出现能够与相对论、量子力学等重大理论突破相提并论的新发展。正因为此，很多拥有伟大物理梦想的科学家和研究人员在着力推动基本粒子和暗物质粒子探测研究，期待可以直达真理，不断探索宇宙的终极秘密。在“标准宇宙学模型”中，宇宙由68%的暗能量（Dark energy）、27%的暗物质（Dark matter）和5%的普通物质（matter）组成，但迄今还没有暗物质观测的直接数据。当前探测暗物质粒子主要包括三类实验方案：一是对撞机探测，通过对撞机实验来产生暗物质粒子，进而探测出来；二是间接探测，包括卫星试验和空间站实验，例如2008年美国发射的名为Fermi的γ射线探测卫星，2015年我国发射的“悟空”暗物质粒子探测卫星；三是直接探测，通过暗物质粒子与原子核作用对暗物质粒子进行探测，但由于作用信号非常微弱，很容易湮没在大量本底环境中，因此需要把探测器放在地底深处的实验室以屏蔽宇宙射线干扰。中国PandaX暗物质探测项目持续推进‍在暗物质粒子的直接探测实验领域，全球有三大最先进的研究项目实验组；中国的PandaX，美国的LUX-ZEPLIN，意大利的XENON。PandaX（熊猫计划）是“粒子和天体物理氙探测器”（Particle and Astrophysical Xenon Experiments）的英文简写，是我国开展的首个百公斤级大型暗物质实验。这些实验都是利用液氙（Xe）作为探测媒介来寻找暗物质。PandaX项目组依托于上海交通大学粒子与核物理研究所和李政道研究所，并与中国科学技术大学，北京大学，山东大学和南开大学等相关实验室直接合作。在2016年PandaX二期实验（500公斤级液氙）已经取得了世界领先的暗物质探测灵敏度。据上海交通大学低温制冷与液化研究室负责人巨永林教授表示，目前正在进行四吨级液氙探测实验PandaX-4T，将暗物质探测灵敏度向前推进了1-2个数量级。暗物质直接探测需要稳定的低温真空环境 尽管直接探测实验在全世界已经开展了约30年的时间，实验灵敏度有了巨大的提高，但是到目前为止，还没有发现令人信服的暗物质散射的信号。因此，PandaX-4T探测项目通过使用4吨液氙全面增大了灵敏度，但同时在整体实验设计上也会有很多新挑战并需要各种性能优化。考虑到探测机制原理，要探测未知的暗物质跟已知的氙原子可能产生的微弱的闪动光信号，并将其转换成电信号放大来测量，关键就是把其他已知粒子带来的信号全部排斥在外。在PandaX-4T实验项目中，包括了八个子系统：时间投影室探测系统、光电探测系统、前端电子学系统、触发和数据获取系统、气体存储和处理（又称气体纯化）系统、低温系统、精馏系统、低本底控制系统等。其中，低温制冷系统和气体纯化系统都使用了真空泵组作为必要的设备部件，来实现两个基本保障：首先是稳定的低温真空工作环境（零下95度左右），减少外界环境的漏热，将探测介质氙的温度波动控制在大概±0.1k；同时，需要先将材料表面、阀门管道和管线等烘烤加快杂质气体释放，然后抽真空处理，这样氙和极少量的残余气体流经纯化系统，此过程中会吸附气体杂质（避免杂质对后期微弱信号捕捉的干扰），保障氙的纯度。普发真空泵为客户提供高性能真空解决方案PandaX从最开始的250公斤氙的用量，到现在的PandaX-4T，即4吨有效探测量的氙，计划未来将进行30吨级暗物质探测实验，全面覆盖暗物质的参数空间。所以，系统越大就越复杂，探测设备的尺寸越大，绝缘结构和隔热结构的层数就越多，管线数量大大增加。因而对真空泵的数量或者抽速就带来很高的要求，比如理想的夹层真空度一般需要达到10-4帕。因此，实验项目组选择真空泵的主要性能参数（技术指标）就包含了极限真空度，真空泵抽速，密封性，尺寸规格等。据上海交通大学制冷与液化研究室负责人巨永林教授表示，目前PandaX实验组已经购买了10台普发真空泵（其中6台用于低温系统和液氙存储系统，4台用于精馏系统），主要有以下几个方面的原因：首先，普发真空产品的主要技术指标能够满足严苛的实验条件；其次，产品性能足够优异的基础上，价格合理；再次，普发真空的辅助测量系统使用便捷而稳定，能对持续大半年的不间断探测运行提供可靠的支持；最后，普发真空的售后服务也很完善，能够提供各种技术支持和泄露检测解决方案等等，从而有力地支持了整个PandaX项目运行。从现在到未来，普发真空不断助推暗物质探测目前，普发的真空泵Hicube300Pro和Hipace300已经在PandaX-4T实验项目中得到了成功实践。一方面，真空泵作为必要备件被部署于上海研发实验室的暗物质探测器的子系统中，配合优化和升级的需要；另一方面，普发真空泵被部署于位于世界岩石覆盖最深的四川锦屏地下实验室暗物质探测系统中，实现稳定运行。从实际探测过程看，普发真空泵基本保障了整个探测系统的低温真空环境，为确保探测的灵敏度和精度保驾护航。值得一提的，由于系统运行的特殊地理环境等因素，可靠实时地保障系统各层级的极限真空度，系统部件必须确保极低的漏率，因此PandaX-4T项目还使用了ASM 340D系列检漏仪。通过采用该设备，可以有效地监测出来细微到10-13 Pa• m3/s 的泄漏。 “在目前PandaX-4T项目的基础上，实验室还在研发30吨液氙的探测项目，希望把精度推向下一个数量级。在我们的计划中，从2025年到2035年，这一项目预计总投资将达到数十亿人民币，需要购买47吨液氙来进行暗物质探测。”对于未来的研究计划，巨永林教授满怀信心，也满怀期待，“毫无疑问，液氙的量级越高，对于低温真空环境的稳定性要求也会越高，未来对高性能真空泵的需求也是非常大的。我们希望，以普发真空为代表的企业，能为我们的基础物理研究不断提供更好的工具支持。” 关于普发真空普发真空- (Stock Exchange Symbol PFV, ISIN DE0006916604)-作为全球领先的真空技术解决方案的供应商之一。我们不仅拥有全系列的复合轴承及全磁悬浮涡轮分子泵, 同时还拥有各种旋片泵，干泵，罗茨泵，多级罗茨泵，检漏仪，真空计， 质谱仪等产品以及真空管件和系统解决方案。 从普发真空发明涡轮分子泵至今, 我们在全球分析仪器、工业、科研、半导体和前端技术领域，始终代表着创新的解决方案和高品质的产品。公司自1890年创立至今百余年始终走在世界前沿， 在全球拥有 3,400 多名员工，20 多个办事处和 10 个制造工厂。

详细信息 辽宁省金秋医院2021年环氧乙烷灭菌器采购项目竞争性谈判公告 辽宁省-沈阳市-沈河区 状态：公告 更新时间： 2022-06-08 公告信息 公告信息 公告标题: 辽宁省金秋医院2021年环氧乙烷灭菌器采购项目竞争性谈判公告 有效期: 2022-06-08 至 2022-06-13 撰写单位: 辽宁乔泰全过程项目管理有限公司 （辽宁省金秋医院2021年环氧乙烷灭菌器采购项目）竞争性谈判公告 项目概况 辽宁省金秋医院2021年环氧乙烷灭菌器采购项目采购项目的潜在供应商应在辽宁政府采购网获取采购文件，并于2022年06月14日 11时00分（北京时间）前提交响应文件。 一、项目基本情况 项目编号：JH21-210000-86925 项目名称：辽宁省金秋医院2021年环氧乙烷灭菌器采购项目 采购方式：竞争性谈判 包组编号：001 预算金额（元）：1,800,000.00 最高限价（元）：1,700,000 采购需求： 查看 包号/序号：001/01 产品名称：环氧乙烷灭菌器 数量：1台 是否为经过审批采购的进口产品：是 是否为核心产品（非单一产品采购项目时适用）：是 标的对应的中小企业划分标准所属行业：工业 1、内舱容积 ：≥ 220 升。 2、灭菌温度：35℃ - 55℃。 3、灭菌剂浓度450-1200mg/L。 4、灭菌时相对湿度：40%—80%，自动控制。 5、灭菌时间1–4.5小时。 6、循环程序：2个常规灭菌程序：35－40℃和50－55℃；2个半周期程序：35－40℃和50－55℃；2个单独通风解析程序：35－40℃和50－55℃；1个单独通风解析程序。 7、电脑自动控制，可对关键灭菌参数（灭菌时间、灭菌舱内湿度、灭菌舱内压力）进行控制；舱体前中后三套双温度探测，对舱内温度进行精准控制；动态双湿度探测，随时对湿度进行调节；双压力探测，准确控制舱内压力。 8、自动故障诊断，遇有故障和误差，声光报警，显示器显示故障代码，打印机打印故障代码。 9、U盘接口，利用U盘可将数据导入电脑，最多可导出100个循环的数据。 10、具有与环氧乙烷废气处理分解器的通讯接口,能对环氧乙烷废气处理分解器进行控制，达到两者联动运行。 11、内置扫描器，对灭菌器气罐上的条码进行扫描，识别灭菌剂批次号。 12、彩色触摸屏操作面板。全部操作均可通过触摸屏完成。 13、彩色屏幕显示器。除显示常规参数外，还能显示运行曲线（其中包含温度曲线、压力曲线、湿度曲线），点击曲线上的任何一点，能显示该点的参数（温度、压力、湿度）；显示器须能显示经灭菌器扫描后的气罐批次号。 14、内置式打印机，能打印常规数据外，还能打印运行曲线（其中包含温度曲线、压力曲线、湿度曲线）。具有三种打印模式，单一数据模式、单一曲线模式、数据和曲线双模式；打印记录须能记录经灭菌器扫描后的气罐批次号。 15、立式，单门。 16、舱体为耐腐蚀的合金材料。 17、内置式射流真空泵，保证全过程舱内处于负压状态，确保灭菌气体不向舱外泄漏。射流真空泵利用外接压缩空气进行抽真空，其在运行中不产生电火花，此外，其可将环氧乙烷废气稀释后排出。提供内置文氏真空泵照片。 18、舱门自动锁定。在整个过程中舱门自动锁定，只有在程序结束后，锁定装置自动解锁，舱门才能被打开。点击触摸屏上的舱门开启图标，门将自动弹开。 19、灭菌器和通风解析器为二合一的整体机，在灭菌阶段完成后立即转入通风解析阶段。在经过所设定解析时间后，物品中的环氧乙烷残留量低于标准残留量值，保证了工作人员和病人安全。提供相关机构出具的灭菌后物品残留量检测报告。 20、灭菌后的环氧乙烷废气经管道排至大气，不能向下水道排放，以保证工作场所安全。废气排放是通过压缩空气将环氧乙烷废气排至高空大气，废气排放管长度≥90米。 21、具有水箱水位观察窗。 22、灭菌剂为纯环氧乙烷，小气罐灌装，一锅次使用一支，气罐具有条码。 23、配置3个灭菌篮筐。 合同履行期限：合同签订后30天内供货并安装、调试完毕 需落实的政府采购政策内容：小微企业/监狱企业/残疾人福利性单位/节能产品、环境标志产品/列入《辽宁省创新产品和服务目录》内的产品、服务 本项目（是/否）接受联合体投标：否 二、供应商的资格要求 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定。 2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无 3.本项目的特定资格要求：产品属于第二、三类医疗器械的，供应商须具有对应类别的医疗器械经营许可证（医疗器械经营备案凭证），产品制造商须具有有效的医疗器械生产许可证（进口产品除外），产品须具有有效的医疗器械注册证，否则提供设备不属于医疗器械的情况说明。 三、政府采购供应商入库须知 参加辽宁省政府采购活动的供应商未进入辽宁省政府采购供应商库的，请详阅辽宁政府采购网 “首页—政策法规”中公布的“政府采购供应商入库”的相关规定，及时办理入库登记手续。填写单位名称、统一社会信用代码和联系人等简要信息，由系统自动开通账号后，即可参与政府采购活动。具体规定详见《关于进一步优化辽宁省政府采购供应商入库程序的通知》（辽财采函〔2020〕198号）。 四、获取采购文件 时间：2022年06月08日 08时30分至2022年06月13日 16时00分（北京时间，法定节假日除外） 地点：辽宁政府采购网 方式：线上 售价：免费 五、响应文件提交 截止时间：2022年06月14日 11时00分（北京时间） 地点：辽宁政府采购网电子评审系统上传提交电子文件，密封递交可加密备份文件（U盘），递交至辽宁乔泰全过程项目管理有限公司一楼开标室 六、开启 时间：2022年06月14日 11时00分（北京时间） 地点：辽宁乔泰全过程项目管理有限公司一楼开标室 七、公告期限 自本公告发布之日起3个工作日。 八、质疑与投诉 供应商认为自己的权益受到损害的，可以在知道或者应知其权益受到损害之日起七个工作日内，向采购代理机构或采购人提出质疑。 1、接收质疑函方式：线上或书面纸质质疑函 2、质疑函内容、格式：应符合《政府采购质疑和投诉办法》相关规定和财政部制定的《政府采购质疑函范本》格式，详见辽宁政府采购网。 质疑供应商对采购人、采购代理机构的答复不满意，或者采购人、采购代理机构未在规定时间内作出答复的，可以在答复期满后15个工作日内向本级财政部门提起投诉。 九、其他补充事宜 （1）供应商须及时办理CA数字证书，否则应自行承担无法正常参与项目的不利后果。供应商应详阅辽宁政府采购网首页”办事指南”中的“辽宁政府采购网关于办理CA数字证书的操作手册”和“辽宁政府采购网新版系统供应商操作手册”，具体规定详见《关于启用政府采购数字认证和电子招投标业务有关事宜的通知》（辽财采〔2020〕298号）。 （2）现场或远程完成投标文件解密。现场解密的，请供应商携带CA、笔记本电脑等相关设备（电脑需提前下载所办CA的插件）。 十、对本次招标提出询问，请按以下方式联系 1.采购人信息 名 称： 辽宁省金秋医院 地 址： 沈阳市沈河区小南街317号 联系方式： 杨老师 024-62784567 2.采购代理机构信息 名 称： 辽宁乔泰全过程项目管理有限公司 地 址： 沈阳市浑南区高歌路5号 联系方式： 024-23883380-8130 邮箱地址： lnqt2018@163.com 开户行： 招商银行沈阳华园东路支行 账户名称： 辽宁乔泰全过程项目管理有限公司 账号： 12490842231085588 3.项目联系方式 项目联系人： 宋盈达、张建、曲钽 电 话： 024-23883380-8130 评分办法:最低评标价法 关联计划 附件： 注：财政部门鼓励供应商采用保函的方式递交投标保证金，任何采购代理机构在政府采购活动中不得拒收供应商以保函方式递交的保证金。 申请电子保函 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：真空泵 开标时间：2022-06-14 11:00 预算金额：180.00万元 采购单位：辽宁省金秋医院 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：辽宁乔泰全过程项目管理有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 辽宁省金秋医院2021年环氧乙烷灭菌器采购项目竞争性谈判公告 辽宁省-沈阳市-沈河区 状态：公告 更新时间： 2022-06-08 公告信息 公告信息 公告标题: 辽宁省金秋医院2021年环氧乙烷灭菌器采购项目竞争性谈判公告 有效期: 2022-06-08 至 2022-06-13 撰写单位: 辽宁乔泰全过程项目管理有限公司 （辽宁省金秋医院2021年环氧乙烷灭菌器采购项目）竞争性谈判公告 项目概况 辽宁省金秋医院2021年环氧乙烷灭菌器采购项目采购项目的潜在供应商应在辽宁政府采购网获取采购文件，并于2022年06月14日 11时00分（北京时间）前提交响应文件。 一、项目基本情况 项目编号：JH21-210000-86925 项目名称：辽宁省金秋医院2021年环氧乙烷灭菌器采购项目 采购方式：竞争性谈判 包组编号：001 预算金额（元）：1,800,000.00 最高限价（元）：1,700,000 采购需求： 查看 包号/序号：001/01 产品名称：环氧乙烷灭菌器 数量：1台 是否为经过审批采购的进口产品：是 是否为核心产品（非单一产品采购项目时适用）：是 标的对应的中小企业划分标准所属行业：工业 1、内舱容积 ：≥ 220 升。 2、灭菌温度：35℃ - 55℃。 3、灭菌剂浓度450-1200mg/L。 4、灭菌时相对湿度：40%—80%，自动控制。 5、灭菌时间1–4.5小时。 6、循环程序：2个常规灭菌程序：35－40℃和50－55℃；2个半周期程序：35－40℃和50－55℃；2个单独通风解析程序：35－40℃和50－55℃；1个单独通风解析程序。 7、电脑自动控制，可对关键灭菌参数（灭菌时间、灭菌舱内湿度、灭菌舱内压力）进行控制；舱体前中后三套双温度探测，对舱内温度进行精准控制；动态双湿度探测，随时对湿度进行调节；双压力探测，准确控制舱内压力。 8、自动故障诊断，遇有故障和误差，声光报警，显示器显示故障代码，打印机打印故障代码。 9、U盘接口，利用U盘可将数据导入电脑，最多可导出100个循环的数据。 10、具有与环氧乙烷废气处理分解器的通讯接口,能对环氧乙烷废气处理分解器进行控制，达到两者联动运行。 11、内置扫描器，对灭菌器气罐上的条码进行扫描，识别灭菌剂批次号。 12、彩色触摸屏操作面板。全部操作均可通过触摸屏完成。 13、彩色屏幕显示器。除显示常规参数外，还能显示运行曲线（其中包含温度曲线、压力曲线、湿度曲线），点击曲线上的任何一点，能显示该点的参数（温度、压力、湿度）；显示器须能显示经灭菌器扫描后的气罐批次号。 14、内置式打印机，能打印常规数据外，还能打印运行曲线（其中包含温度曲线、压力曲线、湿度曲线）。具有三种打印模式，单一数据模式、单一曲线模式、数据和曲线双模式；打印记录须能记录经灭菌器扫描后的气罐批次号。 15、立式，单门。 16、舱体为耐腐蚀的合金材料。 17、内置式射流真空泵，保证全过程舱内处于负压状态，确保灭菌气体不向舱外泄漏。射流真空泵利用外接压缩空气进行抽真空，其在运行中不产生电火花，此外，其可将环氧乙烷废气稀释后排出。提供内置文氏真空泵照片。 18、舱门自动锁定。在整个过程中舱门自动锁定，只有在程序结束后，锁定装置自动解锁，舱门才能被打开。点击触摸屏上的舱门开启图标，门将自动弹开。 19、灭菌器和通风解析器为二合一的整体机，在灭菌阶段完成后立即转入通风解析阶段。在经过所设定解析时间后，物品中的环氧乙烷残留量低于标准残留量值，保证了工作人员和病人安全。提供相关机构出具的灭菌后物品残留量检测报告。 20、灭菌后的环氧乙烷废气经管道排至大气，不能向下水道排放，以保证工作场所安全。废气排放是通过压缩空气将环氧乙烷废气排至高空大气，废气排放管长度≥90米。 21、具有水箱水位观察窗。 22、灭菌剂为纯环氧乙烷，小气罐灌装，一锅次使用一支，气罐具有条码。 23、配置3个灭菌篮筐。 合同履行期限：合同签订后30天内供货并安装、调试完毕 需落实的政府采购政策内容：小微企业/监狱企业/残疾人福利性单位/节能产品、环境标志产品/列入《辽宁省创新产品和服务目录》内的产品、服务 本项目（是/否）接受联合体投标：否 二、供应商的资格要求 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定。 2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无 3.本项目的特定资格要求：产品属于第二、三类医疗器械的，供应商须具有对应类别的医疗器械经营许可证（医疗器械经营备案凭证），产品制造商须具有有效的医疗器械生产许可证（进口产品除外），产品须具有有效的医疗器械注册证，否则提供设备不属于医疗器械的情况说明。 三、政府采购供应商入库须知 参加辽宁省政府采购活动的供应商未进入辽宁省政府采购供应商库的，请详阅辽宁政府采购网 “首页—政策法规”中公布的“政府采购供应商入库”的相关规定，及时办理入库登记手续。填写单位名称、统一社会信用代码和联系人等简要信息，由系统自动开通账号后，即可参与政府采购活动。具体规定详见《关于进一步优化辽宁省政府采购供应商入库程序的通知》（辽财采函〔2020〕198号）。 四、获取采购文件 时间：2022年06月08日 08时30分至2022年06月13日 16时00分（北京时间，法定节假日除外） 地点：辽宁政府采购网 方式：线上 售价：免费 五、响应文件提交 截止时间：2022年06月14日 11时00分（北京时间） 地点：辽宁政府采购网电子评审系统上传提交电子文件，密封递交可加密备份文件（U盘），递交至辽宁乔泰全过程项目管理有限公司一楼开标室 六、开启 时间：2022年06月14日 11时00分（北京时间） 地点：辽宁乔泰全过程项目管理有限公司一楼开标室 七、公告期限 自本公告发布之日起3个工作日。 八、质疑与投诉 供应商认为自己的权益受到损害的，可以在知道或者应知其权益受到损害之日起七个工作日内，向采购代理机构或采购人提出质疑。 1、接收质疑函方式：线上或书面纸质质疑函 2、质疑函内容、格式：应符合《政府采购质疑和投诉办法》相关规定和财政部制定的《政府采购质疑函范本》格式，详见辽宁政府采购网。 质疑供应商对采购人、采购代理机构的答复不满意，或者采购人、采购代理机构未在规定时间内作出答复的，可以在答复期满后15个工作日内向本级财政部门提起投诉。 九、其他补充事宜 （1）供应商须及时办理CA数字证书，否则应自行承担无法正常参与项目的不利后果。供应商应详阅辽宁政府采购网首页”办事指南”中的“辽宁政府采购网关于办理CA数字证书的操作手册”和“辽宁政府采购网新版系统供应商操作手册”，具体规定详见《关于启用政府采购数字认证和电子招投标业务有关事宜的通知》（辽财采〔2020〕298号）。 （2）现场或远程完成投标文件解密。现场解密的，请供应商携带CA、笔记本电脑等相关设备（电脑需提前下载所办CA的插件）。 十、对本次招标提出询问，请按以下方式联系 1.采购人信息 名 称： 辽宁省金秋医院 地 址： 沈阳市沈河区小南街317号 联系方式： 杨老师 024-62784567 2.采购代理机构信息 名 称： 辽宁乔泰全过程项目管理有限公司 地 址： 沈阳市浑南区高歌路5号 联系方式： 024-23883380-8130 邮箱地址： lnqt2018@163.com 开户行： 招商银行沈阳华园东路支行 账户名称： 辽宁乔泰全过程项目管理有限公司 账号： 12490842231085588 3.项目联系方式 项目联系人： 宋盈达、张建、曲钽 电 话： 024-23883380-8130 评分办法:最低评标价法 关联计划 附件： 注：财政部门鼓励供应商采用保函的方式递交投标保证金，任何采购代理机构在政府采购活动中不得拒收供应商以保函方式递交的保证金。 申请电子保函

前记：近五年来，在政策支持下，中国电镜产业化发展之路上多点开花，电镜、电镜功能附件装置与设备、电镜制样等方面不断有新的产业化技术涌现。其中不仅包含扫描透射电镜、场发射扫描电镜、聚焦离子束显微镜、透射电镜原位研究系统等重要技术的商品化，也不乏场发射枪、高压电源、光阑等电镜关键部件的攻克。在中国电镜技术产业化呈现百花齐放、国家对电镜设备产业化问题高度重视背景下，仪器信息网也别策划电镜技术系列征稿活动，共同探讨中国电镜产业技术、市场的机遇与挑战。相关投稿将整理至对应专题展示，并在仪器信息网相关渠道推广，欢迎大家投稿，电镜技术、市场相关均可（投稿邮箱：yanglz@instrument.com.cn，关于征稿内容要求也可邮件咨询或电话联系：15311451191，同微信）。本期主题为“电镜核心部件技术”，对应专题如下（点击图片进入专题），相关约稿将陆续上线，欢迎关注。以下为安捷伦科技（中国）有限公司真空事业部供稿，安捷伦科技（中国）有限公司真空部门的前身——创建于1948年的瓦里安（Varian）在1957年发明了第一台溅射离子泵（SIP），大大拓展了当时的技术所能达到的真空度，使超高真空成为可能，因此安捷伦对于真空技术有着丰富的经验和深刻的理解。安捷伦为了满足电子显微镜系统高真空、低电磁噪声和低振动的要求，基于Varian Vacuum 产品的基础，开发了一系列的真空系统。以下，安捷伦分享了对真空技术的看法及面向电子显微镜领域的真空系统整体解决方案。--------------------电子显微镜的真空系统介绍供稿：安捷伦科技（中国）有限公司真空事业部1.引言在上个世纪二三十年代，为了看到有机细胞（细胞核、线粒体等）内部的细微结构（100nm），人们开发出了透射电子显微镜（Transmission Electron Microscopy），它在普通显微镜的基础上用聚焦电子束代替可见光来“透视”标本，大大提高了分辨率。二十世纪六十年代，扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope）问世，它采用高能电子束扫描样品来成像。电子与组成样品的原子相互作用，可以产生包含样品表面形貌、成分和其他信息的信号。2.电子显微镜是如何工作的无论是透射电子显微镜还是扫描电子显微镜，都是靠电子束照射样品来获取图像，其主要部分包含电子源（电子枪）、电子透镜、扫描线圈、检测器等，这些部件通常自上而下地装在一个高真空的腔室（镜筒）内。图1 电子显微镜的系统结构电子枪（也被称为电子源）：一般位于镜筒的顶部，它能发射电子并形成速度均匀的电子束。电子束向下通过电子透镜来聚焦。电子透镜：电子显微镜镜筒中最重要的部件之一，它用一个对称于镜筒轴线的空间电场或磁场使电子轨迹向轴线偏转以形成聚焦，其作用与玻璃凸透镜使光束聚焦的作用相似，所以称为电子透镜。现代电子显微镜大多采用电磁透镜，由很稳定的直流励磁电流通过带极靴的线圈产生的强磁场使电子聚焦。扫描线圈：控制和微调光束位置的电磁线圈。检测器：聚焦的电子束照射样品台上的样品并产生信号，这些信号被检测器检测到，然后被转换成图像。3.真空对于电子显微镜的重要性真空对电子显微镜有非常重要的作用。电子显微镜工作时，整个电子束路径与待分析的样品一起都会置于高真空的环境，如果真空度不够高，电子枪的栅极与阳极间可能会产生极间放电进而烧断灯丝，电子束与残留空气粒子发生碰撞还会导致散射，这种散射会导致电子束中的电子无法到达样品，或者分析失真。4.电子显微镜对真空的要求为了使电子束中的电子尽量不受阻碍地移动，电子显微镜的真空度通常需要达到1E-7mbar量级的高真空，甚至1E-10mbar量级的超高真空；除了真空度，真空泵工作时的振动水平也非常关键。由于电子束的截面小，在样品上的定位精度很高，只有处于振动水平极低的环境中，才能保持这种精度；另外，为了避免油蒸汽污染样品或显微镜内部元件，最好采用无油干式的真空泵。5.典型的真空系统配置下图是一个扫描电子显微镜系统的示例。左侧从上往下分别是装有电子枪和电子透镜的镜筒和放置样品的样品腔，样品腔的右边是一个进出样室（LoadLock）。待分析的样品被放置于进出样室内，进出样室被抽到一定的真空度后再把样品转移到样品腔中进行分析。有进出样室的电子显微镜可以将样品腔一直维持在高真空，从而缩短每次检测的准备时间，提高样品吞吐量，降低单次检测成本。图2 典型的真空系统配置该扫描电子显微镜的镜筒上配置有两台离子泵（IonPump），在样品腔和进出样室还配置了两套分子泵（TurboPump）机组和多个阀门（Valve），并配置了多个真空计以检测不同位置的真空度。6.安捷伦真空：提供适合电子显微镜的全套真空产品安捷伦真空部门的前身、创建于1948年的瓦里安（Varian）在1957年发明了第一台溅射离子泵（SIP）。离子泵的发明大大拓展了当时的技术所能达到的真空度，使超高真空成为可能。安捷伦真空对聚束系统真空应用有着非常丰富的经验，为了满足电子显微镜系统高真空、低电磁噪声和低振动的要求，开发了一系列的产品。离子泵：作为离子泵的发明者，安捷伦真空可以生产多种类型的离子泵。采用专利设计的安捷伦扫描电子显微镜专用离子泵，具有更加稳定和精准的压力读数，以及更少的粒子产生，特别适合安装于电子枪处（电子枪处对温度、磁场的要求都比较高，一般的冷阴极或热阴极真空计对其正常工作会有影响，而普通的离子泵测量的压力偏差又比较大）。安捷伦真空独有的StarCell离子泵在保留较高活性气体抽速的同时，还具有相当高的惰性气体抽速，一般将其安装于镜筒的下部，与电子枪上的SEM离子泵相结合，为电子显微镜提供一个强大的高真空抽气组合。图3 安捷伦SEM专用离子泵分子泵：安捷伦TwisTorr涡轮分子泵采用独有的AFS悬浮轴承技术，工作时振动非常低，被广泛地应用在世界各地的众多电子显微镜上。一个位于日本的业界领袖，从2015年起，在其生产的电子显微镜上使用了1000多台安捷伦分子泵，泵的可靠性非常接近100%，实测的振动水平低于0.01米/秒2，噪声等级更是只有40dB(A)。图4 安捷伦TwisTorr涡轮分子泵阻尼减振器：为了进一步减小分子泵振动对电子显微镜等高灵敏度分析仪器的影响，安捷伦真空专门开发了一款阻尼减震器，该减震器可以将涡轮分子泵在满转速时的振动减小到原来的1/40左右（CF法兰）。图5 阻尼减振器除此之外，安捷伦真空可以提供各种抽速的涡旋干泵、各种类型的真空计、电磁噪声几乎为零的各种真空泵控制器等，另外，基于其在聚束系统广泛的知识和灵活的制造能力，还可以为特定系统定制特殊的离子泵，还可以为敏感的显微镜应用提供最先进的振动模拟和测试。