仪器信息网 3i讲堂 XRD在金属材料织构与微结构研究中的应用

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34 2024-06-05

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XRD在金属材料织构与微结构研究中的应用

所属会议:第五届X射线衍射技术及应用进展网络研讨会

金属材料织构与微结构的表征与控制在材料科学与工程的诸多基础研究和实际工程应用具有重要的地位。XRD是分析金属材料织构与微结构的一种有力手段，相比于EBSD、TEM等手段，XRD用于金属材料织构与微结构分析的最突出优势是其分析的区域更宏观，数据具有更高的统计性。本报告结合集成电路制造用高纯钽溅射靶材的微观组织与织构优化研究，介绍了XRD在金属材料织构与微结构研究中的应用。