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仪器信息网 3i讲堂 动态二次离子质谱仪DSIMS在半导体材料检测中的应用
0 2 投诉 分享 42 2023-11-23
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动态二次离子质谱仪DSIMS在半导体材料检测中的应用

动态二次离子质谱仪D-SIMS利用高能量离子束对样品表面进行轰击,对样品的主体组成和痕量元素的深度分布和体相浓度进行分析,以满足对半导体材料,光伏材料,LED器件,冶金材料,绝缘体,多层薄膜材料及环境研究的元素分析需求。本次报告主要介绍二次离子质谱仪的结构和测试原理,以及根据其高分辨率、高精度等特点以及特有的深度分布测试能力,并介绍其对常见的半导体材料,如硅,碳化硅,氮化镓等材料进行测试的相关案例。

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