仪器信息网 3i讲堂 X射线荧光光谱在涂层镀层分析中的应用

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425 2022-10-14

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X射线荧光光谱在涂层镀层分析中的应用

所属会议:微观丈量膜力无限——马尔文帕纳科 X 射线分析技术应用于薄膜测量

X射线荧光光谱通常被认为是一种成分分析技术，广泛应用于各类工业过程控制。追本溯源，其分析原理来自于X射线与物质的相互作用，因此该技术的应用也被延伸至各位薄层样品的表征，获取涂层和镀层中的层厚和薄层成分信息。在薄层样品的分析上，XRF具有无损分析、测量速度快、层间界面要求较低、样品尺寸灵活和适用多层分析的特点，被广泛用于半导体、金属、电子等领域。本环节内容将分享一些常见的XRF薄层应用。