仪器信息网 3i讲堂聚束科技NavigatorSEM-100的技术突破及应用

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228 2022-08-08

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聚束科技NavigatorSEM-100的技术突破及应用

所属会议:第八届电子显微学网络会议（iCEM 2022）

聚束科技独立研发并拥有自主知识产权的NavigatorSEM-100高通量（场发射）扫描电子显微镜，通过对成像技术、运动平台、电路控制及智能算法的系统化创新设计，实现了全球最高通量成像，成像速度可达到传统电镜的数十倍以上。其全部采用直接电子探测器的技术方案，成功克服了传统SEM技术在速度、精度和样品损伤等方面的局限性，颠覆性地将扫描电镜从传统意义上的纳米“照相机”提升为纳米“摄像机”。