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仪器信息网 3i讲堂 色谱质谱在光刻材料品控、杂质分析、溯源中的应用
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色谱质谱在光刻材料品控、杂质分析、溯源中的应用

所属会议:半导体光刻技术、表征及应用 主题网络研讨会
光刻制造过程应用到多种先进有机材料，例如光刻胶、光酸生成剂、酸中止剂、染料等等，作为精密的微细加工技术，光刻工艺需尽量减少刻痕并控制线宽，提升良率并保证批次的稳定性，对于配方准确度以及纯度要求越来越高，在高品质产品的需求下，如何才能精准把控成分变化意义重大。本次报告将分享色谱质谱技术在先进材料研发、质控中，对于光刻工艺中的化学品和配方的成分分析、杂质结构表征，工艺过程控制、批次稳定性以及问题溯源中的应用。

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