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仪器信息网 3i讲堂 Advanced techniques based on TEM for the characterization of power semiconductor devices
0 3 投诉 分享 212 2021-10-24
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Advanced techniques based on TEM for the characterization of power semiconductor devices

所属会议:第二届“半导体材料与器件研究与应用”网络会议（2021）
Toray Research Center (TRC)多年来一直致力于推动半导体材料和器件分析技术的发展，并为日本和海外的客户提供各类分析服务。在本报告中，我们将从载流子浓度分布、界面和晶体缺陷等角度出发，重点介绍针对有望用于电动汽车的GaN和SiC材料，使用先进的透射分析电子显微镜（TEM）进行纳米级高空间分辨率评估的示例。凭借40多年的业务经验、分析技术和最新设备，TRC将为加快客户的研究和开发作出贡献。

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Dr. Naohiko Kawasaki
主任研究员

Toray Research Center, Inc.
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