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仪器信息网 3i讲堂 如何用原子力显微镜评价高质量薄膜
0 2 投诉 分享 1432 2021-09-23
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如何用原子力显微镜评价高质量薄膜

所属会议:“薄膜沉积与外延技术与应用”主题网络研讨会
近几年，由于2D材料的火热和半导体行业的飞速发展，高质量薄膜沉积和外延生长越来越受到关注。CVD技术是制备高质量薄膜的技术之一。如何评价高质量薄膜对优化工艺非常关键。原子力显微镜（AFM）是评价薄膜质量不可或缺的技术手段。在本次讲座中，主要用AFM评价薄膜质量，材料涉及衬底、2D材料、半导体材料，量子点等，评价涉及薄膜生长机制、表面不均匀性、缺陷类型、薄膜粗糙度、力学性质、电学性质等，从而实现对薄膜质量的全面评估。

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