仪器信息网 3i讲堂椭圆偏振光谱技术在光电及光学器件研究中的应用

投诉

549 2021-09-07

下载APP,观看精彩内容

椭圆偏振光谱技术在光电及光学器件研究中的应用

所属会议:半导体新材料表征及制程监控技术与应用

在光学器件或半导体光电器件的研制过程中，确定构成器件的基本单元——功能薄膜的一些特征参数，特别是光学常数、介电常数以及禁带宽度等，是开展此类器件研究的基础。椭圆偏振光谱技术是一类无损光学检测技术。通过对测试得到的椭圆偏振光谱进行拟合，不仅可以获得材料薄膜厚度信息，还能获取薄膜材料的折射率、消光系数、介电常数以及禁带宽度等信息。目前，椭圆偏振光谱技术已然成为辅助开展光学器件以及光电器件研究的重要技术手段。本报告将从光伏电池中抗反层设计优化、钙钛矿薄膜禁带吸收特性及禁带宽度优化以及基于MDM结构的波长选择性完美滤波器件设计制备等三类器件的研究出发，阐述椭圆偏振光谱技术在光电器件以及光学器件研究制备过程中的应用及其所发挥的作用。