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仪器信息网 3i讲堂 XPS中绝缘样品和薄膜样品分析

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893 2020-05-12

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XPS中绝缘样品和薄膜样品分析

所属会议:第四届“表面分析技术应用论坛——表面分析技术在新材料研究中的应用”暨“表面化学分析国家标准宣贯会”

结合绝缘样品和薄膜样品XPS分析中的特点，解读国家标准 GB/T 25185-2010表面化学分析 X射线光电子能谱荷电控制和荷电校正方法的报告， GB/T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱薄膜分析结果的报告， GB/T 25188-2010硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法。

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刘芬

中国科学院化学研究所

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