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仪器信息网 3i讲堂 扫描电容显微镜在FA实验室的应用
[报告]扫描电容显微镜在FA实验室的应用
开始时间: 2021-08-18 16:30
主讲老师: 潘涛 | 高级工程师
所在公司: Park原子力显微镜
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报告相关会议
第三届原子力显微镜网络主题研讨会（2021）
2021年08月18日 09:00 -- 08月18日 18:00
原子力显微镜 (Atomic Force Microscopy, AFM)利用微悬臂感受和放大悬臂上尖细探针与受测样品原子之间的作用力，从而达到检测的目的，具有原子级的分辨率。技术历史虽只有30余年，但随着更多纳米科研人员对其不断认知以及相关关联等技术的丰富，AFM应用市场一直在不断拓延。2019年，仪器信息网（instrument.com.cn）首次发起“第一届原子力显微镜主题网络研讨会”，利用互联网技术为国内的广大原子力显微学工作者提供一个突破时间地域限制的免费学习平台，让大家足不出户便能聆听到原子力显微学专家的精彩报告。2021年8月18日，仪器信息网主办，纳米科学（NanoScientific)协办的“第三届原子力显微镜主题网络研讨会”将继续线上开讲，本届会议下半场将同期举行“2021 NanoScientific Symposium in China (NSSC 2021)”。研讨会邀请原子力显微镜/扫描探针显微镜研究应用专家、相关检测技术专家，以及实验室相关工作人员等，以网络在线报告、在线网友互动交流的形式，针对当下原子力显微镜/扫描探针显微镜研究热点、新技术及难点、相关市场展望等进行探讨，为同行搭建学习互动平台，增进学术交流，促进我国原子力显微学相关仪器技术及应用的发展。
报告介绍
报告介绍：
扫描电容显微镜 (SCM) 通过在涂覆导电材料的尖端和样品之间施加电场来测量半导体表面电容的空间变化。通过确定离子注入表面中的二维掺杂浓度分布来表征半导体器件。可用于半导体器件的FA失效分析及半导体流程控制。本次 讲座讲述其在FA实验室的应用。
主讲老师：
潘涛
资深AFM应用工程师，在AFM领域工作5年，具有丰富的AFM的样品测试经验。长期从事测量力学性能的纳米尺度表征，加入帕克（Park）公司后，主要从事原子力显微镜在计量领域的相关应用。
参会说明：

一、报名贴士（敷衍填写将不予审核）

  • 1、请认真填写各项，您的手机号为您的参会凭证。

  • 2、报名后，参与直播可获取会后资料、加交流群。

二、参会方式（手机电脑均可参会）

  • 1、直播前一天，助教会统一审核。审核通过后，会发送参会链接给报名手机号。

  • 2、如无法正常参会，请拨打页面下方电话，帮您解决

三、会议资料（交流群，会后视频）

  • 1、报名并参与直播可与专家问答交流。会议群会在直播当天展示，会议ppt无法提供。

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