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会议时间:05月14日 09:00 -- 05月14日 10:45

大会介绍

目前我国半导体产业对外依赖严重,以集成电路为例,去年全年,我国自海外购买的集成电路达5435亿枚,是我国进口最大的商品之一。因此,半导体已成为各地“十四五”规划重点关注领域,而半导体产业的发展离不开先进的光刻技术。与此同时,随着半导体技术的发展,光刻技术传递图形的尺寸限度缩小了2~3个数量级(从毫米级到亚微米级),已从常规光学技术发展到应用电子束、 X射线、微离子束、激光等新技术;使用波长已从4000埃扩展到 0.1埃数量级。光刻技术成为一种精密的微细加工技术。

基于此,仪器信息网拟于2021年5月14日举办“半导体光刻技术与应用主题网络研讨会”,依托“网络讲堂”栏目,邀请业内专家以及厂商技术人员参与本次网络研讨会,就半导体光刻技术等话题共同探讨,为广大从事半导体光刻设备和技术研发的专家学者和技术人员提供一个交流的空间。

赞助咨询

刘老师

电话:010-51654077-8266

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邮箱:liuyw@instrument.com.cn

主办单位:仪器信息网

会议日程

我要参会 05月14日 ”半导体光刻技术与应用“主题网络研讨会
  • 09:00--09:45 微纳光刻技术及装备 胡松 中国科学院光电技术研究所 研究室主任/研究员
  • 09:45--10:15 电子束曝光技术在半导体芯片制造中的应用 颜伟 中国科学院半导体研究所 高级工程师
  • 10:15--10:45 看回放 微纳加工中常见图形化设备及加工实例 刘 文 中国科学技术大学微纳研究与制造中心 工程师

参会指南

一、报名贴士(敷衍填写将不予审核)

  • 1、请认真填写各项,您的手机号为您的参会凭证。

  • 2、报名后,参与直播可获取会后资料、加交流群。

二、参会方式(手机电脑均可参会)

  • 1、直播前一天,助教会统一审核。审核通过后,会发送参会链接给报名手机号。

  • 2、如无法正常参会,请“备注会议题目”加【微信wljt-02】,帮您解决。

三、会议资料(交流群,会后视频)

  • 1、报名并参与直播可与专家问答交流。会议群会在直播当天展示,会议ppt无法提供。

  • 2、关注【仪器信息网微服务】,微信提醒会议进度,便捷查阅近期会议及视频回放。

  • 3、下载【仪器信息网app】,获得会后回放视频、免费下载10万篇标准、获得实验室操作实战宝典等精品资料。

联系我们

联系人:康先生

电话:010-51654077-8358

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