会议时间:09月25日 14:00 -- 09月25日 15:10
集成电路制造对纯度要求极高,需高灵敏度和高精度的元素分析以确保质量控制。ICP-MS技术(电感耦合等离子体质谱)能检测和分析微量金属杂质,识别和量化影响器件性能的污染物,从而提高产品可靠性和性能。本次活动将详细介绍ICP-MS在集成电路中的应用。
ICP-MS在集成电路中的应用
集成电路制造对纯度要求极高,需高灵敏度和高精度的元素分析以确保质量控制。ICP-MS技术(电感耦合等离子体...
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