自动探针台

仪器名称：

自动探针台

英文名称：

Auto Probing Machine

所属分类：

电子测量仪器 > 大规模集成电路测试仪器 > 其他

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

最大晶圆300mm，最大误差2um，平台承重200kg，先进的光学识别系统

主要功能：

300mm测试探针台，最大工作误差小于2um，用于每片12英寸晶圆上的各个芯片的电信号的检测来保证半导体产品的品质。