自动探针台

仪器名称：

自动探针台

英文名称：

Auto Probing Machine

所属分类：

电子测量仪器 > 大规模集成电路测试仪器 > 其他

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

UF200A是目前国际上先进的8英寸全自动探针台。主要指标：误差-2～2um，测试晶圆5-8英寸。

主要功能：

8英寸全自动集成电路测试，用于5-8英寸晶圆测试。