高速薄膜控制仪
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中国科学院上海光学精密机械研究所
中国科学院上海光学精密机械研究所拥有大口径高平行度透/反射类元件面形终检设备、大口径表面轮廓仪、4吋633nm干涉仪、4\"激光干涉仪、大能量光学参量放大器（OPA）泵浦激光综合实验装置、特种光纤光栅刻写准分子激光系统、中红外新波段可调谐超强超短激光系统、超快瞬态光谱仪、超高分辨率场发射SEM、真空高温钎焊炉等科研仪器。
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