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中国科学院上海光学精密机械研究所

中国科学院上海光学精密机械研究所拥有大口径高平行度透/反射类元件面形终检设备、大口径表面轮廓仪、4吋633nm干涉仪、4\"激光干涉仪、大能量光学参量放大器（OPA）泵浦激光综合实验装置、特种光纤光栅刻写准分子激光系统、中红外新波段可调谐超强超短激光系统、超快瞬态光谱仪、超高分辨率场发射SEM、真空高温钎焊炉等科研仪器。

动态机械分析仪

型号：DMA 242C

品牌：ERM

沼气（煤气/天然气）分析仪

微型力学振动设备

型号：非标

品牌：光机所

振动台

镀膜基片超声清洗装置

型号：MX-2500

品牌：上海明兴开城超声波科技有限公司

样品前处理工作站

轮廓仪

型号：M112-4117

品牌：TE

轮廓仪

变温热导率测试仪

型号：LFA427

品牌：TE

导热仪、热导仪

大口径应力双折射仪

型号：M4/150.10

品牌：IL

折光仪(折射仪)

低温光学恒温系统

型号：Fusion F2

品牌：AN

甲烷/非甲烷烃检测仪

感应耦合等离子体发射光谱仪及制样系统

型号：非标

品牌：光机所

光电直读光谱仪

X射线荧光光谱仪

型号：ARL-9900

品牌：FIS

红外光谱(IR、傅立叶)

12\"激光干涉仪

型号：Verifire xp/d

品牌：IO

激光干涉仪

4\"激光干涉仪

型号：4

品牌：IO

激光干涉仪

分光光度计

型号：LAMBDA950

品牌：INEL

照度计

4吋633nm干涉仪

型号：SER DMST-633-75-c-FM-1

品牌：GO

激光干涉仪

四槽超声波清洗系统

型号：SFQZ804JGCQ

品牌：中国电子科技集团公司第四十五研究所

样品前处理工作站

动态干涉仪

型号：P6000/4D

品牌：ECH

激光干涉仪

动态干涉仪

型号：4DH100S

品牌：TE

激光干涉仪

便携式粗糙度仪

型号：6509-0100-01

品牌：GO

其它测量/计量仪器

ZYGO干涉仪

型号：MARKⅢ GPI 12

品牌：GO

激光干涉仪

大口径GPI干涉仪系统

型号：GPI-HS 24

品牌：GO

激光干涉仪

原子层沉积设备

型号：SUNALE R200高级型ALD系统

品牌：LAND

原子层沉积系统（ALD）

多波长弱吸收测试装置

型号：非标

品牌：光机所

其它通用分析

镜面定位仪

型号：lenscan-li600-1ch

品牌：TE

其它测量/计量仪器

大口径偏光应力仪

型号：GSP-300

品牌：北京理工大学

X射线应力分析仪

中心偏检测仪

型号：LAS RD12

品牌：OPTO

其它测量/计量仪器

紫外/可见光传递函数测试仪

型号：IS-300UV/VIS

品牌：GE

紫外、紫外分光光度计、紫外可见分光光度计、UV

多层介质膜高速控制设备

型号：SQ1D

品牌：DE

其它通用分析

2600光纤预制棒分析系统

型号：PK2600

品牌：CS

其它测量/计量仪器

CO2激光熔接工作平台

型号：LZM-100

品牌：RA

CO2分析仪、CO分析仪

光纤拉丝塔

型号：og510

品牌：OPTO

样品前处理工作站

辐射光谱仪

型号：非标

品牌：光机所

激光诱导击穿光谱仪（LIBS）

多通道高性能示波器

型号：DSO93004L

品牌：SI

示波器

任意波形发生器

型号：AWG70001A

品牌：TE

信号发生器

超快瞬态光谱仪

型号：HR Evolution & FLS980

品牌：IBA

激光诱导击穿光谱仪（LIBS）

激光尾波场电子加速与台式化X 射线波段自由电子激光（XFEL）系统

型号：非标

品牌：光机所

其它测量/计量仪器

石英光纤熔融拉锥机

型号：非标

品牌：光机所

熔样机

离子束溅射镀膜机

型号：SPECTOR

品牌：TE

镀膜机

真空镀膜机

型号：ZZSX-1100B

品牌：北京仪器厂

镀膜机

特种光纤光栅刻写准分子激光系统

型号：ComPex Pro 110

品牌：ERM

光学仪器组件

高真空高性能热蒸发紫外镀膜机

型号：SYRUSpro 1110 DUV

品牌：CS

镀膜机

时域频域信号分析系统

型号：SP2500

品牌：PRI

激光拉曼光谱(RAMAN)

扫描探针显微镜（原子力显微镜）

型号：Dimension-3100

品牌：ECO

其它测量/计量仪器

变温全自动椭圆偏振光谱仪

型号：VV-Vis

品牌：RA

激光诱导击穿光谱仪（LIBS）

金属有机化合物化学气相沉积装置

型号：非标

品牌：德国

化学气相沉积（CVD）

高精度平坦化与外延镀膜系统

型号：非标

品牌：光机所

镀膜机

扫描探针显微镜

型号：NS 5

品牌：MET

扫描探针显微镜SPM（原子力显微镜AFM、扫描隧道显微镜STM）

高速薄膜控制仪

型号：CD-R 100

品牌：AMA

甲烷/非甲烷烃检测仪

干涉仪

型号：Ser3635 Rev.01

品牌：GO

激光干涉仪

24吋激光平面干涉仪

型号：SER MST-633-4-CVH

品牌：GO

激光干涉仪

二次金属化磁控溅射镀膜机

型号：SVAC-PVD500-8

品牌：真空

镀膜机

氙灯熔封成型机械化系统

型号：非标

品牌：昆山同日精密测试设备有限公司

光源/氙灯光源/汞灯光源

纳米划痕仪

型号：UMT-TriboLab

品牌：BR

其它测量/计量仪器

大尺寸全自动光学晶体生长系统

型号：DJL-800A

品牌：北京雷生强式科技有限公司

其它通用分析

大尺寸光学晶体生长退火系统

型号：DJL-1000

品牌：北京雷生强式科技有限责任公司

其它通用分析

X射线荧光分析仪

型号：OURSTEX100FA

品牌：TE

X射线荧光

超声波清洗系统

型号：PCS-7-1242

品牌：TE

样品前处理工作站

金属焊接三维激光扫描检测仪

型号：VK-X200K/VK-X210K

品牌：IO

室内空气质量监测/检测仪

真空紫外光谱仪

型号：65000-00001 VUV

品牌：METROLUX

激光诱导击穿光谱仪（LIBS）

高温动态热光介电性质综合分析仪

型号：LZT-meter 1100

品牌：SGE

沼气（煤气/天然气）分析仪

大口径高平行度透/反射类元件面形终检设备

型号：非标

品牌：光机所

其它通用分析

光谱仪

型号：IHR550

品牌：BI

激光诱导击穿光谱仪（LIBS）

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相关仪器品类

所使用品牌

理学

188台仪器 28家供应商

日本电子

78台仪器 18家供应商

SGE

5台仪器 18家供应商

EMS

53台仪器 9家供应商

海克斯康

33台仪器 8家供应商

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ISS

24台仪器 5家供应商

爱斯特

53台仪器 4家供应商

Metrolux

24台仪器 4家供应商

PHI

12台仪器 4家供应商

德科

2台仪器 4家供应商

AB

1台仪器 4家供应商

林赛斯

20台仪器 3家供应商

IL

15台仪器 3家供应商

urg

0台仪器 3家供应商

艾柯

68台仪器 2家供应商

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昂尼

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LAND

9台仪器 2家供应商

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IBA

5台仪器 2家供应商

FIS

4台仪器 2家供应商

SI

2台仪器 2家供应商

BS

0台仪器 2家供应商

海瑞

0台仪器 2家供应商

通达

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TE

11台仪器 1家供应商

IO

11台仪器 1家供应商

百润

10台仪器 1家供应商

RKI

9台仪器 1家供应商

镭宝

7台仪器 1家供应商

光科

7台仪器 1家供应商

ICA

6台仪器 1家供应商

BI

6台仪器 1家供应商

GO

5台仪器 1家供应商

MET

4台仪器 1家供应商

光机所

3台仪器 1家供应商

DE

3台仪器 1家供应商

PRI

2台仪器 1家供应商

顺安电子

1台仪器 1家供应商

ECO

1台仪器 1家供应商

悉力

1台仪器 1家供应商

SE

1台仪器 1家供应商

AW

1台仪器 1家供应商

AMA

1台仪器 1家供应商

德国

0台仪器 1家供应商

达科

0台仪器 1家供应商

CS

0台仪器 1家供应商

INEL

0台仪器 1家供应商

opto

0台仪器 1家供应商

真空

0台仪器 1家供应商

ND

0台仪器 1家供应商

DEC

0台仪器 1家供应商

北京飞斯科

0台仪器 1家供应商

七星华创

0台仪器 1家供应商

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3台仪器 0家供应商

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SG

0台仪器 0家供应商