典型用户

PECVD沉积系统

化学气相沉积(CVD) 品牌:威海中玻光电有限公司 型号:ASI-1245¡Á63

仪器名称:
PECVD沉积系统

英文名称:

所属分类:
工艺试验仪器 > 加工工艺实验设备 > 其他

学科领域:
其他

主要技术指标:
硅薄膜沉积设备,极限真空10-6,温度可达250 ℃

主要功能:

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