山东省太阳能薄膜电池工程技术研究中心拥有PECVD沉积系统、磁控溅射沉积系统、I-V测试仪等科研仪器。
型号：SPU-11
品牌：威海中玻光电有限公司
型号：BSAMT402AT
品牌：中国
型号：ASI-1245¡Á63
