典型用户

中国科学院半导体研究所

中国科学院半导体研究所拥有拉曼光谱仪（谭平恒）、SP530全自动磁控溅射镀膜系统、分子束外延系统、飞秒瞬态吸收光谱仪（张俊）、PECVD(等离子增强化学气相淀积)、裂片机、激光直写曝光机、ICP宝石刻蚀机、激光柔性加工设备、步进式光刻机等科研仪器。

LPCVD设备

型号：LP4612-2F

品牌：青岛精诚华旗

化学气相沉积（CVD）

自动对准耦合测试系统

型号：AutoAlign

品牌：安捷伦

步入式试验箱、步入式实验室

离子束溅射台

型号：Optofab3000

品牌：RD

步入式试验箱、步入式实验室

聚焦离子束

型号：FB-2100

品牌：日立

聚焦离子束显微镜

原子力显微镜

型号：DimensionEdge

品牌：BR

数码显微镜

离子注入机

型号：Varian 350

品牌：AN

离子注入机

ICP宝石刻蚀机

型号：HiEtch-Lx2000

品牌：BMR

等离子体/化学刻蚀设备

微波等离子去胶机（东区）

型号：Plasma 300

品牌：PVA

ICP-MS电感耦合等离子体质谱

光刻系统西区SUSS

型号：MA6/BA6

品牌：SUS

悬浮物测定仪

Si ICP刻蚀机

型号：601E

品牌：TE

甲烷/非甲烷烃检测仪

倒装焊

型号：FW1

品牌：TE

步入式试验箱、步入式实验室

Oxford ICP刻蚀机

型号：Plasmapro

品牌：RD

甲烷/非甲烷烃检测仪

电子束蒸发台Denton

型号：Explorer 14

品牌：DE

色谱检测器/蒸发光检测器/紫外检测器

键合系统

型号：SB6

品牌：SUS

甲烷/非甲烷烃检测仪

高能离子注入机

型号：长沙48所

品牌：长沙48所

离子注入机

PECVD STS

型号：Multiplex CVD

品牌：TS

化学气相沉积（CVD）

氧化硅ICP刻蚀机

型号：Multiplex AOE

品牌：TS

等离子体/化学刻蚀设备

减薄抛光系统

型号：system

品牌：MP

抛光机、磨抛机、磨样机

激光直写曝光机

型号：DWL2000

品牌：德堡

光刻机

MEMS精密激光加工设备

型号：IMC-PS-MicroD300

品牌：光科

透射电子显微镜（透射电镜、TEM）

可变温MEMS测试系统

型号：VT-60

品牌：EIR

透射电子显微镜（透射电镜、TEM）

多材料共溅射设备

型号：ProLine PVD 75

品牌：特莱思

物理气相沉积（PVD）

光刻胶喷涂设备

型号：AS8

品牌：SUS

光刻机

扫描电子显微镜

型号：NanoSEM650

品牌：FEI

电镜制样设备

ICP金属刻蚀机

型号：SI 500

品牌：TE

纯元素、稀土、稀贵金属及合金

RIE反应离子刻蚀机

型号：plasma100

品牌：RD

步入式试验箱、步入式实验室

磁控溅射系统

型号：DISCOVERY635

品牌：DE

CO2分析仪、CO分析仪

椭偏仪

型号：M-2000DI

品牌：LLA

椭偏仪

PECVD Oxford

型号：system100

品牌：RD

化学气相沉积（CVD）

PT ICP刻蚀系统

型号：VersalineTM LL-DSE

品牌：AS

甲烷/非甲烷烃检测仪

纳米压印光刻机

型号：MA6

品牌：SUS

光刻机

电子束蒸发台沈阳科仪

型号：EB700-I

品牌：科仪

甲烷/非甲烷烃检测仪

低温探针测试系统

型号：Agilent B1500

品牌：IL

放大器

蒸发台

型号：EB700

品牌：科仪

色谱检测器/蒸发光检测器/紫外检测器

3D立体显微镜

型号：OLS40-SU

品牌：MP

立体显微镜、体视显微镜

光刻系统EVG

型号：EVG620

品牌：EVG

光刻机

步进式光刻机

型号：NSR-17557A

品牌：尼康

光刻机

太阳能电池IV测试系统

型号：Newport-Oriel 94041A

品牌：RT

放大器

电子束曝光机

型号：150-Turnkey

品牌：AIT

甲烷/非甲烷烃检测仪

III-V族ICP刻蚀机

型号：System 100

品牌：RD

等离子体/化学刻蚀设备

电子束蒸发台 Innotec

型号：C26VE25A

品牌：TE

甲烷/非甲烷烃检测仪

激光直写系统

型号：ATD1000

品牌：合肥芯硕半导体有限公司

光刻机

任意波形发生器

型号：M8190A

品牌：SI

信号发生器

显微共焦光激发荧光光谱仪

型号：NanoLog

品牌：IBA

原子荧光光谱仪(AFS)

单晶炉

型号：SPTK-VGF/6

品牌：泰克

单晶炉

多线切割机

型号：U-600

品牌：AS

切割机

晶片双面研磨机

型号：9B-5L

品牌：台湾创技工业股份有限公司

研磨机、研磨仪、粉碎机、球磨机

晶片镜面加工系统

型号：32GPAW-TD

品牌：台湾创技工业股份有限公司

废气/废水处理机

拉曼光谱仪

型号：Labram HR 800

品牌：BI

激光诱导击穿光谱仪（LIBS）

原子力显微镜

型号：MFP-30-Origin标准型

品牌：RD

其它测量/计量仪器

电化学CV测试仪（刘舒曼）

型号：CVP21

品牌：WOLF

数字电路测试系统

X射线双晶衍射仪

型号：X’Pert3 MRD

品牌：ICA

X射线衍射仪(XRD)

GEN20A分子束外延系统

型号：GEN20A

品牌：ECO

分子束外延(MBE)

稳态瞬态光谱仪

型号：FLS920

品牌：爱丁堡

激光诱导击穿光谱仪（LIBS）

金属有机化学气相沉积系统

型号：AIX 200/4 RF-S

品牌：AIXTRON

化学气相沉积（CVD）

激光共聚焦显微镜

型号：A1 HD 25

品牌：尼康

激光共聚焦显微镜

椭偏仪

型号：M2000V

品牌：LLA

椭偏仪

磁光克尔成像系统（王开友）

型号：NanoMoke3

品牌：CS

凝胶成像系统

深紫外激光调制反射光谱仪

型号：DN400 VUV

品牌：IBA

激光诱导击穿光谱仪（LIBS）

变温（高温）霍尔测试系统

型号：ECMS

品牌：SI

霍尔效应测试仪

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相关仪器品类

所使用品牌

安捷伦

1531台仪器 242家供应商

布鲁克

1383台仪器 78家供应商

徕卡

1011台仪器 64家供应商

奥林巴斯

636台仪器 56家供应商

日立

426台仪器 49家供应商

RD

0台仪器 14家供应商

EMS

53台仪器 9家供应商

MP

23台仪器 9家供应商

普林斯顿

44台仪器 7家供应商

泰克

4台仪器 7家供应商

爱丁堡

32台仪器 5家供应商

SUS

0台仪器 5家供应商

尼康

35台仪器 4家供应商

德科

2台仪器 4家供应商

太仓华风

138台仪器 3家供应商

EVG

67台仪器 3家供应商

IL

15台仪器 3家供应商

科仪

2台仪器 3家供应商

AS

2台仪器 3家供应商

艾柯

68台仪器 2家供应商

菁仪

51台仪器 2家供应商

德堡

26台仪器 2家供应商

NK

24台仪器 2家供应商

牛津

20台仪器 2家供应商

RA

19台仪器 2家供应商

MICROTECH

12台仪器 2家供应商

AIT

10台仪器 2家供应商

昂尼

9台仪器 2家供应商

泰思

7台仪器 2家供应商

安普

6台仪器 2家供应商

IBA

5台仪器 2家供应商

赛普

5台仪器 2家供应商

FIS

4台仪器 2家供应商

ISI

4台仪器 2家供应商

AMC

2台仪器 2家供应商

SI

2台仪器 2家供应商

ALA

0台仪器 2家供应商

OKO

0台仪器 2家供应商

方科

548台仪器 1家供应商

TE

11台仪器 1家供应商

IO

11台仪器 1家供应商

百润

10台仪器 1家供应商

PTS

9台仪器 1家供应商

光科

7台仪器 1家供应商

ICA

6台仪器 1家供应商

BI

6台仪器 1家供应商

LLA

4台仪器 1家供应商

Kreon科瑞朗

3台仪器 1家供应商

WEB

3台仪器 1家供应商

DE

3台仪器 1家供应商

PRI

2台仪器 1家供应商

Toho

1台仪器 1家供应商

ECO

1台仪器 1家供应商

SE

1台仪器 1家供应商

OM

1台仪器 1家供应商

CS

0台仪器 1家供应商

SK

0台仪器 1家供应商

德国

0台仪器 1家供应商

WOLF

0台仪器 1家供应商

EIR

0台仪器 1家供应商

游目仪器

0台仪器 1家供应商

特莱思

0台仪器 1家供应商

RT

0台仪器 1家供应商

中润

0台仪器 1家供应商

真空

0台仪器 1家供应商