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当前位置: 森泉光电 > 解决方案 > TMC STACIS主动隔振器在抬高的钢支架上的隔振应用

TMC STACIS主动隔振器在抬高的钢支架上的隔振应用

2023/05/17 17:00

阅读:92

分享:
应用领域:
半导体
发布时间:
2023/05/17
检测样品:
光电器件
检测项目:
钢支架上进行隔振
浏览次数:
92
下载次数:
参考标准:
/

方案摘要:

自设计系统 钢支架支撑:系统放置在客户自行制作的钢支架上 隔振器的锁定:案例中要求对上下表面进行隔振器锁定,我们不建议对隔振器的顶部与客户台面之间进行锁定,但提供了隔振器与钢支架的锁定方案。

产品配置单:

分析软件

TMC STACIS III 主动隔振系统光学平台

型号: STACIS III-

产地: 美国

品牌: TMC

¥1

参考报价

联系电话

方案详情:

客户情况:

  • 自设计系统

  • 钢支架支撑:系统放置在客户自行制作的钢支架上

  • 隔振器的锁定:案例中要求对上下表面进行隔振器锁定

待隔振设备:用户自设计大理石系统

底座是钢架,钢架上放3个stacis  ,stacis上放的是负载

质量:1500kg


针对以上情况,森泉经过技术工程师和厂家评估提出如下要求:

1.钢支架需要灌浆固定到混凝土地面上。

2.钢支架需满足如下截图中的平面度和刚度要求。

3.钢支架的First resonance必须>200Hz。

3.地面需满足如下截图中的刚度要求。image.png

系统方案配置:

21-030-02 Statics

主动隔振系统(3个中负载的支腿+控制器+其他配件)

System with 3 medium load isolators 900-2100 lbs (410-955 kg) capacity per isolator;

Active degrees of freedom:6;

Active bandwidth:0.6Hz-150Hz;

Passive natural frequency: 18 Hz vertical and horizontal;

Effective active resonant frequency:0.5 Hz;

Isolation at 1 Hz:40%-70%;

Isolation at ≥2 Hz:≥90%;

Settling time after a 10 lb (4.5 kg) step input (10:1 reduction):0.3 sec

image.png

现场安装调试

image.png

隔振器与钢支架之间的锁定

image.png


TMC标准隔振性能:

image.png

实际测量隔振效果(钢支架支撑对隔振效果有影响,但不明显)

image.png

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系统应用案例-TMC-3xSTACISIII.pdf
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