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TMC 主动隔振系统光学平台STACIS III

品牌: TMC
产地: 美国
型号: STACIS III-
样本: 下载
报价: ¥30万
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核心参数

产地类别: 进口

产品介绍
简介
TMC STACIS III 主动隔振系统是一款专为高灵敏度仪器设计的隔振解决方案,采用先进的压电致动器和振动传感器,提供从0.6 Hz到150 Hz的宽活动带宽。该系统具备6个主动自由度,1 Hz时隔离效率达到40%-70%,≥2 Hz时可达90%,并能在0.3秒内稳定10磅阶跃输入。其独特的串行设计和高压压电技术使其成为半导体工厂、纳米技术研究等领域的理想选择。


TMC STACIS III 主动隔振系统光学平台

image.png

STACIS ® III 是一种灵活的**主动隔振系统。STACIS 采用的惯性振动传感器、复杂的控制算法和* 进的压电致动器,通过连续测量地板活动,然后膨胀和收缩压电致动器以滤除地板运动来实时消除振动。
STACIS 最初设计用于隔离**半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备,现在是噪声环境中最敏感仪器的行业标准解决方案,包括但不限于半导体工厂、故障分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究。

STACIS III 包括一个新的和改进的数字控制器,DC-2020。凭借新的双核处理器和以太网以及前后面板的 USB 串行端口,这种新的高级控制系统为用户提供了现代且易于使用的图形用户界面 (GUI)。STACIS 在全球范围内成功安装了数百次,是适用于对振动*敏感的仪器的理想隔振系统。 


优点:

STACIS 的硬度是空气隔振器的数百倍,不受空气隔振系统的任何限制。没有“软”悬架,而且与主动空气系统不同,STACIS 可以放置在带有内部主动空气隔离系统的工具下方,两个系统都经过全面优化。

*特的串行设计和专有的高压压电技术 
可实现从 0.6 Hz 到 150 Hz 的宽活动带宽和真正主动隔振,从 2 Hz 开始可减少 90% 的振动。


性能规格
主动自由度6个
有效带宽0.6 赫兹 - 150 赫兹
被动固有频率18 赫兹垂直和水平
有效主动谐振频率0.5赫兹
1 Hz 时的隔离40% - 70%
≥2 Hz 时的隔离≥90%
10 磅(4.5 千克)阶跃输入后的稳定时间(10:1 减少)0.3秒
内部噪音<0.1 纳米均方根
每个隔离器的工作负载范围低容量:182-500 千克(400-1100 磅)
中容量:410-955 千克(900-2100 磅)
高容量:864-2045 千克(1900-4500 磅)
刚度(1000 磅/454 千克质量,中等容量隔离器)40,000 磅/英寸 (73 x 10 5牛顿/米)
从隔离器发出的磁场最大为 4 英寸(102 毫米)<0.02 μG 宽带 RMS



应用案例:







售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 免费培训
免费仪器保养: 每年免费保养1次
保内维修承诺: 除人为原因外免费维保
报修承诺: 24小时内到达现场
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自设计系统 钢支架支撑:系统放置在客户自行制作的钢支架上 隔振器的锁定:案例中要求对上下表面进行隔振器锁定,我们不建议对隔振器的顶部与客户台面之间进行锁定,但提供了隔振器与钢支架的锁定方案。

半导体

工商信息

企业名称

青岛森泉光电有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91370211MA3C05QM2R

成立日期

2015-11-13

注册资本

陆佰万元整

经营范围

光学仪器、通用仪器仪表、教学专用仪器、电子测量仪器、光电子器件的技术开发、技术服务、销售、维修、组装;批发:五金交电、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、建筑材料、纺织品、服装、珠宝;货物进出口,技术进出口;经营其它无需行政审批即可经营的一般经营项目.(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)

联系方式
青岛森泉光电有限公司为您提供TMC 主动隔振系统光学平台STACIS III STACIS III-,TMCSTACIS III-产地为美国,属于进口光学平台,除了TMC 主动隔振系统光学平台STACIS III 的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供TMC STACIS地面光学平台 主动压电隔振器、TMC主动压电地面减振光学平台 TOOL-Base、TMC STACIS 4主动隔振系统光学平台,森泉光电客服电话400-860-5168转4131,售前、售后均可联系。
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