符合ISO 17025:2017标准的CDMS产品。NIST标准的可追溯性或单独认证有证书。
Pelcotec CDMS-XY ISO标样是一种用于扫描电镜、场发射扫描电镜、离子束雕刻、CD-SEM、激光扫描显微镜和原子力显微镜快速、精确校准的便捷工具。该标样提供了 X 和 Y 两个坐标轴的比例尺线,可在不旋转样品台的情况下轻松进行二维校准。
Pelcotec CDMS-XY ISO蚀刻线标样使用蚀刻技术制成,具有卓越的线缘质量,可提供广泛的测量范围。
该标样有两种特征尺寸范围可选,分别是 Pelcotec CDMS-XY-1T ISO和 Pelcotec CDMS-XY-0.1T ISO,每个尺寸范围都提供可追溯和认证标样,总共有四种:
Pelcotec CDMS-XY-1T ISO:特征尺寸范围为 2.0mm 到 1um,适用于放大倍率在 10x - 20,000x 之间的台式扫描电镜和低到中等放大应用。
产品编号 | 描述 | 单位 |
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709-1 | Pelcotec CDMS-XY-1T ISO,2mm - 1um,可追溯,没有样品座,蚀刻线 | 个 |
701-1 | Pelcotec CDMS-XY-1T ,2mm - 1um,可追溯,没有样品座,蚀刻线 | 个 |
Pelcotec CDMS-XY-1C ISO:每个标样均根据 NIST 标准进行了单独认证,特征尺寸范围为 2.0mm 到 1um,适用于放大倍率在 10x - 20,000x 之间的台式扫描电镜和低到中等放大应用。
产品编号 | 描述 | 单位 |
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713-1 | Pelcotec CDMS-XY-1C ISO,2mm - 1um,已认证,没有样品座,蚀刻线 | 个 |
705-1 | Pelcotec CDMS-XY-1C ,2mm - 1um,已认证,没有样品座,蚀刻线 | 个 |
Pelcotec CDMS-XY-0.1T ISO:特征尺寸范围为 2.0mm 到 100nm,适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用,放大倍率可达 10 - 200,000x。
产品编号 | 描述 | 单位 |
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710-1 | Pelcotec CDMS-XY-0.1T ISO,2mm - 100nm,可溯源,没有样品座,蚀刻线 | 个 |
702-1 | Pelcotec CDMS-XY-0.1T ,2mm - 100nm,可溯源,没有样品座,蚀刻线 | 个 |
Pelcotec CDMS-XY-0.1C ISO:每个标样均根据 NIST 标准进行了单独认证,特征尺寸范围为 2.0mm 到 100nm,适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用,放大倍率可达 10 - 200,000x。
产品编号 | 描述 | 单位 |
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714-01 | Pelcotec CDMS-XY-0.1C ISO,2mm - 100nm,已认证,没有样品座,蚀刻线 | 个 |
706-01 | Pelcotec CDMS-XY-0.1C ,2mm - 100nm,已认证,没有样品座,蚀刻线 | 个 |
该标样的特征尺寸范围见下表:
Pelcotec CDMS-XY-1T ISO 和 -1C ISO 的特征尺寸为:
2mm、1mm、0.5mm、0.1mm、50um、10um、5um、2um 和 1um。
Pelcotec CDMS-XY-0.1T ISO 和 0.1C ISO 的特征尺寸为:
2mm、1mm、0.5mm、0.1mm、50um、10um、5um、2um 和 1um、500nm、250nm 和 100nm。
可选的预先安装在样品座上。
| Pelcotec CDMS-XY-1-ISO | Pelcotec CDMS-XY-0.1-ISO |
基底:硅 | 是 | 是 |
基底尺寸:2.5×2.5mm | 是 | 是 |
基底厚度:525±10μm | 是 | 是 |
唯一序列识别号 | 是 | 是 |
2mm、1mm、0.5mm、0.25mm 的校准方块 | 是 | 是 |
垂直于 X 轴和 Y 轴的刻度线,间距为 10um、5μm、2μm 和 1μm | 是 | 是 |
仅限高分辨率版本 - 垂直于 X 和 Y 轴的附加刻度线以 500、250 和 100 nm 节距标出 | — | 是 |
可在晶圆级追溯到 NIST(ISO 17025:2017 认证标准) | T 版本 | T 版本 |
CDMS 标样直接获得 NIST 标准认证(ISO 17025:2017 认证标准) | C版本 | C版本 |
不装在样品台上可用 | 是 | 是 |
可安装在 SEM样品台上 | 是 | 是 |
精度优于0.3% | 是 | 是 |
线边缘粗糙度为每 1um 线边缘长度 +/- 0.3nm | 是 | 是 |
测量报告的不确定性 (k=2)* 为 ±0.012μm | 是 | 是 |