Pelcotec™ CDMS 校准标样是一种独特的经济实惠、功能齐全、可追溯的校准标样,可用于快速精准的扫描电镜(SEM)、场发射扫描电镜(FESEM)、离子束刻蚀(FIB)、CD-SEM、LM和AFM放大倍数校准。这些标样采用最新的半导体和微机电系统(MEMS)制造技术制成,可以覆盖广泛的测量范围。
![SDMS-2](https://img1.17img.cn/17img/images/202311/uepic/7486747f-5d19-41ad-84df-4ef21ccfbaa0.jpg)
Pelcotec™ CDMS 校准标样有两种特征尺寸范围,分别是 Pelcotec™ CDMS-1T 和 Pelcotec™ CDMS-0.1T ,都提供可追溯和认证标样,共有4个种:
Pelcotec™ CDMS-1T : 可追溯,特征尺寸范围为2.0毫米到1微米,放大倍数范围为10倍到20,000倍,非常适合台式扫描电镜和低到中等放大应用。
![PELCO CDMS-1T AND 1C](https://img1.17img.cn/17img/images/202311/uepic/51be7eda-77f8-43bf-b112-48267d7daea2.jpg)
产品编号 | 描述 | 单位 |
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682-1 | Pelcotec™ CDMS-1T ,2mm - 1µm,可追溯,没有样品台 | 个 |
Pelcotec™ CDMS-1C : 经过NIST标样认证的特征尺寸范围为2.0毫米到1微米,放大倍数范围为10倍到20,000倍,非常适合台式扫描电镜和低到中等放大应用。
产品编号 | 描述 | 单位 |
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686-1 | Pelcotec™ CDMS-1C ,2mm - 1µm,经过认证,没有样品台 | 个 |
Pelcotec™ CDMS-0.1T : 可追溯,特征尺寸范围为2.0毫米到100纳米,放大倍数范围高达10倍到200,000倍,适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用。
![PELCO CDMS Magnification Standard](https://img1.17img.cn/17img/images/202311/uepic/99f70abd-eee0-4dfa-acbd-05aeabba7d43.jpg)
产品编号 | 描述 | 单位 |
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683-01 | Pelcotec™ CDMS-0.1T ,2mm - 100nm,可追溯,没有样品台 | 个 |
Pelcotec™ CDMS-0.1C : 经过NIST标样认证的特征尺寸范围为2.0毫米到100纳米,放大倍数范围高达10倍到200,000倍,适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用。
产品编号 | 描述 | 单位 |
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687-01 | Pelcotec™ CDMS-0.1T ,2mm - 100nm,经认证,没有样品台 | 个 |
Pelcotec™ CDMS 标样的特征尺寸范围为2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10µm、5µm、2µm和1µm(适用于 Pelcotec™ CDMS-1T ISO 和 Pelcotec™ CDMS-1C )。而Pelcotec™ CDMS-0.1T 和 0.1C 的特征尺寸范围为2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10µm、5µm、2µm、1µm、500nm、250nm和100nm。
Pelcotec™ CDMS 标样采用超平整的硅衬底制成,采用精密的50nm铬沉积技术制造特征尺寸小于5µm的部分,而采用50nm金/20nm铬的组合制造2µm到100nm的特征尺寸。铬和金/铬在硅基底上提供了卓越的SE和BSE成像模式对比度,比刻蚀硅标样更易于确定特征。由于硅衬底、铬和铬/金特征都具有导电性,因此该校准标样不存在充电问题。由于其坚固的结构,CDMS标样可使用等离子体清洗器进行清洁。
较小的特征尺寸被嵌套在一起,以便于导航和快速校准。特征的精度为0.3%或更高。标样的实际尺寸为2.5 x 2.5mm,厚度为525µm ±10µm,在硅表面上没有涂层。每个Pelcotec™ CDMS 校准标样都有一个独特的识别编号。
Pelcotec™ CDMS 校准标样可供选择不安装或安装在SEM样品台A-R上。对于AFM应用,Pelcotec™ CDMS 安装在12mm的AFM圆片上,而对于LM应用,则安装在25 x 75mm的载玻片上。也可以制备在自定义的支架上。
可选的样品座。
![QQ图片20231114132246.png QQ图片20231114132246.png](https://img1.17img.cn/17img/images/202311/uepic/ddb92962-f2fd-4066-91f5-3c0beac2b7aa.jpg)
| Pelcotec™ CDMS-1 | Pelcotec™ CDMS-0.1 |
基底:硅 | ✓ | ✓ |
基底尺寸:2.5×2.5mm | ✓ | ✓ |
基底厚度:525±10μm | ✓ | ✓ |
唯一序列识别号 | ✓ | ✓ |
2mm、1mm、0.5mm、0.25mm 的校准方块 | ✓ | ✓ |
垂直于 X 轴的刻度线,间距为 10μm、5μm、2μm 和 1μm | ✓ | ✓ |
仅高分辨率版本 - 垂直于 X 轴的附加刻度线以 500、250 和 100 nm 节距标出 | — | ✓ |
特征材料:50nm Cr (2mm - 5µm) | ✓ | ✓ |
特征材料:20nm Cr/50nm Au(2μm 和 1μm) | ✓ | ✓ |
特征材料:20nm Cr/50nm Au(500、250 和 100nm) | — | ✓ |
可在晶圆级追溯到 NIST | T 版本 | T 版本 |
CDMS 标样直接获得 NIST 标准认证 | C版本 | C版本 |
不含样品台 | ✓ | ✓ |
可安装在 SEM样品台上 | ✓ | ✓ |
精度优于0.3% | ✓ | ✓ |