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核心参数
规格： 个
货号： 691-1
符合ISO 17025:2017标准的CDMS产品。NIST标准的可追溯性或单独认证有证书。
Pelcotec CDMS ISO校准标样是一种独特的经济实惠、功能齐全、可追溯的校准标样，可用于快速精准的扫描电镜(SEM)、场发射扫描电镜(FESEM)、离子束刻蚀(FIB)、CD-SEM、LM和AFM放大倍数校准。这些标样采用蚀刻制造技术制成，可以覆盖广泛的测量范围。
Pelcotec CDMS ISO校准标样有两种特征尺寸范围，分别是 Pelcotec CDMS-1T ISO和 Pelcotec CDMS-0.1T ISO，都提供可追溯和认证标样，共有4个种：
Pelcotec CDMS-1T ISO: 可追溯，特征尺寸范围为2.0毫米到1微米，放大倍数范围为10倍到20,000倍，非常适合台式扫描电镜和低到中等放大应用。
| 产品编号 | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 701-1 | Pelcotec CDMS-1T ISO，2mm - 1um，可追溯，没有样品台，蚀刻线 | 个 |
| 699-1 | Pelcotec CDMS-1T，2mm - 1um，可追溯，没有样品台，蚀刻线 | 个 |
Pelcotec CDMS-1C ISO: 经过NIST标样认证的特征尺寸范围为2.0毫米到1微米，放大倍数范围为10倍到20,000倍，非常适合台式扫描电镜和低到中等放大应用。
| 产品编号 | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 711-1 | Pelcotec CDMS-1C ISO，2mm - 1um，经过认证，没有样品台，蚀刻线 | 个 |
| 703-1 | Pelcotec CDMS-1C，2mm - 1um，经过认证，没有样品台，蚀刻线 | 个 |
Pelcotec CDMS-0.1T ISO: 可追溯，特征尺寸范围为2.0毫米到100纳米，放大倍数范围高达10倍到200,000倍，适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用。
| 产品编号 | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 708-01 | Pelcotec CDMS-0.1T ISO，2mm - 100nm，可追溯，没有样品台，蚀刻线 | 个 |
| 700-01 | Pelcotec CDMS-0.1T，2mm - 100nm，可追溯，没有样品台，蚀刻线 | 个 |
Pelcotec CDMS-0.1C ISO: 经过NIST标样认证的特征尺寸范围为2.0毫米到100纳米，放大倍数范围高达10倍到200,000倍，适用于所有扫描电镜和大多数场发射扫描电镜应用。
| 产品编号 | 描述 | 单位 |
|---|---|---|
| 712-01 | Pelcotec CDMS-0.1T ISO，2mm - 100nm，经认证，没有样品台，蚀刻线 | 个 |
| 704-01 | Pelcotec CDMS-0.1T ，2mm - 100nm，经认证，没有样品台，蚀刻线 | 个 |
Pelcotec CDMS ISO标样的特征尺寸范围为2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10um、5um、2um和1um（适用于 Pelcotec CDMS-1T ISO 和 Pelcotec CDMS-1C ISO）。而Pelcotec CDMS-0.1T ISO 和 0.1C ISO 的特征尺寸范围为2mm、1mm、0.5mm、0.25mm、10um、5um、2um、1um、500nm、250nm和100nm。
较小的特征尺寸被嵌套在一起，以便于导航和快速校准。特征的精度为0.3%或更高。标样的实际尺寸为2.5 x 2.5mm，厚度为525um ±10um，在硅表面上没有涂层。每个Pelcotec CDMS ISO校准标样都有一个独特的识别编号。
Pelcotec CDMS ISO校准标样可供选择不安装或安装在SEM样品台A-R上。对于AFM应用，Pelcotec CDMS ISO安装在12mm的AFM圆片上，而对于LM应用，则安装在25 x 75mm的载玻片上。也可以制备在自定义的支架上。
可选的样品座。
| Pelcotec CDMS-1-ISO | Pelcotec CDMS-0.1-ISO | |
| 基底：硅 | 是 | 是 |
| 基底尺寸：2.5×2.5mm | 是 | 是 |
| 基底厚度：525±10μm | 是 | 是 |
| 唯一序列识别号 | 是 | 是 |
| 2mm、1mm、0.5mm、0.25mm 的校准方块 | 是 | 是 |
| 垂直于 X 轴的刻度线，间距为 10μm、5μm、2μm 和 1μm | 是 | 是 |
| 仅高分辨率版本 - 垂直于 X 轴的附加刻度线以 500、250 和 100 nm 节距标出 | — | 是 |
| 可在晶圆级追溯到 NIST（ISO 17025:2017 认证标准） | T 版本 | T 版本 |
| CDMS 标样直接获得 NIST 标准认证（ISO 17025:2017 认证标准） | C版本 | C版本 |
| 不装在样品台上可用 | 是 | 是 |
| 可安装在 SEM样品台上 | 是 | 是 |
| 精度优于0.3% | 是 | 是 |
| 线边缘粗糙度为每 1um 线边缘长度 +/- 0.3nm | 是 | 是 |
| 测量报告的不确定性 (k=2)* 为 ±0.012μm | 是 | 是 |
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