仪器简介:
该仪器为性能稳定、功能强大、性价比高的霍尔效应仪,在国内高校、研究所及半导体业界拥有广泛的用户和知名度。
本仪器轻巧方便,易于携带,主要用于量测电子材料之重要特性参数,如载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等,薄膜或体材料均可,其原理主要依据范德堡法则。
除了用来判断半导体材料之型态(n或p)以外,它也可应用于LED磊晶层的质量判定,也可以用来判断在HEMT组件中二维电子气是否形成,此未还可以用于太阳能电池片的制程辅助。
VDP6800可说是一套功能强大、应用广泛的系统,再加上平实的价格, 相信必能受到各界用户之肯定与爱用。
目前广泛应有于大学,研究所和半导体厂商。
技术参数:
磁场强度:0.65T/1T;
常温和液氮温度(77K)下测量;
输出电流:2nA-100mA;
迁移率(cm2/Volt-sec):1-107
阻抗(Ohms.cm):10-6 to 107
载流子浓度(cm-3):107 - 1021
样品夹具:
VDP6800弹簧样品夹具(免去制作霍尔样品的麻烦);
测量材料:所有半导体材料包括Si,ZnO,SiGe,SiC,GaAs,InGaAs,InP,GaN(N型&P型均可测量)
仪器尺寸(WxDxH):260*220*180 mm
仪器重量:6kg
主要特点:
1、高精密度电流源
输出电流之精确度可达2nA,如此微小之电流可用于半绝缘材料之量测,即高电阻值材料之量测。
2、高精密度电表
使用超高精度电表,电压量测能力可达nV等级,上限可达300V,极适合用于量测低电阻值材料。
3、外型精简、操作简单
外型轻巧、美观大方,磁铁组之极性更换也很灵活容易,独特之液氮容器设计,可确保低温量测之稳定性最佳。
4、I-V曲线
采用图表的方式,测量探针四点(A、B、C、D)间电流-电压曲线,藉此评判样品的欧姆接触好坏。
5、单纯好用之操作画面
使用者只需在同一张操作画面中,就可以完成所有的设定,实验结果由软件自动计算得到,并在同一张画面中显示出来,省却画面切换的麻烦,结果可同时得到体载流子浓度(Bulk Carrier Concentration)、表面载流子浓度(Sheet Carrier Concentration)、迁移率(Mobility)、电阻率(Resistivity)、霍尔系数(Hall Coefficient)、等重要实验数据。
6、自行开发之弹簧样品夹具,特殊设计之弹簧探针,其强度加强可改善探针与接触点之电气接触,提高量测之可靠度。
7、可与四点探针公用系统
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