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深入分析薄膜的光学特性——使用 Agilent Cary 全能型测量附件解决光谱振动问题
2024/01/11 13:52
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方案摘要：
产品配置单：
Cary 5000 紫外可见近红外分光光度计
型号： Cary 5000
产地： 马来西亚
品牌： 安捷伦
¥120万 - 150万
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方案详情：
测量数据集中每一个点的随机误差（随机噪音）都会有所不同，文献[2] 中已经指出，随机误差对于表征结果影响很小。但是，系统误差一般来说会造成光谱表征偏移，或导致 T 和 R曲线的大幅度波长变化，尤其对于薄膜参数精确测定的影响更为显著[2]。
通过公式 TL(λ) = 100% – R(λ) – T(λ) 计算薄膜样品[4,5] 总损耗(TL)，便可获悉关于数据准确度的重要信息。通常，在基底和薄膜不吸收和不散射的光谱范围内，总损耗为零，而在薄膜有吸收的区域，TL(λ) 会随着波长增加而减小。
分析总损耗谱时，经常会观察到光谱振荡，这会使人们对数据质量产生怀疑。此类振荡的来源包括：
– 测量 T 和 R 时的入射角 (AOI) 不同
– 薄膜吸收和干扰
– 镀膜厚度轻微不均匀
文献 1 [1] 中讨论了总损耗中振荡来源的完整报告。本应用简报展示了配备全能型测量附件 (UMA) 的 Agilent Cary 5000UV-Vis-NIR 分光光度计如何创新地在不移动样品的情况下测量薄膜特性 T 和 R。
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