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晶圆制作中台阶高度、粗糙度、凹槽深度检测方案(台阶仪)
德国布鲁克Bruker 探针式表面轮廓仪台阶仪 DektakXT 纳米级表面测量
Bruker布鲁克台阶仪Dektak XTL
探针接触式台阶高度仪
深圳市中图仪器股份有限公司
南通宏腾微电子技术有限公司
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Jeio Tech Co., Ltd - 上海代表处