光致抗蚀剂中实时监控由于环境光暴露引起的光刻胶膜的光谱灵敏度检测方案(白光干涉测厚)
原装进口光学膜厚仪/薄膜测厚仪FR-pRo
进口纳米狭缝涂布机
原装进口高精密度热板/加热台/烤胶机
扫描型光学膜厚仪 FR-Scanner
进口纳米狭缝涂布机
美国Laurell湿法刻蚀显影机EDC-650Mz-8NPP
扫描型光学膜厚仪 FR-Scanner
进口纳米狭缝涂布机
美国Laurell匀胶机WS-650-23NPPB
微纳米压痕仪/划痕仪
高温硬度仪
微动试验机/SRV试验机
多功能摩擦磨损试验机/UMT升级版
微纳米压痕仪/划痕仪
多功能摩擦磨损试验机/UMT升级版
白光干涉仪
三维形貌仪/台阶仪
微纳米压痕仪/划痕仪
多功能摩擦磨损试验机/UMT升级版
白光干涉仪
三维形貌仪/台阶仪
Filmetrics F20 光学膜厚测量仪